一种单晶炉的炉体的制作方法

文档序号:8107506阅读:204来源:国知局
一种单晶炉的炉体的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种炉体,具体地说,是涉及一种单晶炉的炉体,解决了现有单晶炉的炉体冷却时炉体上下两端温差较大的问题。本实用新型包括上法兰(1),下法兰(2),以及位于上法兰(1)和下法兰(2)之间的内炉壁(3)和外炉壁(4),其特征在于:所述内炉壁(3)和外炉壁(4)之间设置有由第一螺旋板(5)和第二螺旋板(6)阻隔形成的第一循环水通道(7)和第二循环水通道(8);所述第一循环水通道(7)的水流方向向上,所述第二循环水通道(8)的水流方向向下。本实用新型有效减少炉体上下两端温差,且结构简单、效果显著,具有很高的应用价值。
【专利说明】一种单晶炉的炉体

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种炉体,具体地说,是涉及一种单晶炉的炉体。

【背景技术】
[0002]单晶炉的炉体中采用的冷却系统,其中水体常常是由炉体下端进入炉壁之间,然后从炉体上端排出,这种冷却方式虽然能达到冷却的效果,但冷却时,炉体上下两端的温差也较大,达不到均匀降温的效果,在一定程度上影响了单晶硅的成型。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于解决现有单晶炉的炉体冷却时炉体上下两端温差较大的问题,提供有效减少炉体上下两端温差的一种单晶炉的炉体。
[0004]为解决上述缺点,本实用新型的技术方案如下:
[0005]一种单晶炉的炉体,包括上法兰,下法兰,以及位于上法兰和下法兰之间的内炉壁和外炉壁,所述内炉壁和外炉壁之间设置有由第一螺旋板和第二螺旋板阻隔形成的第一循环水通道和第二循环水通道;所述第一循环水通道的水流方向向上,所述第二循环水通道的水流方向向下。
[0006]进一步,所述第一循环水通道和第二循环水通道的进水口处均设置有镁棒接口。
[0007]作为一种优选,所述第一螺旋板和第二螺旋板均由不锈钢材质构成。
[0008]本实用新型与现有技术相比,具有以下优点及有益效果:
[0009](I)本实用新型采用双螺旋通道结构,即采用两个螺旋板将壳体中间的水通道分隔成两个螺旋形水通道,该两个螺旋形水通道分别为第一循环水通道和第二循环水通道,由于第一循环水通道的水流方向向上,第二循环水通道的水流方向向下,通过两个不同的水流方向,从而有效减少炉体上下两部分之间的温度差,达到均匀降温的效果。
[0010](2)本实用新型的采用了镁棒接口的设置,可以在镁棒接口上连接镁棒,通过镁棒的作用,有效降低水中氯离子对壳体的腐蚀作用,从而有效增加炉体的使用寿命。
[0011](3)本实用新型结构简单、均匀降温效果显著,非常适合推广应用。

【专利附图】

【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的结构示意图。
[0013]其中,图中附图标记对应的零部件名称为:
[0014]I 一上法兰,2 —下法兰,3 —内炉壁,4 一外炉壁,5 —第一螺旋板,6 —第二螺旋板,7 —第一循环水通道,8 —第二循环水通道。

【具体实施方式】
[0015]下面结合实施例及其附图,对本实用新型作进一步地详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。实施例
[0016]一种单晶炉的炉体,如图1所示,包括上法兰1,下法兰2,以及位于上法兰I和下法兰2之间的内炉壁3和外炉壁4,其特征在于:所述内炉壁3和外炉壁4之间设置有由第一螺旋板5和第二螺旋板6阻隔形成的第一循环水通道7和第二循环水通道8 ;所述第一循环水通道7的水流方向向上,所述第二循环水通道8的水流方向向下。
[0017]所述第一循环水通道7和第二循环水通道8的进水口处均设置有镁棒接口。只需将镁棒安装到镁棒接口中,即可有效达到吸收水体中氯离子,降低氯离子对炉体的腐蚀作用,从而有效增加炉体的使用寿命。
[0018]本实用新型的工作流程如下:
[0019]水从炉体上方入口流入第二循环水通道8中,其水流通过的方向与图1中第二循环水通道8中箭头的指向方向相同,该第二循环水通道8的水流从炉体下方的出水口流出。在第二循环水通道8中水流从上往下流出的同时,第一循环水通道7的水流从炉体下方的入水口流入,通过图1中第一循环水通道7中箭头的指向方向向上移动,从炉体上方的出水口流出。
[0020]上述实施例仅为本实用新型的优选实施例,并非对本实用新型保护范围的限制,但凡采用本实用新型的设计原理,以及在此基础上进行非创造性劳动而作出的变化,均应属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种单晶炉的炉体,包括上法兰(1),下法兰(2),以及位于上法兰(I)和下法兰(2)之间的内炉壁(3 )和外炉壁(4),其特征在于:所述内炉壁(3 )和外炉壁(4)之间设置有由第一螺旋板(5)和第二螺旋板(6)阻隔形成的第一循环水通道(7)和第二循环水通道(8);所述第一循环水通道(7)的水流方向向上,所述第二循环水通道(8)的水流方向向下。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉体,其特征在于:所述第一循环水通道(7)和第二循环水通道(8)的进水口处均设置有镁棒接口。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉的炉体,其特征在于:所述第一螺旋板(5)和第二螺旋板(6)均由不锈钢材质构成。
【文档编号】C30B35/00GK203923466SQ201420281306
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2014年5月29日 优先权日:2014年5月29日
【发明者】张国雄 申请人:深圳市雄昌实业有限公司
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