图案形成方法、图案形成装置和液状体干燥装置的制作方法

专利名称：图案形成方法、图案形成装置和液状体干燥装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及图案形成方法、图案形成装置和液状体干燥装置。
技术背景近年来，已知在搭载半导体元件等电子部件的电路模块中具有由玻璃陶瓷形成的低温烧成陶瓷多层基板(Low Temperature Co—fired Ceramics: LTCC多层基板)。就LTCC多层基板而言，由于可以在900'C以下的低温 下烧成层叠的生片，所以可以在内部布线使用银或金等低熔点金属，可以 实现内部布线的低电阻化。在这样的LTCC多层基板的制造工序中，利用金属膏或金属墨液，在 层叠前的各生片上描绘布线图案。作为该描绘方法，专利文献l提出以微 小液滴的形式喷出金属墨液的所谓喷墨法。在喷墨法中，由于接合微小的 液滴描绘布线图案，所以可以迅速地与内部布线的设计变更(例如，内部 布线的高密度化或布线宽度以及布线间距的狭小化)对应。专利文献l:特开2005 — 57139号公报不过，已弹落在生片上的液滴根据生片的表面状态或液滴的表面张力 经时地变动尺寸或形状等。尺寸或形状发生变动的液滴根据干燥的时间规 定布线图案的尺寸。例如，外径为3(Him的由金属墨液构成的液滴，当弹 落在亲液性的生片上经过IOO微秒后，外径扩张至70pm，当经过200微 秒时，外径进一步扩张至100)am。为此，当液滴的干燥时间在100微秒后 200微秒后的范围内有偏移时，对应的布线图案的线宽在约70^im 100^n 的范围内有偏移。因此，关于这样的液滴的干燥方法，提出为了抑制图案尺寸的偏移而 对弹落在生片上的液滴照射激光的激光干燥。在激光干燥中，仅对激光的 照射区域进行液滴的干燥处理，所以可以进行高精度的干燥。但是，当照射激光对液滴进行干燥时，分散在液滴中的金属微粒的浓 度分布发生变动，在图案的端部出现从中央部隆起的"上渗"现象，基于 干燥后的金属微粒的布线图案的平坦化比较困难。另外，弹落的基板在疏水性的作用下或在液滴的表面张力的作用下， 已弹落的液滴们在激光干燥中容易牵连退化，在使所希望的图案精密地干 燥方面存在界限。发明内容本发明正是为了解决上述问题而完成的发明，其目的在于，提供一种 利用激光控制液状体的配置位置并在所希望的配置位置使该液状体干燥 而可以形成高精细、高精密的由图案形成材料构成的图案的图案形成方 法、图案形成装置和液状体干燥装置。本发明的图案形成方法，使配置在基体上的含有图案形成材料的液状 体干燥而在上述基体上形成由图案形成材料构成的图案，其中，从不同的 方向向配置在上述基体上的上述液状体照射多束激光，使上述液状体干燥 形成由图案形成材料构成的图案。根据本发明的图案形成方法，配置在基体上的液状体借助多束从不同 方向照射的激光发生移动，由此来控制配置位置。因此，可以在基体的所 希望的配置位置使液状体干燥，可以形成高精细、高精密的由图案形成材 料构成的图案。在该图案形成方法中，多束激光用于照射在液状体上对该液状体进行 配置位置控制，可以以与上述液状体的至少可以移动的方向的运动量相互 大致抵消的朝向和强度分布照射上述多个激光。根据该图案形成方法，液状体被各激光照射以便被保持于规定的配置 位置。归根结底，液状体被该各激光干燥。本发明的图案形成方法，使配置在基体上的含有图案形成材料的液状 体干燥，在上述基体上形成由图案形成材料构成的图案，其中，用照射在 上述液状体使该液状体干燥的第一激光和照射在上述液状体而对该液状 体进行配置位置控制的第二激光来干燥上述液状体。根据本发明的图案形成方法，液状体通过第二激光自由变更配置在基板的液状体的配置位置，通过第一激光来干燥。其结果，通过第二激光可 以使配置在基板上的液状体成为所希望的形状，确实可靠地使所希望的图 案干燥。在该图案形成方法中，用上述第二激光将上述液状体配置位置控制到 规定的配置位置后，用上述第一激光使上述液状体干燥。根据该图案形成方法，就液状体而言，通过第二激光事先调节其位置， 然后用第一激光进行干燥。其结果，即便配置在基板上的液状体的位置发 生偏移，也可以通过第二激光进行修正，使配置在基板上的液状体形成为 所希望的图案并确实可靠地使其干燥。在该图案形成方法中，可以一边用上述第二激光将上述液状体移动控 制到规定的配置位置， 一边用上述第一激光干燥上述液状体。根据该图案形成方法， 一边通过第二激光使液状体移动至规定的配置 位置， 一边用第一激光进行干燥，所以可以边使配置在基板上的液状体成 为所希望的图案边进行干燥。在该图案形成方法中，可以边用上述第二激光将上述液状体保持在规 定的配置位置，边用上述第一激光来干燥上述液状体。根据该图案形成方法，液状体通过第二激光来保持其配置位置，通过 第一激光来进行干燥，所以可以均匀且确实可靠地干燥液状体，可以在基 板上形成由图案形成材料构成的所希望的平坦图案。在该图案形成方法中，上述第一激光是吸收率相比上述液状体高的波 长的激光，上述第二激光可以是吸收率相比上述液状体低的波长的激光。根据该图案形成方法，第一激光相对于液状体具有高吸收率，所以光子(photon)的动能集中在液状体的表面部分的图案形成材料。此外，该图案形成材料彼此碰撞，通过由该碰撞产生的热使液状体干燥。另一方面，第二激光相对于液状体具有低吸收率，所以光子(photon)的动能传递至 液状体的内部全体的图案形成材料。各图案形成材料未获得图案形成材料 彼此碰撞以致变成热的程度的较大动能，进行用于使该图案形成材料在沿 着第二激光的行进方向的方向上平移运动的运动。其结果，第二激光通过 变更其照射方向，或者变更其功率，可以自由地控制液状体的配置位置。 