焰熔单晶炉的制作方法技术资料下载

技术编号:8160874

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技术领域本实用新型涉及一种晶体炉,具体的说是一种降低晶体生成时轴向温度梯度的焰熔单晶炉。背景技术晶体在生长过程中其轴向平均温度梯度较大,晶体在培育及在随后的冷却过程中,会形成较大的热应力,当超过晶体解理面的剪切强度时,就会导致晶体沿解理面断裂,形成宏观上的裂纹,并引起破裂。传统的焰熔单晶炉炉镗结构的轴向平均温度梯度较小,晶体扩肩后等径生长不易控制,熔帽体积增加,经常出现侧流现象,因此晶体一般在扩肩后就停止长大,不易长成大尺寸晶体。发明内容本实用新型为了克服现有技术的不足,提供了一种焰熔单晶炉。为了实现上述目的,本实...
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