一种能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉的制作方法

文档序号:9156056阅读:476来源:国知局
一种能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及单晶材料制备设备领域,具体是一种能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉。
【背景技术】
[0002]导模法是从熔体人工制取单晶材料的方法之一,即边缘限定薄膜供料提拉生长技术。它是将留有毛细管狭缝的模具放在熔体中,熔液借毛细作用上升到模具顶部,形成一层薄膜并向四周扩散,同时受种晶诱导结晶,模具顶部的边缘可控制晶体呈片状、管状或所需的某种几何形状产出。这种方法用于定型生长单晶材料。导模法单晶炉就是利用导模法制备单晶材料的装置。现有的导模法单晶炉受结构限制,制作的成品尺寸较小,无法满足一些大尺寸成品的制备需求。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
[0005]—种能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体内设有电熔炉、坩祸和提拉杆,电熔炉设置在单晶炉主体底部,电熔炉内设有坩祸槽,坩祸置于电熔炉的坩祸槽内,提拉杆位于单晶炉主体上端,且在驱动单元的带动下在单晶炉主体内上下移动,提拉杆底端设有籽晶,籽晶的宽度为8-12mm ;所述坩祸内设有模具,模具由平行对称设置的两个模具板组成,两个模具板之间留有狭缝,模具的长度为1100-1200_,宽度为 10_1.Smnin
[0006]作为本实用新型进一步的方案:所述单晶炉主体内还设有保温棉板,保温棉板放置在电熔炉上,且位于坩祸上方,保温棉板内开设共提拉杆及产品穿过的通孔。
[0007]作为本实用新型再进一步的方案:所述坩祸内底部设有固定梁,模具与固定梁相垂直,且模具固定在固定梁上。
[0008]作为本实用新型再进一步的方案:所述单晶炉主体底端设有支撑架,单晶炉主体通过支撑架放置在地面上。
[0009]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:所述能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,模具的长度为1100-1200mm,宽度为10_15mm,与传统的单晶炉相比,该单晶炉的模具长度和宽度均较大,因此能够制备尺寸更大的晶体产品。另外,当模具的长度超过1200mm,宽度超过15mm后,就无法成功制备晶体成品,因此该模具的尺寸为制备大尺寸晶体成品的最优尺寸。该单晶炉籽晶的宽度为8-12_,比传统的单晶炉所用籽晶的宽度更大,有利于提尚晶体广品的成品率。
【附图说明】
[0010]图1为能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉的结构示意图。
[0011]图2为能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉中单晶炉主体的结构示意图。
[0012]图3为能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉中坩祸的结构示意图。
[0013]图中:1-单晶炉主体、2-支撑架、3-电熔炉、4-坩祸、41-模具、42-固定梁、5-保温棉板、6-籽晶、7-提拉杆。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0015]请参阅图1?3,本实用新型实施例中,一种能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,包括单晶炉主体1,所述单晶炉主体I底端设有支撑架2,单晶炉主体I通过支撑架2放置在地面上,单晶炉主体I内设有电熔炉3、坩祸4、保温棉板5和提拉杆7,电熔炉3设置在单晶炉主体I底部,电熔炉3内设有坩祸槽,坩祸4置于电熔炉3的坩祸槽内,保温棉板5放置在电熔炉3上,且位于坩祸4上方,保温棉板5内开设共提拉杆7及产品穿过的通孔,提拉杆7位于单晶炉主体I上端,且在驱动单元的带动下在单晶炉主体I内上下移动,提拉杆7底端设有籽晶6,籽晶6的宽度为8-12mm ;所述坩祸4内设有模具41,模具41由平行对称设置的两个模具板组成,两个模具板之间留有狭缝,坩祸4内的熔液借狭缝的毛细作用上升到模具顶部,坩祸4内底部设有固定梁42,模具41与固定梁42相垂直,且模具41固定在固定梁42上,进而固定在坩祸4内,固定梁42为模具41的安装提供支撑,模具41的长度为1100-1200mm,宽度为10_15mm,与传统的单晶炉相比,该单晶炉的模具41长度和宽度均较大,因此能够制备尺寸更大的晶体产品,所制备的晶体成品尺寸为长度800-1200_,宽度100-1200mm,厚度为10_15mm,比传统单晶炉制备的晶体成品尺寸更大。另外,当模具的长度超过1200_,宽度超过15mm后,就无法成功制备晶体成品,因此该模具的尺寸为制备大尺寸晶体成品的最优尺寸。
[0016]所述能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,模具41的长度为1100-1200_,宽度为10-15_,与传统的单晶炉相比,该单晶炉的模具41长度和宽度均较大,因此能够制备尺寸更大的晶体产品。另外,当模具的长度超过1200mm,宽度超过15mm后,就无法成功制备晶体成品,因此该模具的尺寸为制备大尺寸晶体成品的最优尺寸。该单晶炉籽晶6的宽度为8-12_,比传统的单晶炉所用籽晶的宽度更大,有利于提高晶体产品的成品率。
[0017]对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0018]此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
【主权项】
1.一种能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,包括单晶炉主体(1),其特征在于,所述单晶炉主体(I)内设有电熔炉(3)、坩祸(4)和提拉杆(7),电熔炉(3)设置在单晶炉主体(I)底部,电熔炉(3 )内设有坩祸槽,坩祸(4 )置于电熔炉(3 )的坩祸槽内,提拉杆(7 )位于单晶炉主体(I)上端,且在驱动单元的带动下在单晶炉主体(I)内上下移动,提拉杆(7)底端设有籽晶(6),籽晶(6)的宽度为8-12mm;所述坩祸(4)内设有模具(41 ),模具(41)由平行对称设置的两个模具板组成,两个模具板之间留有狭缝,模具(41)的长度为1100-1200_,宽度为 10_15mm。2.根据权利要求1所述的能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,其特征在于,所述单晶炉主体(I)内还设有保温棉板(5),保温棉板(5)放置在电熔炉(3)上,且位于坩祸(4)上方,保温棉板(5 )内开设共提拉杆(7 )及产品穿过的通孔。3.根据权利要求1或2所述的能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,其特征在于,所述坩祸(4)内底部设有固定梁(42),模具(41)与固定梁(42)相垂直,且模具(41)固定在固定梁(42)上。4.根据权利要求3所述的能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,其特征在于,所述单晶炉主体(I)底端设有支撑架(2 ),单晶炉主体(I)通过支撑架(2 )放置在地面上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种能够制备大尺寸晶体成品的单晶炉,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体内设有电熔炉、坩埚和提拉杆,电熔炉设置在单晶炉主体底部,电熔炉内设有坩埚槽,坩埚置于电熔炉的坩埚槽内,提拉杆位于单晶炉主体上端,提拉杆底端设有籽晶,籽晶的宽度为8-12mm;所述坩埚内设有模具,模具由平行对称设置的两个模具板组成,两个模具板之间留有狭缝,模具的长度为1100-1200mm,宽度为10-15mm;该单晶炉增加了模具尺寸,因此能够制备尺寸更大的晶体产品。另外,当模具的长度更大时,就无法成功制备晶体成品,因此该模具的尺寸为制备大尺寸晶体成品的最优尺寸,该单晶炉增加了籽晶的宽度,有利于提高晶体产品的成品率。
【IPC分类】C30B15/00, C30B15/24
【公开号】CN204825124
【申请号】CN201520569201
【发明人】林志高
【申请人】福建鑫磊晶体有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月2日
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