本发明的图案形成装置，其用液滴喷头将含有图案形成材料的液状体以液滴的形式喷出到基体上，使配置在该基体上的上述液状体干燥，形成 由图案形成材料构成的图案，该图案形成装置具备射出用于使配置在上 述基体上的液状体干燥的第一激光的第一激光输出机构、射出用于使配置 在上述基体上的液状体移动的第二激光的第二激光输出机构、向配置在上 述基体上的液状体照射从上述第一激光输出机构射出的第一激光的第一 照射机构、和从与上述第一激光不同的方向对配置在上述基体上的液状体 照射从上述第二激光输出机构射出的第二激光的第二照射机构。根据本发明的图案形成装置，第一激光借助第一照射机构向液状体照 射。另外，第二激光借助第二照射机构从与上述第一激光不同的方向照射 在液状体上，因此，液状体通过第二激光来控制配置位置，通过第一激光 进行干燥。因此，可以在基体的所希望的配置位置使液状体干燥，可以形 成高精细、高精密的由图案形成材料构成的图案。在该图案形成装置中，具备载置上述基体并沿着扫描方向进行移动 引导的平台、和相对于上述平台的扫描方向的移动沿着正交的副扫描方向 移动的滑架，在上述滑架上可以搭载上述液滴喷头、上述第一照射机构、 上述第二照射机构。根据该图案形成装置，由于在滑架上一体搭载第一照射机构和第二照 射机构，所以借助滑架，第一照射机构和第二照射机构的相对位置得到固 定，所以可以相对液状体维持照射的第一激光和第二激光的相对照射位 置。其结果，可以更确实可靠地向需要的位置将由第一照射机构和第二照 射机构照射的激光照射于液状体。在该图案形成装置中，上述第一照射机构和上述第二照射机构可以配 设成夹持上述液滴喷头。根据该图案形成装置，上述第一照射机构和上述第二照射机构配设成 夹持上述液滴喷头，由此能以简单的结构从相对向的方向将第一激光和第 二激光照射于液状体。在该图案形成装置中，图案形成材料液是金属微粒分散形成的金属墨 液，上述基体可以是低温烧成陶瓷基板。根据该图案形成装置，由第一照射机构和第二照射机构照射的第一激 光和第二激光，照射配置在低温烧成陶瓷基板上的金属墨液。由此，可以提高金属墨液的干燥效率，可以降低由金属墨液构成的图案的形成不良。 在该图案形成装置中，上述第一激光输出机构的第一激光是吸收率相比图案形成材料液高的波长的激光，上述第二激光输出机构的第二激光可以是吸收率相比图案形成材料液低的波长的激光。根据该图案形成装置，第一激光相对于液状体具有高吸收率，所以光子(photon)的动能集中在液状体的表面部分的图案形成材料。此外，该 图案形成材料彼此碰撞，通过由该碰撞产生的热使图案形成材料液干燥。 另一方面，第二激光相对于液状体具有低吸收率，所以光子(photon)的 动能传递至液状体的内部全体的图案形成材料。各图案形成材料未获得图 案形成材料彼此碰撞以致变成热的程度的较大动能，进行用于使该液状体 在沿着第二激光的行进方向的方向上平移运动的运动。其结果，第二激光 通过变更其照射方向，或者变更其功率，可以自由地控制液状体的配置位 置。本发明的液状体干燥装置，其使配置在基体上的含有图案形成材料的液状体干燥，形成由图案形成材料构成的图案，该液状体干燥装置具备射出用于使配置在上述基体上的液状体干燥的第一激光的第一激光输出 机构、射出用于使配置在上述基体上的液状体移动的第二激光的第二激光 输出机构、向配置在上述基体上的液状体照射从上述第一激光输出机构射 出的第一激光的第一照射机构、和从与上述第一激光不同的方向对配置在 上述基体上的液状体照射从上述第二激光输出机构射出的第二激光的第 二照射机构。根据本发明的液状体干燥装置，第一激光借助第一照射机构向配置在 基体上的液状体照射。另外，第二激光借助第二照射机构从与上述第一激 光不同的方向照射在液状体上，因此，配置在基体上的液状体通过第二激 光来自由地控制配置位置，通过第一激光进行干燥。因此，可以在基体的 需要的配置位置使液状体干燥，可以形成高精细、高精密的由图案形成材 料构成的图案。在该液状体干燥装置中，具备载置上述基体并沿着扫描方向进行移动引导的平台、和相对于上述平台的扫描方向的移动沿着正交的副扫描方 向移动的滑架，在上述滑架上可以搭载上述第一照射机构、和上述第二照射机构。根据该液状体干燥装置，由于在滑架上一体搭载第一照射机构和第二 照射机构，所以借助滑架，第一照射机构和第二照射机构的相对位置得到 固定，所以可以相对配置在基体上的液状体维持照射的第一激光和第二激 光的相对照射位置。其结果，可以更确实可靠地向需要的位置将由第一照 射机构和第二照射机构照射的激光照射于液状体。


图l是表示电路模块的立体图。图2是说明电路模块的制造方法的说明图。图3是表示液滴喷出装置的立体图。 图4是表示液滴喷头的立体图。 图5是表示液滴喷头的侧视图。 图6是说明液滴喷头和半导体激光器的说明图。 图7 (a)是用于说明液滴的干燥原理的图，(b)用于说明液滴的移动 原理的图。图8同样是说明的液滴喷出装置的电气的电路框图。 图中l一电路模块，4S —作为基板的生片，5—电路元件，5F—构成 图案的元件图案，6—作为金属布线的内部布线，6F —构成图案的布线图 案，IO —液滴喷出装置，13 —平台，20 —滑架，21—液滴喷头，25a—构 成第一照射机构的第一柱面透镜，25b—构成第二照射机构的第二柱面透 镜，27a—构成第一照射机构的第一反射镜，27b—构成第二照射机构的第 二反射镜，F—作为图案形成材料的金属墨液，Fb—液滴，Lel —构成激光 的第一照射光，Le2 —构成激光的第二照射光，LD1 —作为第一激光输出 机构的第一半导体激光器，LD2 —作为第二激光输出机构的第二半导体激 光器。
具体实施方式
