专利名称：一种整体式磁流体密封装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及磁流体技术领域，特别是涉及一种整体式磁流体密封装置。
背景技术：
单晶炉磁流体密封装置是将外部动力传输到有严格真空度要求的真空密闭空间 的动密封部件。该磁流体密封装置与坩埚杆装配，应用于单晶炉设备，现有的磁流体密封装 置主要由壳体、导磁套、磁流体密封组件及滚动轴承等组成，导磁套与坩埚杆通过锁紧装置 锁紧，其间设置有相关静密封元件，导磁套随坩埚杆一起在磁流体密封装置内做回转运动， 导磁套与磁流体密封组件之间的间隙由磁流体充斥，达到相应动密封的效果。现有的坩埚杆和磁流体密封装置为两个单独功能的组合结构，图1示出了坩埚杆 的结构，图2示出了磁流体密封装置的结构，坩埚杆101与磁流体密封装置102导磁套103 连接，导磁套103上设置有锁紧坩埚杆101的锁紧装置105，在导磁套103上设置有台阶 104，与设置在导磁套103上的锁紧螺母106，实现坩埚杆101与磁流体密封装置102的轴向 定位和负荷传递，由于坩埚杆101与导磁套103之间存在的装配间隙，以及锁紧装置105与 导磁套103之间的锁紧力分布不均勻，给磁流体密封装置在与单晶炉相关传动部件的装配 中带来了巨大困难，降低了单晶炉相关传动部件装配效率，同时无法有效保障单晶炉相关 传动部件的各项精度指标。
实用新型内容本实用新型实施例提供了一种整体式磁流体密封装置，以实现提高单晶炉相关传 动部件装配效率，有效保证部件装配各项精度指标的目的，技术方案如下一种整体式磁流体密封装置，其特征在于，包括壳体和坩埚杆；所述坩埚杆与所述壳体之间设置有用于实现所述坩埚杆回转运动的轴承；所述坩埚杆与所述壳体之间设置有磁流体密封组件，所述磁流体密封组件由永磁 铁、内组件以及填充在永磁铁和内组件之间的磁流体组成；所述坩埚杆上设置有轴向定位和负荷传递装置。优选地，所述磁流体密封装置与所述坩埚杆设置成整体式结构。优选地，所述坩埚杆上设置有轴向定位和负荷传递装置，具体实现为所述坩埚杆 上设置有台阶和锁紧螺母。通过应用以上技术方案，坩埚杆与磁流体密封装置设置成整体式的磁流体密封装 置，整体式的结构简化了现有坩埚杆与磁流体密封装置分离式的结构，降低了磁流体密封 装置与单晶炉相关传动部件装配的难度，提高了装配效率，同时也有效提高了单晶炉相关 传动部件的各项精度指标。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技 中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前 提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有坩埚杆的结构示意图；图2为现有磁流体密封装置的剖示图；图3为本实用新型实施例所提供的整体式磁流体密封装置的剖示图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实 施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所 获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型实施例提供了一种整体式磁流体密封装置，以解决磁流体密封装置装 配效率低、精度差的问题。如图3所示，本实用新型实施例提供的整体式磁流体密封装置，包括坩埚杆1和 壳体2。坩埚杆1与壳体2之间设置有用于实现所述坩埚杆回转运动的轴承3a和3b，坩 埚杆1与壳体2之间设置有磁流体密封组件7，磁流体密封组件7由永磁铁、内组件以及填 充在永磁铁和内组件之间的磁流体组成；坩埚杆1上设置有轴向定位和负荷传递装置。本 实用新型的轴向定位和负荷传递装置设置成坩埚杆1上的台阶6与坩埚杆1上的锁紧螺母 5，坩埚杆1上的台阶6与锁紧螺母5同时作用，达到磁流体密封装置内部元件的轴向定位 和负荷传递的作用。第一轴承3a和第二轴承3b与坩埚杆1配合支撑壳体2，在第一轴承3a和第二轴 承3b之间设有内套4a和外套4b，内套4a和外套4b同轴嵌套。在壳体2内的磁流体密封 组件7由永磁铁内组件以及填充在永磁铁和内组件之间的磁流体组成，磁流体密封组件7 与坩埚杆1实现磁流体密封装置的密封功能。本实用新型省去了坩埚杆与磁流体密封装置的连接部件——导磁套，使坩埚杆与 磁流体密封装置直接连接，设置成整体式结构，降低了装置与单晶炉相关传动部件装配的 难度，提高了装配效率，同时，由于导磁套上坩埚杆与磁流体密封装置设置成整体式的磁流 体密封装置，从而有效地减小了因为分离的部件进行人工组装而带来的误差，提高了单晶 炉相关传动部件的各项精度指标。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因 此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理 和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求一种整体式磁流体密封装置，其特征在于，包括壳体和坩埚杆；所述坩埚杆与所述壳体之间设置有用于实现所述坩埚杆回转运动的轴承；所述坩埚杆与所述壳体之间设置有磁流体密封组件，所述磁流体密封组件由永磁铁、内组件以及填充在永磁铁和内组件之间的磁流体组成；所述坩埚杆上设置有轴向定位和负荷传递装置。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述磁流体密封装置与所述坩埚杆设置 成整体式结构。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述坩埚杆上设置有轴向定位和负荷传 递装置，具体实现为所述坩埚杆上设置有台阶和锁紧螺母。
专利摘要本实用新型实施例公开了一种整体式磁流体密封装置，包括壳体和坩埚杆，所述坩埚杆与所述磁流体壳体之间设置有用于实现所述坩埚杆回转运动的轴承，所述坩埚杆与所述壳体之间设置有磁流体密封组件，所述磁流体密封组件由永磁铁、内组件以及填充在永磁铁和内组件之间的磁流体组成，所述坩埚杆上设置有轴向定位和负荷传递装置。与现有的坩埚杆及磁流体密封装置分离式的结构相比，本实用新型将坩埚杆与磁流体密封装置设置成一个整体的磁流体密封装置，简化了坩埚杆与磁流体密封装置之间的结构，降低了磁流体密封装置与单晶炉相关传动部件装配的难度，提高了装配效率，同时也有效地提高了单晶炉相关传动部件的各项精度指标。
文档编号C30B15/00GK201634793SQ201020118670
公开日2010年11月17日 申请日期2010年2月9日 优先权日2010年2月9日
发明者徐琦, 郑慧东 申请人:株洲众欣科技发展有限责任公司