专利名称：焰熔单晶炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶体炉，具体的说是一种降低晶体生成时轴向温度梯度的焰熔单晶炉。
背景技术：
晶体在生长过程中其轴向平均温度梯度较大，晶体在培育及在随后的冷却过程中，会形成较大的热应力，当超过晶体解理面的剪切强度时，就会导致晶体沿解理面断裂，形成宏观上的裂纹，并引起破裂。传统的焰熔单晶炉炉镗结构的轴向平均温度梯度较小，晶体扩肩后等径生长不易控制，熔帽体积增加，经常出现侧流现象，因此晶体一般在扩肩后就停止长大，不易长成大尺寸晶体。
发明内容本实用新型为了克服现有技术的不足，提供了一种焰熔单晶炉。为了实现上述目的，本实用新型设计了一种焰熔单晶炉，包括燃烧室，以及位于燃烧室底部的炉体，炉体内形成炉膛，还包括一个位于炉体下方的提升机构，提升机构的提升杆贯穿炉体底部位于炉膛内；所述燃烧室内设有多孔板将燃烧室分割成上腔体和下腔体；所述上腔体的一侧形成氢气进口，且上腔体的顶壁向下形成中心管并贯穿多孔板，中心管内设有内管连接下料装置，所述下腔体套设环状外管，并在下腔体的侧壁上设有斜孔，环状外管的一侧形成氧气进口，其特征在于所述炉体包括上炉体，以及与上炉体相连的下炉体，上炉体相对下炉体的一侧形成中视孔，上炉体的内侧呈阶梯状的锥形结构，下炉体的内侧配合上炉体呈阶梯状的倒锥形结构。本实用新型同现有技术相比，上炉体和下炉体的内侧呈阶梯形，可降低金红石晶体在生长时的轴向温度梯度，降低晶体内部应力，避免晶体开裂。
图I为本实用新型的结构示意图。参见图I, I为燃烧室；2为炉膛；3为提升机构；4为提升杆；5为多孔板；6为上腔体；7为下腔体、8为氢气进口 ；9为中心管；10为内管；11为下料装置；12为环状外管；13为斜孔；14为氧气进口 ；15为上炉体；16为下炉体；17为中视孔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步描述。如图I所示，本实用新型包括燃烧室1，以及位于燃烧室I底部的炉体，炉体内形成炉膛2，还包括一个位于炉体下方的提升机构3，提升机构的提升杆4贯穿炉体底部位于炉膛2内；燃烧室I内设有多孔板5将燃烧室I分割成上腔体6和下腔体7 ;上腔体6的一侧形成氢气进口 8，且上腔体7的顶壁向下形成中心管9并贯穿多孔板5，中心管9内设有内管10连接下料装置11，下腔体7套设环状外管12，并在下腔体7的侧壁上设有斜孔13，环状外管12的一侧形成氧气进口 14。炉体包括上炉体15，以及与上炉体15相连的下炉体 16，上炉体15相对下炉体16的一侧形成中视孔17，上炉体15的内侧呈阶梯状的锥形结构，下炉体16的内侧配合上炉体15呈阶梯状的倒锥形结构。同现有技术相比，在气流不稳定或温场改变时极易逸流的情况，将上炉体15和下炉体16的内侧改变成多阶梯型，以保持液态材料的稳定，保证大尺寸晶体的生长，降低了晶体生成时的轴向温度梯度，降低晶体内部应力，避免晶体开裂。
权利要求1. 一种焰熔单晶炉，包括燃烧室(1)，以及位于燃烧室(I)底部的炉体，炉体内形成炉膛(2)，还包括一个位于炉体下方的提升机构(3)，提升机构的提升杆(4)贯穿炉体底部位于炉膛(2)内；所述燃烧室(I)内设有多孔板(5)将燃烧室(I)分割成上腔体(6)和下腔体(7);所述上腔体(6)的一侧形成氢气进口(8)，且上腔体(7)的顶壁向下形成中心管(9)并贯穿多孔板(5)，中心管(9)内设有内管(10)连接下料装置(11)，所述下腔体(7)套设环状外管(12)，并在下腔体(7)的侧壁上设有斜孔(13)，环状外管(12)的一侧形成氧气进口(14)，其特征在于所述炉体包括上炉体(15)，以及与上炉体(15)相连的下炉体(16)，上炉体(15)相对下炉体(16)的一侧形成中视孔(17)，上炉体(15)的内侧呈阶梯状的锥形结构，下炉体(16)的内侧配合上炉体(15)呈阶梯状的倒锥形结构。
专利摘要本实用新型涉及一种晶体炉，具体的说是一种焰熔单晶炉，包括燃烧室，以及位于燃烧室底部的炉体，炉体内形成炉膛，还包括一个位于炉体下方的提升机构，提升机构的提升杆贯穿炉体底部位于炉膛内，其特征在于所述炉体包括上炉体，以及与上炉体相连的下炉体，上炉体相对下炉体的一侧形成中视孔，上炉体的内侧呈阶梯状的锥形结构，下炉体的内侧配合上炉体呈阶梯状的倒锥形结构。本实用新型同现有技术相比，降低了晶体生长时的轴向温度梯度及晶体内部应力，避免晶体开裂。
文档编号C30B15/00GK202499929SQ20122012218
公开日2012年10月24日 申请日期2012年3月28日 优先权日2012年3月28日
发明者潘群辉, 黄锐 申请人:上海赢奔晶体科技有限公司