技术编号:8166410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种真空泵,尤其涉及一种晶体生长炉用速率可调式真空泵。背景技术目前,晶体生长炉都采用控制电动阀门打开角度的方法来实现对炉腔真空压力的控制,控制真空阀门打开的角度只是改变了真空管路的通径,来间接的改变真空泵对炉腔的抽空速率,也就是说这个运行过程中真空泵都是满负荷工作,无形间造成了严重的电力资源浪费同时加快了泵的磨损速度,大大缩短了真空泵的使用寿命;而且阀门打开角度无法保证较高的控制精度,容易造成炉腔压力波动影响晶体生长;此外,电动阀门在真空管路中时间长了会沉积一些挥发物,时间久了会导致真空管路的...
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