一种新型真空设备的排气装置制造方法
【专利摘要】本实用新型属于真空设备领域，具体涉及一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。本实用新型可提供一种结构简单、使用方便、成本较低的新型真空设备的排气装置，可以延长附属产品使用寿命，可以投入生产。
【专利说明】
一种新型真空设备的排气装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空设备领域，具体涉及一种新型真空设备的排气装置。
【背景技术】
[0002]现在应用的真空熔炼技术是在无氧气氛下对固体硅材料进行熔化，现有技术中的熔炼设备包括真空罩、熔炼室和模具，目前广泛应用于制备多晶硅领域。其工作过程是:先将真空罩内的空气抽除，再将熔炼室内的待处理材料加热直至融化，然后将融化后的熔液倒入模具内成型。此时气体杂质的排出是由炉壁排出设备外。
[0003]上述方式的缺陷在于:
[0004]1、挥发性杂质会在挥发的过程中与石墨和碳毡反应，出现石墨和碳毡受热损耗，减少石墨寿命，容易使石墨脆断；
[0005]2、挥发性杂质会与保温碳毡反应，吸附在保温碳毡的缝隙处，使石墨和碳毡寿命缩短。
【发明内容】
[0006]本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于连接光纤的固定夹紧装置。
[0007]为解决技术问题，本实用新型的解决方案是:
[0008]提供一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，其特征在于，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。
[0009]本实用新型中，所述延伸到石英坩埚内的排气管上安装有过滤器。
[0010]本实用新型中，所述抽气管路上安装有阀门。
[0011 ] 本实用新型中，所述炉体一侧还开设有炉门。
[0012]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0013]本实用新型可提供一种结构简单、使用方便、成本较低的新型真空设备的排气装置，可以延长附属产品使用寿命，可以投入生产。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:
[0015]图1为本实用新型中的的截面结构示意图；
[0016]图中:炉体1，隔热侧板2，石墨护板3，石英坩埚4，隔热底板5，支撑底板6，炉门7，环形加热板8，过滤器9，隔热顶板10，排气管11，水冷装置12，阀门13，抽气管路14，阀泵
15。
【具体实施方式】
[0017]如图1所示，本实用新型提供一种新型真空设备的排气装置的具体实施例，包括炉体1、水冷装置12、阀泵15，所述炉体I内安装有石英坩埚4，所述石英坩埚4外围设有石墨护板3,且在石墨护板3的下端面安装有支撑底板6,所述支撑底板6下表面安装有隔热底板5 ;所述隔热底板5的两端固定连接有隔热侧板2，且在两侧的两块隔热侧板5上端连接有隔热顶板10 ;所述石英坩埚4的外侧还安装有环形加热板8 ;所述水冷装置12安装在炉体I顶面上，该水冷装置12通过排气管11依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚4内；水冷装置12通过抽气管路14与阀泵相连通。
[0018]其中，所述延伸到石英坩埚4内的排气管11上安装有过滤器。所述抽气管路14上安装有阀门13。所述炉体I 一侧还开设有炉门7。
[0019]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，其特征在于，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。
2.根据权利要求1所述的真空设备的排气装置，其特征在于，所述延伸到石英坩埚内的排气管上安装有过滤器。
3.根据权利要求1所述的真空设备的排气装置，其特征在于，所述抽气管路上安装有阀门。
4.根据权利要求1所述的真空设备的排气装置，其特征在于，所述炉体一侧还开设有炉门。
【文档编号】C30B29/06GK204224741SQ201420660099
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月7日 优先权日:2014年11月7日
【发明者】张银华 申请人:富阳科信经济信息咨询有限公司