技术编号：8117571
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型属于真空设备领域，具体涉及一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。本实用新型可提供一种结构简单、使用方便、成本较低的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。