技术编号：8126246
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种太阳能电池生产中的沉积设备，具体的说是一种方便改变等离子体化学气相沉积(PECVD)中的电极间距，调整沉积速率的电极间距调整装置。背景技术等离子体化学气相沉积(PECVD)是非晶硅薄膜太阳能电池制备中主要 设备，太阳能电池的生产是向PECVD真空室中通入反应气体，将清洗后的超 白玻璃置于两个平行电极板之间，在两电极板上接上具有一定射频功率的电 源，从而生产出太阳能电池片。其中，两个电极板之间的距离称为电极间距。在太阳能电池生产过程中，沉积速率随电极间距的减小而增大，不过 在电极间距小到一定...
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