一种等离子气体发生装置的制作方法技术资料下载

技术编号:8186435

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技术领域本实用新型涉及一种常压低温等离子气体发生装置,借助阻挡塔板将放电区域分成多个串联的放电室,同时形成曲折气体通路,使工作气体中等离子体密度更高、分布更加均勻。背景技术等离子被称为物质的第四态,由大量的高能离子、电子分子、中性原子、激发态原子、光子和自由基组成。由于其正负电荷数相等,所以在宏观上呈电中性。随着现代技术的高速发展,等离子技术已经得到广泛的应用。其中,在低温等离子体系中,在电子的温度高达1000-2500K时,其他粒子温度只有300-500K,整个体系仍然处于低温状态。低温等离子技术在材料表面处理、...
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