专利名称:实时监控有效显影液浓度的方法
技术领域：
本发明涉及一种液晶、IC光刻制程中显影工艺，尤其涉及一种实时监控有效显影液浓度的方法。
背景技术：
在现有技术中，显影液的浓度实时监控有两种方法。第一种方法是用导电率测量计算显影液浓度，和用吸光光度法计算显影液中光阻浓度，通过以上两种浓度来监控管理光刻制程中显影液。第两种方法是用中和滴定法测量显影液浓度，用吸光光度法来计算显影液中光阻浓度，通过以上两种浓度来监控管理光刻制程中显影液。
但是在实际过程中，由于空气中二氧化碳会逐渐溶解于碱性显影液中，导致电导率法测量到的离子浓度包含了碳酸根浓度，实际上的活性显影液浓度比表观显影液浓度低，无法在实际生产中真正监控显影液浓度。中和滴定法可以准确测量活性显影液浓度，但是目前该技术经常发生滴定管堵塞故障，同样会导致生产中断。
因此，有必要开发出一种新型的实时监控有效显影液浓度的方法。
发明内容本发明公开了一种实时监控有效显影液浓度的方法，该方法为通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，其特征在于通过分光光度法测量碳酸根浓度[CO32-]，再通过式I计算出有效显影液浓度[TM]式I [TM]＝[TM′]-2[CO32-]。
因在本发明中考虑到碳酸根浓度[CO32-]的影响而可以精确、实时地得到实际的有效显影液浓度[TM]。在不增加工艺步骤的条件下，将吸光光度法改为分光光度法(现有技术)，不但可以测量碳酸根浓度[CO32-]，还可以测量监控光阻浓度[PR]，从而可以有效监控管理光刻制程中显影液。
其中，在实时监控之前，对碳酸根和光阻浓度的测量进行拟和，分别得到两者的吸收光谱和吸光度与浓度的关系。
本发明的积极进步效果在于通过本发明的实时监控有效显影液浓度的方法可以简单地、有效地、更准确地测量出显影液的实际浓度；本发明的方法可适用于液晶、半导体光刻制程中的显影液的实时监控和管理。
具体实施方式实施例1在实时监控之前，对碳酸根和光阻浓度的测量进行拟和，分别得到两者的吸收光谱和吸光度与浓度的关系。
通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，通过分光光度法测量碳酸根浓度[CO32-]，同时还得到光阻浓度[PR]，再通过式I计算出有效显影液浓度[TM]式I [TM]＝[TM′]-2[CO32-]，从而可以对液晶、半导体光刻制程中的显影液进行实时监控和管理。
权利要求
1.一种实时监控有效显影液浓度的方法，该方法为通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，其特征在于用分光光度法测量碳酸根浓度[CO32-]，再通过式I计算出有效显影液浓度[TM]式I [TM]＝[TM′]-2[CO32-]。
专利摘要
本发明公开了一种实时监控有效显影液浓度的方法，该方法为通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，其特征在于用分光光度法测量碳酸根浓度[CO
文档编号H01L21/02GK1996152SQ200510112266
公开日2007年7月11日 申请日期2005年12月28日
发明者徐华伟 申请人:上海广电Nec液晶显示器有限公司导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan