技术编号：8119251
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及图案形成方法、图案形成装置和液状体干燥装置。技术背景近年来，已知在搭载半导体元件等电子部件的电路模块中具有由玻璃陶瓷形成的低温烧成陶瓷多层基板(Low Temperature Co—fired Ceramics LTCC多层基板)。就LTCC多层基板而言，由于可以在900'C以下的低温 下烧成层叠的生片，所以可以在内部布线使用银或金等低熔点金属，可以 实现内部布线的低电阻化。在这样的LTCC多层基板的制造工序中，利用金属膏或金属墨液，在 层叠前的各生片上描绘布线图案。作为该描绘方法，专利文献l提出...
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