压膜设备的冷却装置及冷却方法技术资料下载

技术编号:8146630

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技术领域本发明涉及一种。技术背景一般在制造过程中,用压膜设备对基板进行压膜时,该基板需以压 膜设备贴附保护基板用的膜体,该膜体与基板的贴附过程,是先通过一 预贴机初步固定于基板外侧,再由真空压膜机将基板与膜体间空气挤出, 完成压膜的程序。因膜体在温度较高时容易直接沾附于基板表面,增加后续压膜作业 的失败率,因此现有预贴机在基板与膜体的预贴,以及压膜完成的前的过程中,是借由无尘室中的空调系统保持于l 8 2 2"C的适当温度, 以进行压膜作业;然而,以预贴的过程为例,需要先将两片膜体由贴膜座加热稍做结 合以利后续压膜...
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