一种单晶晶体峰值测试仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及X射线晶体峰值测试仪领域，特别是一种单晶晶体峰值测试仪，应用X射线衍射原理，通过采用测角方式对晶体进行峰值测试。
【背景技术】
[0002]随着新光伏技术及信息的不断发展，工业化生产对单晶硅、蓝宝石、碳化硅等单晶晶体的需求不断增加，国内单晶晶体生产厂家对单晶晶体的晶向使用开发慢慢的从传统的应用C向、A向，慢慢的开发出对单晶晶体R向、M向等其它晶体晶向的应用逐渐增多，由于目前晶体检测设备多为C向、A向检测，R向、M向等其它晶体晶向的检测在国内一直处于空白。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是，提供一种单晶晶体峰值测试仪，结构简单，测试准确。
[0004]采用的技术方案是:
[0005]—种单晶晶体峰值测试仪，包括机架、测角仪和X射线发生器。
[0006]其技术要点在于:
[0007]所述的机架的工作台上设置有X射线发生器，X射线发生器侧面安装有至少一个X射线光闸。每个X射线光闸的外侧均设有测角仪、气体负压管和闪烁探测器。
[0008]测角仪包括蜗杆、蜗轮、主轴轴承、刻度盘、主轴套筒、主轴、左轴承座、主轴转盘、转角指针、右轴承座和测试仪壳体。
[0009]蜗杆设置在测试仪壳体内，蜗杆一端固装手轮，蜗杆另一端连接有编码器的输入轴。
[0010]蜗杆由固装在测试仪壳体内的左轴承座和右轴承座支撑。
[0011]主轴套筒装设两个主轴轴承将主轴支撑。
[0012]主轴套筒固定在测试仪壳体上。
[0013]主轴底部固定有底盘，底盘和蜗轮固定连接。蜗杆与蜗轮啮合。
[0014]刻度盘固定在主轴套筒上。
[0015]主轴转盘套设在主轴套筒位于测试仪壳体上端面外的凸缘下方，主轴转盘上设有转角指针。
[0016]主轴位于测试仪壳体的上端面外固定有样品台。
[0017]样品台上设有气体负压管。主轴转盘上连接有连接架，连接架上设有闪烁探测器。
[0018]峰值显示盒设置在测试仪壳体表面。
[0019]所述的X射线光闸可为两个，分别位于X射线发生器左右两侧。
[0020]所述的气体负压管可为直径DNlO气体负压管。
[0021]所述的主轴位于测试仪壳体外的上端面固定有主轴指针。
[0022]所述的闪烁探测器可为CH132型闪烁探测器。
[0023]X射线发生器产生的X光管电流大小可由管电流调整旋钮调整，并可在毫安表显示X射线强弱值，调整完毕后，X射线经X射线光闸照射到放置在样品台并被气体负压管吸附的单晶晶体工件，经单晶晶体工件反射后被闪烁探测器接收，接收到的X射线反射强度峰值信号由峰值显示盒数字显示，在峰值显示盒显示测试峰值。根据不同的峰值及半峰宽等信号检测单晶晶体材料不同晶体晶向。X射线发生器的安全指示灯在设备故障时开启。样品台可通过手轮进行360°旋转。工作台的下方设置有高压变压器向X射线发生器供36000V高压电。
[0024]上述的工作台上装设有峰值显示盒(可数字显示)，连接机架内的控制装置，提高样品台的使用效率，能够进行不同晶体进行晶向的峰值测量。
[0025]能够进行不同规格蓝宝石、单晶硅、碳化硅单晶晶体材料不同晶体晶向的峰值测量，开发单晶晶体R向、M向等其它晶体晶向的应用，提高单晶晶体的应用范围，晶体峰值测试仪样品台可进行多种规格变换及360°旋转测量，提高样品台的使用效率，可进行不同尺寸、规格单晶晶体材料峰值测试，是一种测量方便、检测精度高的X射线晶体峰值测试仪。
