一种成品率高的单晶炉的制作方法

文档序号:9156047阅读:190来源:国知局
一种成品率高的单晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及单晶材料制备设备领域,具体是一种成品率高的单晶炉。
【背景技术】
[0002]导模法是从熔体人工制取单晶材料的方法之一,即边缘限定薄膜供料提拉生长技术。它是将留有毛细管狭缝的模具放在熔体中,熔液借毛细作用上升到模具顶部,形成一层薄膜并向四周扩散,同时受种晶诱导结晶,模具顶部的边缘可控制晶体呈片状、管状或所需的某种几何形状产出。这种方法用于定型生长单晶材料。导模法单晶炉就是利用导模法制备单晶材料的装置。导模法单晶炉内制备熔体的装置称为电熔炉,电熔炉通过加热的方式将原料加热为熔体。目前市场上的导模法单晶炉的电熔炉保温效果不佳,从而影响了单晶广品的成品率。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种成品率高的单晶炉,以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
[0005]—种成品率高的单晶炉,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体内设有电熔炉、坩祸、保温棉板和提拉杆,电熔炉设置在单晶炉主体底部,坩祸置于电熔炉内,保温棉板放置在电熔炉上,且位于坩祸上方,保温棉板内开设共提拉杆及产品穿过的通孔,提拉杆位于单晶炉主体上端,且在驱动单元的带动下在单晶炉主体内上下移动,提拉杆底端设有籽晶;所述电熔炉包括外壳和内胆,内胆内开设有容纳坩祸的坩祸槽,外壳与内胆之间设有隔热层。
[0006]作为本实用新型进一步的方案:所述保温棉板共多个,且沿竖直方向依次层叠。
[0007]作为本实用新型再进一步的方案:所述隔热层的材质为隔热棉。
[0008]作为本实用新型再进一步的方案:所述单晶炉主体底端设有支撑架,单晶炉主体通过支撑架放置在地面上。
[0009]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该成品率高的单晶炉,其电熔炉的外壳与内胆之间增设隔热层,隔热层增强电熔炉的保温效果,从而提高成品率,另外电熔炉上方设有多个层叠的保温棉板,保温棉板能够增强结晶过程中坩祸上方的保温效果,有利于结晶过程的顺利进行。
【附图说明】
[0010]图1为成品率高的单晶炉的结构示意图。
[0011]图2为成品率高的单晶炉中单晶炉主体的内部结构示意图。
[0012]图3为成品率高的单晶炉中电熔炉的结构示意图。
[0013]图中:1-单晶炉主体、2-支撑架、3-电熔炉、31-外壳、32-内胆、33-坩祸槽、34-隔热层、4-坩祸、5-保温棉板、6-籽晶、7-提拉杆。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0015]请参阅图1?3,本实用新型实施例中,一种成品率高的单晶炉,包括单晶炉主体1,所述单晶炉主体I底端设有支撑架2,单晶炉主体I通过支撑架2放置在地面上,单晶炉主体I内设有电熔炉3、坩祸4、保温棉板5和提拉杆7,电熔炉3设置在单晶炉主体I底部,坩祸4置于电熔炉3内,保温棉板5放置在电熔炉3上,且位于坩祸4上方,保温棉板5内开设共提拉杆7及产品穿过的通孔,保温棉板5能够增强提拉杆7作业区域内的保温隔热效果,优选的,所述保温棉板5共多个,且沿竖直方向依次层叠,提拉杆7位于单晶炉主体I上端,且在驱动单元的带动下在单晶炉主体I内上下移动,提拉杆7底端设有籽晶6 ;所述电熔炉3包括外壳31和内胆32,内胆32内开设有容纳坩祸4的坩祸槽33,外壳31与内胆32之间设有隔热层34,隔热层34增强电熔炉3的保温效果,从而提高成品率,优选的,所述隔热层34的材质为隔热棉。
[0016]所述成品率高的单晶炉,其电熔炉3的外壳31与内胆32之间增设隔热层34,隔热层34增强电熔炉3的保温效果,从而提高成品率,另外电熔炉3上方设有多个层叠的保温棉板5,保温棉板5能够增强结晶过程中坩祸4上方的保温效果,有利于结晶过程的顺利进行。
[0017]对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0018]此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
【主权项】
1.一种成品率高的单晶炉,包括单晶炉主体(1),其特征在于,所述单晶炉主体(I)内设有电熔炉(3 )、坩祸(4 )、保温棉板(5 )和提拉杆(7 ),电熔炉(3 )设置在单晶炉主体(I)底部,坩祸(4)置于电熔炉(3)内,保温棉板(5)放置在电熔炉(3)上,且位于坩祸(4)上方,保温棉板(5)内开设共提拉杆(7)及产品穿过的通孔,提拉杆(7)位于单晶炉主体(I)上端,且在驱动单元的带动下在单晶炉主体(I)内上下移动,提拉杆(7)底端设有籽晶(6);所述电熔炉(3)包括外壳(31)和内胆(32),内胆(32)内开设有容纳坩祸(4)的坩祸槽(33),夕卜壳(31)与内胆(32)之间设有隔热层(34)。2.根据权利要求1所述的成品率高的单晶炉,其特征在于,所述保温棉板(5)共多个,且沿竖直方向依次层叠。3.根据权利要求1或2所述的成品率高的单晶炉,其特征在于,所述隔热层(34)的材质为隔热棉。4.根据权利要求3所述的成品率高的单晶炉,其特征在于,所述单晶炉主体(I)底端设有支撑架(2 ),单晶炉主体(I)通过支撑架(2 )放置在地面上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种成品率高的单晶炉,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体内设有电熔炉、坩埚、保温棉板和提拉杆,电熔炉设置在单晶炉主体底部,坩埚置于电熔炉内,保温棉板放置在电熔炉上,且位于坩埚上方,保温棉板内开设共提拉杆及产品穿过的通孔,提拉杆位于单晶炉主体上端,且在驱动单元的带动下在单晶炉主体内上下移动,提拉杆底端设有籽晶;所述电熔炉包括外壳和内胆,内胆内开设有容纳坩埚的坩埚槽,外壳与内胆之间设有隔热层;该成品率高的单晶炉,其电熔炉的外壳与内胆之间增设隔热层,隔热层增强电熔炉的保温效果,从而提高成品率。
【IPC分类】C30B15/24, C30B15/00
【公开号】CN204825115
【申请号】CN201520569202
【发明人】林志高
【申请人】福建鑫磊晶体有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月2日
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