技术编号:8139157
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种多晶硅锭,特别是一种低碳含量的多晶硅锭,还涉及了一种低碳含量的多晶硅锭的制备方法。 背景技术 目前的多晶硅锭其碳原子的含量范围一般在1×1017-8×1017个原子每立方厘米。 多晶硅锭因为晶体生长的特殊性,其碳杂质的含量呈现不均匀分布,通常呈现头高尾低的分布,如果以碳杂质含量为2×1017个原子每立方厘米为界限,碳含量杂质按含量分布在高含量区域和低含量区域,其中高含量区域的碳杂质含量高于2×1017个原子每立方厘米,其中低含量区域的碳杂质含量低于或等于2×1017个原子每立方厘米。 如果以...
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