[0026]其优点在于:
[0027]1、结构简单、使用方便、加工精度高等优点，解决了单晶晶体的不同晶向测试的难题。
[0028]2、单晶晶体的不同晶向测试的峰值数字显示，晶向测试精度高。
[0029]3、样品台上的单晶晶体工件在X光下可通过手轮进行360°旋转。
[0030]4、本仪器为设定X光管电流大小，通过管电流调整旋钮调整电流改变X射线的强度，实现用户的需要不同单晶晶体晶向峰值测试。
[0031 ] 5、利用单晶晶体不同晶向的晶体峰值技术，进行单晶晶体不同晶向的检测、定向，填补了单晶晶体R向、M向检测的技术空白。可以开发单晶晶体产品不同晶向使用功能，提尚晶体检测精度及质量。
[0032]6、本实用新型具有结构简单、使用方便、测量精度高等优点。
[0033]【附图说明】:
[0034]图1是本实用新型的主视图。
[0035]图2是本实用新型的俯视图。
[0036]图3是本实用新型的测角仪的主视图。
[0037]图4是本实用新型的测角仪的侧视图。
[0038]图5是图1中的A部局部放大图。
[0039]图6是图4中的B部局部放大图。
[0040]【具体实施方式】:
[0041]—种单晶晶体峰值测试仪，包括机架1、测角仪13和X射线发生器10。
[0042]所述的机架I的工作台15上设置有X射线发生器10，X射线发生器10侧面安装有两个X射线光闸11。
[0043]每个X射线光闸11的外侧均设有测角仪13、气体负压管7和闪烁探测器5。
[0044]测角仪13包括蜗杆16、蜗轮17、主轴轴承18、刻度盘19、主轴套筒20、主轴指针21、主轴23、左轴承座25、主轴转盘26、转角指针27、右轴承座28和测试仪壳体29。
[0045]蜗杆16设置在测试仪壳体29内，蜗杆16 —端固装手轮3，蜗杆16另一端连接有编码器24的输入轴。
[0046]蜗杆16由固装在测试仪壳体29内的左轴承座25和右轴承座28支撑。
[0047]主轴套筒20装设两个主轴轴承18将主轴23支撑。
[0048]主轴套筒20固定在测试仪壳体29上。
[0049]主轴23底部固定有底盘30，底盘30和蜗轮17固定连接。
[0050]刻度盘19通过刻度盘锁紧螺钉22固定在主轴套筒20上。
[0051]主轴指针21固定在主轴23上端面。
[0052]主轴转盘26套设在主轴套筒20位于测试仪壳体29上端面外的凸缘31下方，主轴转盘26上设有转角指针27。
[0053]主轴2位于测试仪壳体29的上端面外固定有放置工件的样品台6。
[0054]样品台6上设有气体负压管7。
[0055]主轴转盘26连接有连接架4，连接架4上设有闪烁探测器5。峰值显示盒14设置在测试仪壳体29表面。
[0056]蜗杆16与蜗轮17啮合，作为蜗轮蜗杆传动组。
[0057]转动手轮3，与手轮3固装的蜗杆16带动蜗轮17转动，从而带动主轴23转动。
[0058]X射线发生器10上有毫安表8、管电流调整旋钮9和安全指示灯12。
[0059]所述的两个X射线光闸11分别位于X射线发生器10左右两侧。
[0060]工作台左右两侧分别安装有一组测角仪13及闪烁探测器5、气体负压管7和峰值显示盒14。
[0061]所述的气体负压管7为直径DNlO气体负压管。
[0062]编码器24输出的是蜗杆16转动角度信号，主轴23转动角度也通过控制装置在峰值显示盒14显示。
[0063]X射线发生器10发出的X射线，经被测单晶晶体反射后，由闪烁探测器5接收。晶体方向不同，接收的X射线强度信号在峰值显示盒14上显示也不同。
