技术编号：8136995
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明总体上涉及定向固化炉，并且更具体地，涉及用于将惰性气体流引入炉中的装置和方法。背景技术定向固化炉经常用于生产多晶硅晶锭。首先，将原料硅加载到石英坩埚中。硅可以为固体块、回收的多晶硅、硅粉或它们的组合的形式。坩埚典型地由石英或能够耐受高温并且同时基本保持惰性的其它合适材料制成。坩埚典型地为五边箱体，该箱体的顶部通到炉中的气氛。石英坩埚被石墨支承壁支承，该石墨支承壁为坩埚增加了结构刚性。在已向坩埚填充硅之后，相对于外部周围环境密封围绕坩埚的区域。为了有助于将坩埚与外部环境隔开，将坩埚安置在形成炉的一部分的...
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