一种使用寿命长的单晶炉的制作方法

文档序号:9156055阅读:403来源:国知局
一种使用寿命长的单晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及单晶材料制备设备领域,具体是一种使用寿命长的单晶炉。
【背景技术】
[0002]导模法是从熔体人工制取单晶材料的方法之一,即边缘限定薄膜供料提拉生长技术。它是将留有毛细管狭缝的模具放在熔体中,熔液借毛细作用上升到模具顶部,形成一层薄膜并向四周扩散,同时受种晶诱导结晶,模具顶部的边缘可控制晶体呈片状、管状或所需的某种几何形状产出。这种方法用于定型生长单晶材料。导模法单晶炉就是利用导模法制备单晶材料的装置。目前市场上的导模法单晶炉使用寿命较短,且生产单晶产品的成品率低。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种使用寿命长的单晶炉,以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
[0005]—种使用寿命长的单晶炉,包括单晶炉主体和氩气罐;所述氩气罐放置在单晶炉本体旁,氩气罐上设有输气管,且输气管的另一端连通单晶炉本体的炉腔。
[0006]作为本实用新型进一步的方案:所述单晶炉主体底端设有支撑架,单晶炉主体通过支撑架放置在地面上。
[0007]作为本实用新型再进一步的方案:所述单晶炉主体上端还设有监测单晶炉主体炉腔内压力的压力表。
[0008]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该使用寿命长的单晶炉,增设氩气罐,氩气罐内的氩气经输气管送入单晶炉本体的炉腔内,氩气作为保护气体,为单晶炉本体内熔体的结晶过程提供保护,不但能够延长单晶炉的使用寿命,而且提高产品的成品率。
【附图说明】
[0009]图1为使用寿命长的单晶炉的结构示意图。
[0010]图中:1-单晶炉主体、2-支撑架、3-氩气罐、4-输气管、5-压力表。
【具体实施方式】
[0011]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0012]请参阅图1,本实用新型实施例中,一种使用寿命长的单晶炉,包括单晶炉主体I和氩气罐3 ;所述单晶炉主体I底端设有支撑架2,单晶炉主体I通过支撑架2放置在地面上,所述氩气罐3放置在单晶炉本体I旁,氩气罐3上设有输气管4,且输气管4的另一端连通单晶炉本体I的炉腔,氩气罐3内的氩气经输气管4送入单晶炉本体I的炉腔内,氩气作为保护气体,不但能够延长单晶炉的使用寿命,而且提高产品的成品率;所述单晶炉主体I上端还设有监测单晶炉主体I炉腔内压力的压力表5,通过压力表5监测单晶炉主体I炉腔内压力,通过调节氩气罐3的进气流量,来调节单晶炉主体I炉腔内的压力,使压力处于合适范围。
[0013]所述使用寿命长的单晶炉,增设氩气罐3,氩气罐3内的氩气经输气管4送入单晶炉本体I的炉腔内,氩气作为保护气体,为单晶炉本体I内熔体的结晶过程提供保护,不但能够延长单晶炉的使用寿命,而且提高产品的成品率。
[0014]对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0015]此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
【主权项】
1.一种使用寿命长的单晶炉,其特征在于,包括单晶炉主体(I)和氩气罐(3);所述氩气罐(3)放置在单晶炉本体(I)旁,氩气罐(3)上设有输气管(4),且输气管(4)的另一端连通单晶炉本体(I)的炉腔。2.根据权利要求1所述的使用寿命长的单晶炉,其特征在于,所述单晶炉主体(I)底端设有支撑架(2 ),单晶炉主体(I)通过支撑架(2 )放置在地面上。3.根据权利要求1或2所述的使用寿命长的单晶炉,其特征在于,所述单晶炉主体(I)上端还设有监测单晶炉主体(I)炉腔内压力的压力表(5 )。
【专利摘要】本实用新型公开了一种使用寿命长的单晶炉,包括单晶炉主体和氩气罐;所述氩气罐放置在单晶炉本体旁,氩气罐上设有输气管,且输气管的另一端连通单晶炉本体的炉腔;该使用寿命长的单晶炉,增设氩气罐,氩气罐内的氩气经输气管送入单晶炉本体的炉腔内,氩气作为保护气体,为单晶炉本体内熔体的结晶过程提供保护,不但能够延长单晶炉的使用寿命,而且提高产品的成品率。
【IPC分类】C30B15/24
【公开号】CN204825123
【申请号】CN201520567130
【发明人】林志高
【申请人】福建鑫磊晶体有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年7月31日
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