专利名称：电极间距调整装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池生产中的沉积设备，具体的说是一种方
便改变等离子体化学气相沉积(PECVD)中的电极间距，调整沉积速率的电
极间距调整装置。
背景技术：
等离子体化学气相沉积(PECVD)是非晶硅薄膜太阳能电池制备中主要 设备，太阳能电池的生产是向PECVD真空室中通入反应气体，将清洗后的超 白玻璃置于两个平行电极板之间，在两电极板上接上具有一定射频功率的电 源，从而生产出太阳能电池片。其中，两个电极板之间的距离称为电极间距。
在太阳能电池生产过程中，沉积速率随电极间距的减小而增大，不过 在电极间距小到一定值后，继续减小电极间距离则会导致沉积效果不好。在 一定气压下存在一个最佳的电极间距，称之为最小电极间距。在实际生产的 时候需要尽量使电极间距小，但又不能小于最小电极间距。
所以在生产的时候需要频繁调整电极间距，找到最小电极间距。而现 有设备中电极被固定在设备上，调整间距的时候需要将电极拆卸下来，寻找 合适的位置再安装上去，过程复杂，并且容易损坏电极板。急需寻找一种方 便调节电极间距的方法。 发明内容
本实用新型的目的是要提供一种在太阳能电池片生产中能方便调整 PECVD电极间距的装置。
本实用新型的目的是这样实现的该装置包括电极板、底座、导轨、固定螺丝、刻度尺，所述的电极板固定在底座上，其上带有固定螺丝的底座设 置在导轨上，并可沿导轨上的沟槽滑动，刻度尺设置在导轨的侧面。
本实用新型由于采用上述结构使得电极间距可以自由的调整，结构简 单，可以在生产中对电极间距进行适当调节，找到最小电极间距，保证最好 沉积效果，调整方便，并且调整之后可在刻度尺上读取电极间距。方便进行 读取，并进行记录，寻找最小电极间距。
图1为电极间距调整装置整体结构示意图。
图2为本实用新型A向投影示意图。 图3为本实用新型B向投影示意图。
具体实施方式
由附图l、 2、 3所示该装置包括电极板l、底座2、导轨3、固定螺丝 4、刻度尺5，所述的电极板1固定在底座2上，其上带有固定螺丝4的底座 2设置在导轨3上，并可沿导轨3上的沟槽6滑动，刻度尺5设置在导轨3
工作过程是当需要调节电极板l之间的距离时，由于电极板l和底座 2是连接在一起的，所以只需移动底座2即可。松动固定螺丝4，则底座2 可沿导轨3左右移动，移动到需要的距离时，拧紧固定螺丝4，底座2则被 固定，此时PECVD进行工作，并检测沉积效果。直到找出电极间距的最佳 值。并在刻度尺5上读取此最佳距离的数值。
权利要求1、一种电极间距调整装置，其特征在于该装置包括电极板(1)、底座(2)、导轨(3)、固定螺丝(4)、刻度尺(5)，所述的电极板(1)固定在底座(2)上，其上带有固定螺丝(4)的底座(2)设置在导轨(3)上，并可沿导轨(3)上的沟槽(6)滑动，刻度尺(5)设置在导轨(3)的侧面。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳能电池生产中的沉积设备，具体地说是一种方便改变等离子体化学气相沉积(PECVD)中的电极间距，调整沉积速率的电极间距调整装置。该装置包括电极板、底座、导轨、固定螺丝、刻度尺，所述的电极板固定在底座上，其上带有固定螺丝的底座设置在导轨上，并可沿导轨上的沟槽滑动，刻度尺设置在导轨的侧面。本实用新型由于采用上述结构使得电极间距可以自由的调整，结构简单，可以在生产中对电极间距进行适当调节，找到最小电极间距，保证最好沉积效果，调整方便，并且调整之后可在刻度尺上读取电极间距。方便进行读取，并进行记录，寻找最小电极间距。
文档编号C30B25/16GK201326029SQ200820073009
公开日2009年10月14日 申请日期2008年12月30日 优先权日2008年12月30日
发明者刘万学, 兵 张, 宇 李, 巍 王 申请人:吉林庆达新能源电力股份有限公司