以下，根据图1 图8说明将本发明具体化的一个实施方式。首先， 对本发明的电路模块1进行说明。在图1中，电路模块1中具备形成为板状的LTCC多层基板2、和引 线接合连接或倒装式接合连接于该LTCC多层基板2上侧的多个半导体芯 片3。LTCC多层基板2上层叠有形成为片状的多层低温烧成陶瓷基板(以 下简单地称为绝缘层4)。各绝缘层4分别是由玻璃陶瓷系材料(例如硼硅 酸铝氧化物等玻璃成分和氧化铝等陶瓷成分的混合物)构成的烧结体，其 厚度为数百lim。在各绝缘层4的层间形成有电阻元件或电容元件、线圈元件等各种电 路元件5、和对各电路元件5进行电连接的作为金属布线的多条内部布线 6。各电路元件5和各内部布线6分别是银或银合金等的金属微粒的烧结 体，利用本发明的液滴喷出装置10 (参照图3)形成。在各绝缘层4的层 内形成呈现堆垛转接(stack via)结构或热转接(thermal via)结构的转接 布线7，在层间电连接各电路元件5或各内部布线6。各转接布线7与各 电路元件5或各内部布线6同样，是银或银合金等的金属微粉末的烧结体。接着，根据图2对上述LTCC多层基板2的制造方法进行说明。在图2中，对可以切出绝缘层4的作为基体的生片4S实施冲孔加工 或激光加工，冲裁形成通孔7H。接着，对生片4S多次实施使用了金属膏 的丝网印刷，向通孔7H中填充金属膏，形成由金属膏构成的转接图案7F。 接着，使用在水系溶剂中分散了金属纳米级微粒得到的作为图案形成材料 的金属墨液F (在本实施方式中，水系银墨液)，对生片4S的上表面(以 下简单地称为图案形成面4Sa)实施喷墨印刷。如果详细描述，向图案形成面4Sa、即用于形成电路元件5和内部布 线6的区域(以下简单地称为图案形成区域)喷出金属墨液F的液滴Fb (参照图5)，对弹落在图案形成区域的液滴Fb进行干燥。此外，反复进 行该喷出动作和干燥动作，描绘与图案形成区域相对应的元件图案5F和 布线图案6F。此时，弹落在图案形成区域的液滴Fb的干燥通过向已弹落 的液滴Fb照射激光而进行。当在生片4S上形成元件图案5F、布线图案6F和转接图案7F时，一 并层叠多个生片4S，将与LTCC多层基板2对应的区域作为层叠体4B切 出后进行烧成。即，一并层叠生片4S、元件图案5F、布线图案6F和转接图案7F，同时进行烧成。由此，形成具有绝缘层4、电路元件5、内部布 线6和转接布线7的LTCC多层基板2。接着，根据图3说明用于描绘上述元件图案5F和布线图案6F的液滴 喷出装置IO。图3是表示液滴喷出装置IO的整体立体图。在图3中，液滴喷出装置IO具备形成为长方体形状的基台11。在基 台11的上面形成有沿着其长度方向(Y箭头方向)延伸的一对引导沟槽 12。在引导沟槽12的上方具备沿着引导槽沟12在Y箭头方向和反Y箭 头方向上移动的平台13。在平台13的上面形成载置部14，载置使上述图 案形成面4Sa为上侧的生片4S。载置部14使被载置状态下的生片4S相 对于平台13定位固定，在Y箭头方向和反Y箭头方向上搬送生片4S。另 外，在本实施方式中，在图3中，将Y箭头方向定义为扫描方向。另外， 将沿着生片4S的扫描方向的搬送速度定义为扫描速度Vy。在基台11上在与其扫描方向正交的X箭头方向两侧以跨过基台11的 方式架设有形成为门型的引导构件16。在引导构件16的上侧配设有在X 箭头方向延伸的墨液槽17。墨液槽17贮留作为液状体的金属墨液F，分 别以规定的压力向配设在下方的液滴喷头(以下简单地称为喷头)21提供 金属墨液F。在这里，金属墨液F可以使用作为图案形成材料的将金属微粒例如粒 径为数nm的金属微粒分散在溶剂中得到的分散系金属墨液。作为用于金属墨液F的金属微粒，例如除了金(Au)、银(Ag)、铜 (Cu)、铝(Al)、钯(Pd)、锰(Mn)、钛(Ti)、钽(Ta)、和镍(Ni) 等材料之外，还使用这些氧化物、以及超电导体的微粒等。金属微粒的粒 径优选为lnm以上O.lpm以下。当比O.lpm大时，分散剂相对于金属微 粒的体积比增大，得到的膜中的有机物的比例过多。作为分散介质，只要是可以分散上述金属微粒且不会引起凝聚的物质 就没有特别限制。例如除了水系溶剂之外，可以例示甲醇、乙醇、丙醇、 丁醇等醇类，正庚垸、正辛垸、癸垸、十二烷、十四垸、甲苯、二甲苯、 异丙基甲苯、杜烯、茚、二聚戊烯、四氢化萘、十氢化萘、环己基苯等烃 系化合物，乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、甘油、1， 3 —丙二醇等醇类， 聚乙二醇、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚、1， 2 — 二甲氧基乙烷、双(2 — 甲氧基乙基)醚、p — 二噁烷等醚系化合物，进而还可以例示碳酸丙烯酯、Y —丁内酯、N—甲基一2—吡咯垸酮、二甲基甲酰胺、二甲亚砜、环己酮、 乳酸乙酯等极性化合物。其中，从微粒的分散性和分散液的稳定性、向液 滴喷出法的应用的容易程度的观点出发，优选水、醇类、烃系化合物、醚 系化合物，作为更优选的分散介质，可以举出水、烃系化合物。例如，考虑在由水(沸点IO(TC) 40%、乙二醇(沸点198°C) 40%、 聚乙二醇# 1000 (分解温度168°C) 30%构成的水系溶剂中分散有银(Ag) 的粒子得到的金属墨液F。另外，还考虑在由十四烷(沸点253°C)构成 的溶剂中分散有金属微粒(Au、 Ag、 Ni、 Mn等粒子)得到的金属墨液F。在引导构件16的反Y箭头方向侧，在其X箭头方向大致整个宽度， 形成有在X箭头方向上延伸的上下一对的导轨18。在一对导轨18上安装 滑架20，沿着导轨18在X箭头方向和反X箭头方向上移动(进给)。在 滑架20的底面20a且在其扫描方向大致中央部搭载有喷头21。图4是从 下侧(生片4S侧)观察喷头21时的立体图，图5是图4的5 — 5线剖视 图。图6是说明滑架20的说明图。在图4中，喷头21形成为在X箭头方向上延伸的长方体形状。在喷 头21的下侧(生片4S侧图4的上侧)具备喷嘴板22。喷嘴板22形成 为在X箭头方向上延伸的板状，在其下面(图4的上面)形成有喷嘴形成 面22a。