一种单晶炉的炉体的制作方法技术资料下载

技术编号:8107506

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专利摘要本实用新型涉及一种炉体,具体地说,是涉及一种单晶炉的炉体,解决了现有单晶炉的炉体冷却时炉体上下两端温差较大的问题。本实用新型包括上法兰(1),下法兰(2),以及位于上法兰(1)和下法兰(2)之间的内炉壁(3)和外炉壁(4),其特征在于所述内炉壁(3)和外炉壁(4)之间设置有由第一螺旋板(5)和第二螺旋板(6)阻隔形成的第一循环水通道(7)和第二循环水通道(8);所述第一循环水通道(7)的水流方向向上,所述第二循环水通道(8)的水流方向向下。本实用新型有效减少炉体上下两端温差,且结构简单、效果显著,具有很高的...
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