技术编号：81787
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种液晶、IC光刻制程中显影工艺，尤其涉及一种。 背景技术在现有技术中，显影液的浓度实时监控有两种方法。第一种方法是用导电率测量计算显影液浓度，和用吸光光度法计算显影液中光阻浓度，通过以上两种浓度来监控管理光刻制程中显影液。第两种方法是用中和滴定法测量显影液浓度，用吸光光度法来计算显影液中光阻浓度，通过以上两种浓度来监控管理光刻制程中显影液。 但是在实际过程中，由于空气中二氧化碳会逐渐溶解于碱性显影液中，导致电导率法测量到的离子浓度包含了碳酸根浓度，实际上的活性显影液浓度比表观显影液浓度低，无法...
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