喷嘴形成面22a形成为与生片4S的图案形成面4Sa大致平行，在 生片4S位于喷头21的正下方时，将喷嘴形成面22a和图案形成面4Sa之 间的距离(压板间隙)保持为规定的距离(在本实施方式中为300pm)。 在该喷嘴形成面22a上沿着X箭头方向排列有在喷嘴形成面22a的法线方 向贯通形成的多个喷嘴N。在图5中，在各喷嘴N的上侧形成有分别与墨液槽17连通的腔室23。 腔室23将来自墨液槽17的金属墨液F提供给对应的喷嘴N。在各腔室23 的上侧贴附有沿上下方向振动而对腔室23内的容积进行扩大或縮小的振 动板24。在振动板24的上侧配设有与喷嘴N对应的多个压电元件PZ。 各压电元件PZ分别在上下方向上收縮和伸展以使对应的振动板24在上下 方向上振动，从对应的喷嘴N将金属墨液F以规定容量(在本实施方式中为lOpl)的液滴Fb的形式喷出。液滴Fb在对应的喷嘴N的反Z箭头方 向飞行，将对向的图案且与各喷嘴N的反Z箭头方向对应的位置即液滴 Fb的弹落位置分别定义为弹落位置P。弹落的液滴Fb在生片4S沿着扫描方向被扫描的期间沿着图案形成面 4Sa润湿扩展，不久与先行弹落的液滴Fb接合。接合的各液滴Fb形成沿 着扫描方向延伸的液状膜FL，在其顶部表面的全体形成与图案形成面4Sa 大致平行的液面FLa。在本实施方式中，将弹落的液滴Fb直到形成液状膜FL为止所需的时 间定义为照射待机时间Ty。另外，将在该照射待机时间Ty期间内液滴Fb 的扫描距离定义为照射待机距离WF(=扫描速度Vy X照射待机时间Ty)。另外，在本实施方式中，将液面Fla上的位置、即与各弹落位置P在 扫描方向上仅分开照射待机距离WF的位置分别定义为照射位置P1。在图6中，在滑架20的底面20a、即在喷头21的扫描方向(Y箭头 方向)上形成有贯通至滑架20的内部的第一射出孔Hl。就第一射出孔 Hl而言，以其X箭头方向的宽度与喷头21的X箭头方向的宽度大致相 同的尺寸形成。在该第一射出孔H1的上侧配设有作为第一激光输出机构 的第一半导体激光器LD1。第一半导体激光器LD1向下方射出在第一射出孔H1的X箭头方向的 大致整个宽度上扩展的带状的经校准的激光。由第一半导体激光器LD1 射出的激光的波长被设定成相对于金属墨液F具有高吸收率的区域的波 长。即，第一半导体激光器LD1射出用于照射在液状膜F1上使该液状膜 Fl干燥的激光。如果进行详细描述，如果相对于金属墨液F具有高吸收率，当向该金 属墨液F照射第一半导体激光器LD1的激光(第一照射光Lel)时，如图 7 (a)所示，第一半导体激光器LD1的激光在金属墨液F的表面发生吸收 使得光子(photon)未到达内部，仅向表面的金属粒子传递运动。换言之， 液滴Fb的表面部分的金属微粒从光子(photon)集中动能并接受，所以成 为各个金属微粒接受较大的动能，金属微粒彼此碰撞。此外，该碰撞变成 热，使液滴Fb干燥。另一方面，如果相对于金属墨液F具有低吸收率，则到达内部，向内部所有的金属微粒传递动能。其结果，各金属微粒向激光照射方向移动而 使金属墨液F移动。激光的吸收率依赖于金属墨液F的浓度。在这里，当设浓度为C、吸 光系数为s、液滴Fb的长度为L、透过度为T，吸光度为E时， 徵1]<formula>formula see original document page 15</formula>徵2]<formula>formula see original document page 15</formula>此时，在C —E/eL时，光子遍及整个液滴而引起液滴Fb的移动。另 外，在C》E/eL时，光子仅到达液滴表面而引起液滴Fb的干燥。进而， 在CX〈E/eL时，光子未到达液滴而什么都没有发生。此外，在本实施方式中，预先通过实验等求得相对于金属墨液F具有 高吸收率且适于干燥的区域的第一半导体激光器LD1的激光的波长，在本 实施方式中，将其波长设定为800nm。在第一射出孔Hl的内部配设有构成第一照射机构的第一柱面透镜 25a。第一柱面透镜25a是仅在Y箭头方向具有曲率的透镜，以透镜面的 X箭头方向的宽度与喷头21的X箭头方向的宽度大致相同的尺寸形成。 第一柱面透镜25a在第一半导体激光器LD1射出激光时，仅对该激光的沿 着扫描方向的成分进行会聚，作为第一照射光Lel向下方射出。在第一射出孔H1的下侧配设有沿着滑架20的下方延伸的构成第一照 射机构的第一镜台26a、和以可以转动的方式被第一镜台26a支撑且构成 第一照射机构的第一反射镜27a。第一镜台26a以沿着X箭头方向的转动 轴为中心，以可以转动的方式支撑第一反射镜27a。第一反射镜27a是在第一柱面透镜25a侧具有反射面27ma的平面镜， 以其反射面27ma的X箭头方向的宽度与喷头21的X箭头方向的宽度大 致相同的尺寸形成。第一反射镜27a在第一半导体激光器LDl射出激光时， 沿着图案形成面4Sa的大致切线方向(大致反扫描方向)反射来自第一柱 面透镜25a的第一照射光Lel。第一反射镜27a以反射的第一照射光Lel 会聚于所有照射位置P1的方式进行照射。对照射位置Pl进行照射的带状的第一照射光Lel具有向金属墨液F的吸收率高的区域的波长，透过液面FLa，被液状膜FL吸收，开始液状 膜FL的干燥。如果进行详细描述，如果吸收率高，则第一照射光Lel (光 子)的动量被传递至液状膜FL的表面附近的部分的金属微粒。即，其附近部分的金属微粒彼此碰撞而转变成热能开始干燥。在图6中，在滑架20的底面20a、即在喷头21的反扫描方向(反Y 箭头方向)上形成有贯通至滑架20的内部的第二射出孔H2。就第二射出 孔H2而言，以其X箭头方向的宽度与喷头21的X箭头方向的宽度大致 相同的尺寸形成。在该第二射出孔H2的上侧配设有作为第二激光输出机 构的第二半导体激光器LD2。第二半导体激光器LD2向下方射出在第二射出孔H2的X箭头方向的 大致整个宽度上扩展的带状的经校准的激光。由第二半导体激光器LD2 射出的激光的波长被设定成相对于金属墨液F具有低吸收率的区域的波 长。如果进行详细描述，如果相对于金属墨液F具有低吸收率，当向该金 属墨液F照射第二半导体激光器LD2的激光(第二照射光Le2)时，如图 7(b)所示，第二半导体激光器LD2的激光如前所述到达内部，向内部所 有的金属微粒传递动能。换言之，没有遗漏地将动能传递至液滴Fb的内 部所有的金属微粒，所以各金属微粒无法获得金属微粒彼此碰撞直至转变 成热能所需的较大的动能，该金属微粒进行用于使液滴Fb在沿着第二照 射光Le2的行进方向的方向上平移运动的运动。此外，在本实施方式中，预先通过实验等求得相对于金属墨液F具有 低吸收率且适于引起平移运动的区域的第二半导体激光器LD2的激光的 波长，在本实施方式中，将其波长设定为1000nm。此外，本实施方式的第二半导体激光器LD2照射液状膜FL，在该液 状膜FL上移动，即，此时，当在照射位置Pl用第一半导体激光器LD1 的激光(第一照射光Lel)使液状膜FL干燥时，使第一照射光Lel入射 的液状膜FL的部分平坦化，同时在该照射位置Pl被干燥的部分的液状膜 FL按照在基于第一照射光Lel的干燥过程中不在该第一照射光Lel的照射方向上移动的方式被保持。在第二射出孔H2的内部配设有构成第二照射机构的第二柱面透镜25b。第二柱面透镜25b是仅在Y箭头方向具有曲率的透镜，以透镜面的 X箭头方向的宽度与喷头21的X箭头方向的宽度大致相同的尺寸形成。 第二柱面透镜25b在第二半导体激光器LD2射出激光时，仅对该激光的沿 着扫描方向的成分进行会聚，作为第二照射光Le2向下方射出。在第二射出孔H2的下侧配设有沿着滑架20的下方延伸且构成第二照 射机构的第二镜台26b、和以可以转动的方式被第二镜台26b支撑且构成 第二照射机构的第二反射镜27b。第二镜台26b以沿着X箭头方向的转动 轴为中心，以可以转动的方式支撑第二反射镜27b。第二反射镜27b是在第二柱面透镜25b侧具有反射面27mb的平面镜， 以其反射面27mb的X箭头方向的宽度与喷头21的X箭头方向的宽度大 致相同的尺寸形成。第二反射镜27b在第二半导体激光器LD2射出激光时， 沿着图案形成面4Sa的大致切线方向(大致反扫描方向)反射来自第二柱 面透镜25b的第二照射光Le2。第二反射镜27b以反射的第二照射光Le2 会聚于所有照射位置P1的方式进行照射。对照射位置Pl进行照射的带状的第二照射光Le2具有向金属墨液F 的吸收率低的区域的波长，赋予使该照射位置P1部分的液状膜FL向沿着 第二照射光Le2的行进方向的方向移动的运动。因此，带状第二照射光 Le2入射的液状膜Fl的部分(照射位置P1)被该第二照射光Le2平坦化。另外，照射第一照射光Lel，液状膜FL (液滴Fb)通过第二照射光 Le2的照射，向第一照射光Lel的照射方向的流动(移动)受到限制，在 此情况下，确实可靠地进行干燥，形成没有干燥不足的层图案FP。此外， 通过按顺序层叠该层图案FP，可以形成元件图案5F和布线图案6F，可以 减轻其形成不良。接着，根据图8说明如上所述构成的液滴喷出装置10的电气构成。在图8中，作为控制机构的控制装置40具有CPU、 ROM、 RAM等， 根据储存的各种数据和各种控制程序使平台B和滑架20移动，同时对第 一半导体激光器LD1、第二半导体激光器LD2以及各压电元件PZ进行驱 动控制。在控制装置40上连接有具备起动开关、停止开关等操作开关的输入 装置41。输入装置41将与描绘平面(图案形成面4Sa)对应的图案形成区域(层图案FP)的位置坐标有关的信息作为既定形式的描绘信息Ia输 入到控制装置40。控制装置40接收来自输入装置41的描绘信息Ia，生成 位图数据BMD。位图数据BMD是根据各比特的值(0或者1)规定各压电元件PZ的 接通或断开的数据。位图数据BMD是对是否向通过喷头21的描绘平面(图 案形成面4Sa)上的各位置分别喷出液滴Fb进行规定的数据。即，位图数 据BMD用于将液滴Fb喷到由图案形成区域规定的各目标位置。在控制装置40上连接有X轴马达驱动电路42，输出与X轴马达驱动 电路42对应的驱动控制信号。X轴马达驱动电路42对来自控制装置40 的驱动控制信号进行响应，让用于使滑架20移动的X轴马达MX正转或 反转。在X轴马达驱动电路42上连接有X轴编码器XE,被输入来自X 轴编码器XE的检测信号。X轴马达驱动电路42根据来自X轴编码器XE 的检测信号，生成与滑架20 (各弹落位置P)相对于图案形成面4Sa的移 动方向和移动量有关的信号，向控制装置40输出。在控制装置40上连接有Y轴马达驱动电路43，输出与Y轴马达驱动 电路43对应的驱动控制信号。Y轴马达驱动电路43对来自控制装置40 的驱动控制信号进行响应，让用于使平台13移动的Y轴马达MY正转或 反转。即，控制装置40借助Y轴马达驱动电路43在照射待机时间TY期 间仅对平台13 (图案形成面4Sa)扫描照射待机距离WF，使位于照射位 置Pl的液滴Fb形成液状膜FL。在Y轴马达驱动电路43上连接有Y轴编码器YE，被输入来自Y轴 编码器YE的检测信号。Y轴马达驱动电路43根据来自Y轴编码器YE 的检测信号，生成与平台13 (图案形成面4Sa)的移动方向和移动量有关 的信号，向控制装置40输出。控制装置40根据来自Y轴马达驱动电路 43的信号，运算弹落位置P相对于图案形成面4Sa的相对位置，每当目标 位置位于所对应的弹落位置P时输出喷出时间信号LP。在控制装置40上连接有第一半导体激光器驱动电路44，在开始描绘 动作时输出描绘开始信号S1，在结束描绘动作时，输出描绘结束信号S2。 