[0064]所述的闪烁探测器5为CH132型闪烁探测器。
[0065]所述的工作台15的下方设置有高压变压器2向X射线发生器10、闪烁探测器5、气体负压管7的气栗、峰值显示盒14和编码器24等设备供电。所述的高压变压器2为36000Vo
【主权项】
1.一种单晶晶体峰值测试仪，包括机架(1)、测角仪(13)和X射线发生器(10);其特征在于: 所述的机架(I)的工作台(15)上设置有X射线发生器(10)，X射线发生器(10)侧面安装有至少一个X射线光闸(11);每个X射线光闸(11)的外侧均设有测角仪(13)、气体负压管(7)和闪烁探测器(5); 测角仪(13)包括蜗杆(16)、蜗轮(17)、主轴轴承(18)、刻度盘(19)、主轴套筒(20)、主轴(23)、左轴承座(25)、主轴转盘(26)、转角指针(27)、右轴承座(28)和测试仪壳体(29)；蜗杆(16)设置在测试仪壳体(29)内，蜗杆(16)—端固装手轮(3)，蜗杆(16)另一端连接有编码器(24)的输入轴； 蜗杆(16)由固装在测试仪壳体(29)内的左轴承座(25)和右轴承座(28)支撑； 主轴套筒(20 )装设两个主轴轴承(18 )将主轴(23 )支撑； 主轴套筒(20)固定在测试仪壳体(29)上； 主轴(23)底部固定有底盘(30)，底盘(30)和蜗轮(17)固定连接；蜗杆(16)与蜗轮(17)啮合； 刻度盘(19)固定在主轴套筒(20)上； 主轴转盘(26)套设在主轴套筒(20)位于测试仪壳体(29)上端面外的凸缘(31)下方，主轴转盘(26)上设有转角指针(27); 主轴(2)位于测试仪壳体(29)的上端面外固定有样品台(6)； 样品台(6)上设有气体负压管(7);主轴转盘(26)上连接有连接架(4)，连接架(4)上设有闪烁探测器(5); 峰值显示盒(14)设置在测试仪壳体(29)表面。2.根据权利要求1所述的一种单晶晶体峰值测试仪，其特征在于: 所述的X射线光闸(11)为两个，分别位于X射线发生器(10)左右两侧。3.根据权利要求1所述的一种单晶晶体峰值测试仪，其特征在于: 所述的气体负压管(7)为直径DNlO气体负压管。4.根据权利要求1所述的一种单晶晶体峰值测试仪，其特征在于: 所述的主轴(23)位于测试仪壳体(29)外的上端面固定有主轴指针(21)。5.根据权利要求1所述的一种单晶晶体峰值测试仪，其特征在于: 所述的闪烁探测器(5)为CH132型闪烁探测器。
【专利摘要】一种单晶晶体峰值测试仪，包括机架、测角仪和X射线发生器。机架的工作台上设置有X射线发生器，X射线发生器侧面安装有至少一个X射线光闸。每个X射线光闸的外侧均设有测角仪、气体负压管和闪烁探测器。测角仪包括蜗杆、刻度盘、主轴套筒、主轴、主轴转盘和测试仪壳体。蜗杆设置在测试仪壳体内，蜗杆一端有手轮，蜗杆另一端连编码器。蜗杆由两轴承座支撑。主轴设置在主轴套筒内。主轴套筒固定在测试仪壳体上。主轴底部通过底盘和蜗轮与蜗轮啮合。刻度盘固定在主轴套筒上。主轴转盘套设在主轴套筒的凸缘下方。主轴支撑样品台。样品台上有气体负压管。闪烁探测器可通过连接架和主轴转盘连接。其结构简单、使用方便。
【IPC分类】G01N23/207
【公开号】CN204855418
【申请号】CN201520386316
【发明人】甄伟, 赵松彬, 陈远帆
【申请人】丹东新东方晶体仪器有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年6月8日