技术编号:8146062
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及磁流体技术领域,特别是涉及一种整体式磁流体密封装置。 背景技术单晶炉磁流体密封装置是将外部动力传输到有严格真空度要求的真空密闭空间 的动密封部件。该磁流体密封装置与坩埚杆装配,应用于单晶炉设备,现有的磁流体密封装 置主要由壳体、导磁套、磁流体密封组件及滚动轴承等组成,导磁套与坩埚杆通过锁紧装置 锁紧,其间设置有相关静密封元件,导磁套随坩埚杆一起在磁流体密封装置内做回转运动, 导磁套与磁流体密封组件之间的间隙由磁流体充斥,达到相应动密封的效果。现有的坩埚杆和磁流体密封装置为两个单独功能的组合结构...
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