第一半导体激光器驱动电路44输入来自控制装置40的描绘开始信号Sl ， 使第一半导体激光器LD1射出激光，输入来自控制装置40的描绘结束信号S2使第一半导体激光器LD1停止激光的射出。g卩，控制装置40借助 第一半导体激光器驱动电路44在描绘动作期间对第一半导体激光器LD1 进行驱动控制，进行激光的照射动作。在控制装置40上连接有第二半导体激光器驱动电路45，在开始描绘 动作时输出描绘开始信号S1，在结束描绘动作时，输出描绘结束信号S2。 第二半导体激光器驱动电路45输入来自控制装置40的描绘开始信号S1 ， 使第二半导体激光器LD2射出激光，输入来自控制装置40的描绘结束信 号S2使第二半导体激光器LD2停止激光的射出。即，控制装置40借助 第二半导体激光器驱动电路45在描绘动作期间对第二半导体激光器LD2 进行驱动控制，进行激光的照射动作。在控制装置40上连接有喷头驱动电路46，让用于驱动各压电元件PZ 的压电元件驱动电压COM与上述喷出时间信号LP同步输出。另外，控 制装置40根据位图数据BMD生成与规定的时钟信号同步的喷出控制信号 SI，将喷出控制信号SI串行传输至喷头驱动电路46。喷头驱动电路46使 来自控制装置40的喷出控制信号SI与各压电元件PZ相对应，顺次进行 串行/并行变换。喷头驱动电路46每当接收来自控制装置40的喷出时间信 号LP时，对已进行串行/并行变换的喷出控制信号SI进行锁存，向所选择 的各压电元件PZ分别供给压电元件驱动电压COM。接着，对使用液滴喷出装置10描绘元件图案5F和布线图案6F的方 法进行说明。首先，如图3所示，以使图案形成面4Sa成为上侧的方式在平台13 上载置生片4S。此时，平台13将生片4S配置在滑架20的反扫描方向。在该状态下，将描绘信息Ia从输入装置41输入到控制装置40，控制 装置40生成基于描绘信息Ia的位图数据BMD并储存。接着，在生片4S 被扫描时，按照目标位置通过所对应的弹落位置P的方式，控制装置40 借助X轴马达驱动电路42将滑架20 (喷头31)配置移动至规定的位置。 在滑架20进行配置移动时，控制装置40借助Y轴马达驱动电路43开始 生片4S的扫描(scan)。当开始生片4S的扫描时，控制装置40向喷头驱动电路46输出基于 位图数据BMD生成的喷出控制信号SI。另外，当开始生片4S的扫描时，每当目标位置位于所对应的弹落位置P时，控制装置40向喷头驱动电路46输出喷出时间信号LP。此外， 每当输出喷出时间信号LP时，控制装置40借助喷头驱动电路46，根据 喷出控制信号SI选择用于喷出液滴Fb的喷嘴N，向与所选择的喷嘴N对 应的弹落位置P即目标位置喷出液滴Fb。被喷出的各液滴Fb分别弹落在 图案形成面4Sa上的对应的目标位置。弹落在各目标位置的液滴Fb当分 别在扫描方向上仅扫描照射待机距离WF时，在照射位置P1的附近与先 行的液滴Fb接合，形成在扫描方向上延伸的液状膜FL。另外，当开始生片4S的扫描时，控制装置40分别向第一以及第二半 导体激光器驱动电路44、 45输出喷出控制信号SI,分别从第一以及第二 半导体激光器LD1、 LD2射出激光。当第一以及第二半导体激光器LD1、 LD2射出激光时，第一以及第二 反射镜27a、 27b分别对来自相对应的第一以及第二半导体激光器LD1、 LD2的激光进行反射。此外，来自第一半导体激光器LD1的激光作为沿 着大致反扫描方向的第一照射光Lel对照射位置P1进行照射。另一方面， 来自第二半导体激光器LD2的激光作为沿着大致扫描方向的第二照射光 Le2对照射位置P1进行照射。因此，照射位置Pl的液状膜FL在被第二照射光Le2限制向第一照射 光Lel的照射方向的移动的状态下，通过第一照射光Lel开始干燥。其结 果，液状膜FL在被第二照射光Le2平坦化的同时，被确实可靠地干燥， 所以成为没有干燥不足的平坦的层图案FP。此外，通过顺次层叠该层图 案FP，可以形成元件图案5F和布线图案6F，可以减轻其形成不良。接着，以下记载如上所述构成的本实施方式的效果。 (1)根据上述实施方式，具备射出用于使液状膜FL干燥的相对于金 属墨液F具有高吸收率的波长的激光(第一照射光Lel)的第一半导体激 光器LD1、和可以使液状膜FL移动的相对于金属墨液F具有低吸收率的 波长的激光(第二照射光Le2)的第二半导体激光器LD2。此外，通过第二照射光Le2，向液状膜FL赋予向与第一照射光Lel 的照射方向相反的方向的移动，对基于干燥用的第一照射光Lel的向该第 一照射光Lel的照射方向的移动进行限制即配置位置控制。另外，通过第二照射光Le2，使第一照射光Lel入射的液状膜FL的部分(照射位置Pl) 平坦化。因此，在通过第一照射光Lel干燥液状膜FL时，液状膜FL边被平 坦化边在该位置被确实可靠地干燥。其结果，可以形成没有干燥不足的高 精细高精密的层图案FP (元件图案5F、布线图案6F)。另外，层图案FP不会向其端部上渗而可以形成平坦的图案。进而， 当输送滑架20在新的位置进行扫描时，可以使在先前的扫描中干燥的层 图案FP和新配置的液状膜FL的边界(连接点)平坦，使该液状膜FL干 燥。(2) 根据上述实施方式，使第一照射光Lel的向照射位置P的照射 方向(从上看是反Y箭头方向)和第二照射光Le2的向照射位置P的照射 方向(从上看是Y箭头方向)从上方看是相对向的。照射位置P1上的液 状膜FL的流动仅通过第一照射光Lel和第二照射光Le2的功率或射出时 间就可以简单控制。(3) 根据上述实施方式，相对于第一半导体激光器LD1和第二半导 体激光器LD2，设置各自不同的驱动电路44、 45。因此，可以分别独立地 控制第一照射光Lel和第二照射光Le2的功率或射出时间。其结果，可以 自由控制干燥和配置位置控制，可以实施更合适的干燥。由此，可以更确 实可靠地消除图案的形成不良。