专利名称：晶体生长炉用速率可调式真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空泵，尤其涉及一种晶体生长炉用速率可调式真空泵。
背景技术：
目前，晶体生长炉都采用控制电动阀门打开角度的方法来实现对炉腔真空压力的控制，控制真空阀门打开的角度只是改变了真空管路的通径，来间接的改变真空泵对炉腔的抽空速率，也就是说这个运行过程中真空泵都是满负荷工作，无形间造成了严重的电力资源浪费同时加快了泵的磨损速度，大大缩短了真空泵的使用寿命；而且阀门打开角度无法保证较高的控制精度，容易造成炉腔压力波动影响晶体生长；此外，电动阀门在真空管路中时间长了会沉积一些挥发物，时间久了会导致真空管路的不通畅，对抽空会有一定的影响，而真空管路的清理会增加工时，降低工作效率，且经常拆装真空管路也会对真空管件产生损坏。
实用新型内容本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，以解决传统晶体生长炉用真空泵通过调节电动阀门来控制抽空速率的控制精度不高，且电动阀门会沉积挥发物造成真空管路不通的问题。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，包括泵体，所述泵体的进气管与晶体生长炉相连，且泵体通过传动机构与电机相连，所述电机与变频器电连接。进一步的，所述晶体生长炉内设置有压力传感器。进一步的，所述泵体的排气管设置有消声器。进一步的，所述消声器为阻性消声器。进一步的，所述电机为减速电机。本实用新型的有益效果为，所述晶体生长炉用速率可调式真空泵通过采用变频器来调节电机转速，从而使得真空泵抽空速度相应改变，实现了对晶体生长炉炉腔压力的控制，在长晶过程中通过调节频率降低电机转速从而可以显著节约电能30% 40%，且大大减少真空泵高速运转的时间，从而减少了真空泵的磨损，可延长真空泵使用寿命3 4倍，此外，可省去真空管路中的电动阀门，从而解决了电动阀门沉积杂物造成真空管路不通畅的问题。
图I为本实用新型晶体生长炉用速率可调式真空泵的模块结构示意图；图中I、泵体；2、电机；3、变频器。
具体实施方式
以下结合附图并通过具体实施方式
来进一步说明本实用新型的技术方案。请参照图I所示，图I为本实用新型晶体生长炉用速率可调式真空泵的结构示意图；于本实施例中，一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，包括泵体1，所述泵体I的进气管与晶体生长炉相连，所述晶体生长炉内设置有压力传感器，所述泵体I通过传动机构与电机2相连，所述电机2为减速电机，且泵体I的排气管设置有消声器，所述消声器为阻性消声器，所述电机2与变频器3电连接。工作时，只需通过变频器3来调节电机2转速，从而使得真空泵抽空速度相应改变，晶体生产炉内设置有压力传感器，根据压力传感器检测的数据来相应的调节，从而实现对晶体生长炉炉腔压力的控制；本实用新型在长晶过程中，通过调节频率降低电机2的转 速从而可以显著节约电能30% 40%，且大大减少真空泵高速运转的时间，从而减少了真空泵的磨损，可延长真空泵使用寿命3 4倍，此外，可省去真空管路中的电动阀门，从而解决了电动阀门沉积杂物造成真空管路不通畅的问题。以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，包括泵体，其特征在于所述泵体的进气管与晶体生长炉相连，且泵体通过传动机构与电机相连，所述电机与变频器电连接。
2.根据权利要求I所述的晶体生长炉用速率可调式真空泵，其特征在于所述晶体生长炉内设置有压力传感器。
3.根据权利要求I所述的晶体生长炉用速率可调式真空泵，其特征在于所述泵体的排气管设置有消声器。
4.根据权利要求3所述的晶体生长炉用速率可调式真空泵，其特征在于所述消声器为阻性消声器。
5.根据权利要求I所述的晶体生长炉用速率可调式真空泵，其特征在于所述电机为减速电机。
专利摘要本实用新型公开一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，包括泵体，所述泵体的进气管与晶体生长炉相连，且泵体通过传动机构与电机相连，所述电机与变频器电连接。所述晶体生长炉用速率可调式真空泵通过采用变频器来调节电机转速，从而使得真空泵抽空速度相应改变，实现了对晶体生长炉炉腔压力的控制，在长晶过程中通过调节频率降低电机转速从而可以显著节约电能30%～40%，且大大减少真空泵高速运转的时间，从而减少了真空泵的磨损，可延长真空泵使用寿命3～4倍，此外，可省去真空管路中的电动阀门，从而解决了电动阀门沉积杂物造成真空管路不通畅的问题。
文档编号C30B35/00GK202673645SQ20122028571
公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月15日 优先权日2012年6月15日
发明者惠梦君, 于永贵, 徐向众, 徐瑞丰, 杨胜建 申请人:无锡力汇光电科技有限公司