掩模、有机el元件的制造方法及有机el打印机的制作方法技术资料下载

技术编号:8132235

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技术领域本发明涉及掩模、有机EL元件的制造方法及有机EL打印机。特别涉及用于形成高分子有机EL元件的干法蚀刻中使用的掩模。背景技术 由于有机EL面板是具有层叠了薄膜的构造的自发光型且制造方法简单,因此作为光源非常引人关注。尤其,高分子有机EL元件,可将高分子有机EL材料溶解于溶剂中,通过旋涂法或喷墨法在大气中形成,因此容易对应于大型基板。其中,从制造方法的容易度出发,旋涂法作为形成单色光源或照明的方法而被最广泛利用。但是,由于旋涂法在整个基板涂敷面涂敷有机材料,因此在密封部分或电路等的电连接部分开孔时,必须由溶剂等...
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