(4) 根据上述实施方式，滑架20搭载喷头21、第一以及第二半导体 激光器LD1、 LD2、第一以及第二柱面透镜25a、 25b、第一以及第二反射 镜27a、 27b。由此，可以维持第一照射光Lel和第二照射光Le2相对于液滴Fb的 弹落位置P (液状膜FL)的相对位置。其结果，可以在更高再现性的情况 下将第一照射光Lel和第二照射光Le2照射在液状膜FL的照射位置Pl。 为此，可以使元件图案5F和布线图案6F的干燥状态稳定，可以进一步减 轻电路元件5和内部布线6的形成不良。其中，上述实施方式可以有如下所述的变更。O在上述实施方式中，喷出液滴Fb，顺次在新的场所形成液状膜FL， 同时照射第一照射光Lel和第二照射光Le2，对液状膜FL进行干燥。代替这一点，使平台13和滑架20相对移动，首先用喷头21在生片4S的图 案形成面4Sa上形成规定图案的液状膜FL。此外，接着，再次使平台13 和滑架20相对移动，相对于在先前的生片4S上形成的规定图案的液状膜 FL，照射第一照射光Lel和第二照射光Le2，对该液状膜FL进行干燥。此时，除了同时照射第一照射光Lel和第二照射光Le2使其干燥的方 法以外，首先，使平台13和滑架20相对移动，仅使用第二照射光Le2将 在生片4S上形成的规定图案的液状膜FL的液面FLa弄平，使其整体平坦 化之后，接着，使平台13和滑架20相对移动，使用第一照射光Lel干燥 液状膜FL。O在上述实施方式中，使用向金属墨液F的吸收率低的区域的波长的 第一照射光Lel和向金属墨液F的吸收率低的区域的波长的第二照射光 Le2进行干燥。第一照射光Lel和第二照射光Le2可以都是向金属墨液F 的吸收率低的区域的波长的激光。当然可以是相同波长。此时，液状膜FL 的照射位置Pl部分的金属墨液F通过第一照射光Lel和第二照射光Le2 分别接受相反方向的动能，由此在液状膜FL (液滴Fb)不移动的情况下 金属微粒接受较大的动能，金属微粒彼此碰撞。此外，该碰撞转变成热能， 使液状膜FL (液滴Fb)干燥。在这种情况下，例如用半透射反射镜将1个半导体激光器(例如，在 上述实施方式中是第二半导体激光器LD2)的激光分成2束照射光，将该 2束照射光照射在液状膜FL上使其干燥。另外，当一个半导体激光器(在 上述实施方式中是第二半导体激光器LD2)的激光照射在液状膜FL上时， 用凹面镜反射其反射光再次照射在液状膜FL上。O在上述实施方式中，在作为图案形成装置的液滴喷出装置10的滑 架20上搭载喷头21以及第一半导体激光器LD1或第二半导体激光器LD2 等。这在液滴喷出装置10中，除了仅搭载有喷头21的第一滑架之外，还 可以具备搭载有第一半导体激光器LD1或第二半导体激光器LD2等的第 二滑架来实施。另外，第一半导体激光器LD1或第二半导体激光器LD2等干燥液状 膜FL的机构可以不设置在液滴喷出装置上，而是设置搭载有第一半导体 激光器LD1或第二半导体激光器LD2等的专用的激光干燥装置。此时，由液滴喷出装置和激光干燥装置构成图案形成装置。O在上述实施方式中，采取以下构成向由多个液滴Fb形成液状膜FL照射通用的第一照射光Lel和通用的第二照射光Le2。并不限于此，例 如分割来自第一半导体激光器LD1的激光使其与各喷嘴N对应，同时分 割来自第二半导体激光器LD2的激光使其与各喷嘴N对应。此外，可以 构成为使多个第一照射光Lel和多个第二照射光Le2照射液状膜FL (各 液滴Fb)。或者，还可以构成为以喷嘴的数量分别配设第一半导体激光器 LD1和第二半导体激光器LD2，向液状膜FL (各液滴Fb)照射多个第一 照射光Lel和多个第二照射光Le2。即，构成将与各液滴Fb对应的第一 照射光Lel和第二照射光Le2分别照射在与其对应的液滴Fb的区域。O在上述实施方式中，第一照射光Lel和第二照射光Le2都是带状(线 状)的激光束，但还可以用点状的激光束来实施。O在上述实施方式中，构成为沿着X箭头方向排列一列多个喷嘴N。 并不限于此，例如还可以构成为沿着X箭头方向排列两列多个喷嘴N。O在上述实施方式中，用第一柱面透镜25a和第一反射镜27a来具体 化第一照射机构，同时用第二柱面透镜25b和第二反射镜27b来具体化第 二照射机构。并不限于此，可以仅由第一以及第二柱面透镜25a、 25b分 别构成第一以及第二照射机构，向液状膜FL直接照射由柱面透镜25a、 25b射出的激光。即，第一以及第二照射机构可以是向液滴的区域照射由 激光源射出的激光的机构。O在上述实施方式中，构成为根据描绘信息Ia生成位图数据BMD。 并不限于此，还可以构成为由输入装置41向在控制装置40输入预先由外 部装置生成的位图数据BMD。O在上述实施方式中，将液滴喷头具体化为压电元件驱动方式的液滴 喷头21。并不限于此，还可以将液滴喷头具体化为电阻加热方式或静电驱 动方式的喷头。O在上述实施方式中，构成为用喷墨法形成电路元件5和内部布线6。 并不限于此，还可以构成为利用上述的喷墨法仅形成比较微细的电路元件 5或内部布线6。O在上述实施方式中，将图案形成材料具体化为金属墨液。并不限于此，例如还可以将图案形成材料具体化为分散或溶解有绝缘膜材料或抗蚀 剂、保护膜、显示装置等中使用的滤色器、透明电极(ITO膜)、液晶显示装置的液晶或取向膜、有机EL显示装置的发光层、电子输送层、空穴 输送层等的有机材料得到的液状体。g卩，图案形成材料可以是受到激光照 射而干燥形成固相的图案的材料。O在上述实施方式中，将图案具体化为元件图案5F和布线图案6F。 并不限于此，还可以将图案具体化为液晶显示装置、有机电致发光显示装 置、平面状的具备电子发射元件的场效应型显示装置(FED或SED等) 所具备的各种金属布线。或者，还可以将图案具体化为多个线图案或点图 案构成的标识码。即，图案可以是由己干燥的液滴形成的图案。O在上述实施方式中，对第一照射光Lel和第二照射光Le2的照射时 间没有特别限制，但第二照射光Le2的照射时间假如在液状膜FL (液滴 Fb)干燥而流动性消失之前，就可以根据各种图案形成进行适当变更而实 施。O在上述实施方式中，对第一照射光Lel和第二照射光Le2的功率没 有特别限制，可以根据液状膜FL (液滴Fb)的干燥适当变更第一照射光 Lel和第二照射光Le2的功率来实施。O在上述实施方式中，第一照射光Lel和第二照射光Le2的照射位置 Pl可以相同，也可以不同。通过用该第二照射光Le2照射由第二照射光 Le2照射的部分，可以将由第一照射光Lel照射的部分(与第二照射光Le2 所照射的位置不同的位置)保持在规定的配置位置，可以用该第一照射光 Lel进行干燥。
权利要求
1.一种图案形成方法，使配置在基体上的含有图案形成材料的液状体干燥，在所述基体上形成由图案形成材料构成的图案，从不同的方向向配置在所述基体上的所述液状体照射多束激光，使所述液状体干燥，形成由图案形成材料构成的图案。
2. 如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于， 多束激光用于照射在液状体上对该液状体进行配置位置控制，以与所述液状体的至少可以移动的方向的运动量相互大致抵消的朝向和强度分 布照射所述多束激光。
3. —种图案形成方法，使配置在基体上的含有图案形成材料的液状 体干燥，在所述基体上形成由图案形成材料构成的图案，用照射在所述液状体使该液状体干燥的第一激光和照射在所述液状 体而对该液状体进行配置位置控制的第二激光来干燥所述液状体。
4. 如权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于， 用所述第二激光将所述液状体配置位置控制到规定的配置位置后，用所述第一激光使所述液状体干燥。
5. 如权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于， 一边用所述第二激光将所述液状体移动控制到规定的配置位置， 一边用所述第一激光干燥所述液状体。
6. 如权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于， 一边用所述第二激光将所述液状体保持在规定的配置位置， 一边用所述第一激光来干燥所述液状体。
7. 如权利要求3 6中任意一项所述的图案形成方法，其特征在于， 所述第一激光是吸收率相比所述液状体高的波长的激光， 所述第二激光是吸收率相比所述液状体低的波长的激光。
8. —种图案形成装置，其用液滴喷头将含有图案形成材料的液状体 以液滴的形式喷出到基体上，使配置在该基体上的所述液状体干燥，形成 由图案形成材料构成的图案，该图案形成装置具备射出用于使配置在所述基体上的液状体干燥的第一激光的第一激光 输出机构；射出用于使配置在所述基体上的液状体移动的第二激光的第二激光 输出机构；向配置在所述基体上的液状体照射从所述第一激光输出机构射出的 第一激光的第一照射机构；和从与所述第一激光不同的方向对配置在所述基体上的液状体照射从 所述第二激光输出机构射出的第二激光的第二照射机构。
9. 如权利要求8所述的图案形成装置，其特征在于， 还具备载置所述基体并沿着扫描方向进行移动引导的平台；禾口 相对于所述平台的扫描方向的移动，沿着正交的副扫描方向移动的滑架，所述滑架上搭载有所述液滴喷头、所述第一照射机构、所述第二照射 机构。
10. 如权利要求9所述的图案形成装置，其特征在于， 所述第一照射机构和所述第二照射机构配设成夹持所述液滴喷头。
11. 如权利要求8 10中任意一项所述的图案形成装置，其特征在于， 图案形成材料液是金属微粒分散形成的金属墨液， 所述基体是低温烧成陶瓷基板。
12. 如权利要求8 U中任意一项所述的图案形成装置，其特征在于， 所述第一激光输出机构的第一激光是吸收率相比图案形成材料液高的波长的激光，所述第二激光输出机构的第二激光是吸收率相比图案形成材料液低 的波长的激光。
13. —种液状体干燥装置，其使配置在基体上的含有图案形成材料的 液状体干燥，形成由图案形成材料构成的图案，该液状体干燥装置具备射出用于使配置在所述基体上的液状体干燥的第一激光的第一激光输出机构；射出用于使配置在所述基体上的液状体移动的第二激光的第二激光输出机构；向配置在所述基体上的液状体照射从所述第一激光输出机构射出的 第一激光的第一照射机构；和从与所述第一激光不同的方向对配置在所述基体上的液状体照射从 所述第二激光输出机构射出的第二激光的第二照射机构。
14.如权利要求13所述的液状体干燥装置，其特征在于，还具备载置所述基体并沿着扫描方向进行移动引导的平台；和 相对于所述平台的扫描方向的移动，在正交的副扫描方向上移动的滑架，所述滑架上搭载有所述第一照射机构、和所述第二照射机构。
全文摘要
本发明提供一种利用激光控制液状体的配置位置并在所希望的配置位置使该液状体干燥而可以形成高精细、高精密的图案的图案形成方法、图案形成装置和液状体干燥装置。在滑架(20)具备射出相对于金属墨液(F)吸收率高的波长的第一照射光(Le1)的第一半导体激光器(LD1)和射出相对于金属墨液(F)吸收率低的波长的第二照射光(Le2)的第二半导体激光器(LD2)。通过第二照射光(Le2)向液状膜(FL)赋予向与第一照射光(Le1)的照射方向相反方向的移动而进行配置位置控制，同时使第一照射光(Le1)入射的液状膜(FL)的部分(照射位置(P1))平坦化。液状膜(FL)被第一照射光(Le1)干燥，形成没有干燥不足的高精细高精密的层图案(FP)。
文档编号H05K3/14GK101244650SQ20081000580
公开日2008年8月20日 申请日期2008年2月5日 优先权日2007年2月13日
发明者三浦弘纲 申请人:精工爱普生株式会社