专利名称：一种等离子气体发生装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种常压低温等离子气体发生装置，借助阻挡塔板将放电区域分成多个串联的放电室，同时形成曲折气体通路，使工作气体中等离子体密度更高、分布更加均勻。
背景技术：
等离子被称为物质的第四态，由大量的高能离子、电子分子、中性原子、激发态原子、光子和自由基组成。由于其正负电荷数相等，所以在宏观上呈电中性。随着现代技术的高速发展，等离子技术已经得到广泛的应用。其中，在低温等离子体系中，在电子的温度高达1000-2500K时，其他粒子温度只有300-500K，整个体系仍然处于低温状态。低温等离子技术在材料表面处理、催化、污水与废气净化等方面有广泛的应用。低温等离子的放电形式可分为辉光放电、微波放电、电晕放电、介质阻挡放电、射频放电等。其中，电晕放电设备简单，但放电电流较小，等离子密度较低；此外，由于使用针形电极，靠近电极的区域电场特别强，导致等离子密度不均勻。因此，需要通过设计提高输入功率，调整工作气体中等离子体的密度与均勻性。例如，发明专利CN1404349A以多组镍铬丝为阳极，铜板为阴极，在反应室内产生了高浓度等离子体，可用于工业化处理废气、 污水及水源净化；而实用新型专利CN2017^5583U设计的反应室则是由金属板与多个平行排列的、带有锯齿的金属片组构成，放电电极数的增加使气体中等离子体的密度明显提高。 除了需要提高等离子体密度外，等离子体均勻性也是低温等离子发生器设计需要考虑的重要因素。比如，实用新型专利CN201618509在低温等离子发生器的进气通道设计了特殊的冲孔板，起到了强化气体混合，增加气体的行程的作用，有效地改善了等离子体分布的均勻性；实用新型专利CN101930889A将含有等离子体的气体通过分路，在反应室内不同位置的喷出，使反应室内等离子体的分布趋于均勻。但是，到目前为止，还未见到利用结构设计同时提高等离子体密度与均勻性的相关报道。
发明内容本实用新型目的的在于提供一种等离子体密度大，且等离子体在工作气体内分布均勻的低温等离子发生器。利用塔板分隔所产生的多室结构和曲折流道，实施串联多室放电，同时延长工作气体在反应器中的停留时间，强化等离子体在工作气体中的分散，从而有效提高工作气体中等离子的密度和均勻性。如果向塔板分隔的放电室内填入绝缘介质微球，则可实现高效介质阻挡放电。本实用新型是这样实现的本装置的一侧接有可调直流高压电源，外壳内有两排针状正极和负极，正极和负极的机组间隔为30-50mm，极组内各针状极柱等距排布，间距 2-10mm ；每隔2_5个针状电极极柱设置一个分隔塔板；等离子发生器接可调直流高压电源的一侧中部有进气口，另一侧的中部有出气口。分隔塔板与外壳之间用玻璃胶进行密封。工作气体因塔板的阻挡而以曲折通路流经多个串联放电区域，从而提高了等离子体在工作气体中的密度；同时，气体在曲折通过多个串联的放电区域的过程中进行了充分的混合，从而使等离子体在气体中的分布更加均勻。本实用新型的特点(1)可以通过调节直流高压电源的电压来调节等离子密度； (2)多个放电区域串联，增加了工作气体中等离子体的密度；C3)分隔塔板形成的曲折通路使工作气体充分混合，使等离子体在气流中分布的更加均勻。本实用新型制作简单，成本低，能产生密度高且均勻的等离子气体。
附图为本实用新型等离子气体发生装置结构示意图。图中标记1.可调直流高压电源；2.进气口 ；3.出气口 ；4.正极；5.负极；6.分隔塔板；7.外壳。
具体实施方式
实施例如附图所示，本装置一侧接有可调直流高压电源1，外壳7内有两排针状正极4和负极5，正极4和负极5的机组间隔为30mm，极组内各针状极柱等距排布，间距2mm，极柱数量40个；每隔2个针状电极极柱设置一个分隔塔板6 ；分隔塔板6之间的间距为10mm，装置接可调直流高压电源1的一侧中部有进气口 2，另一侧有出气口 3 ；分隔塔板6与外壳7之间用玻璃胶进行密封，以保证工作气体能够沿着分隔塔板6流动，形成曲折路径。选用霓虹灯电源作为可调直流高压电源1，其输入交流电(50Hz)电压220V ；输出电压直流电10kv，输出电流30mA;使用交流变压器调节霓虹灯电源的输入电压，进而调节霓虹灯电源的输出电压；施加电压后，由分隔塔板6隔开的各个放电区域同时均勻放电，使工作气体中等离子体的密度加大；同时，曲折的气体通路使工作气体充分混合，等离子体在气体中的分布更加均勻。
权利要求1. 一种等离子气体发生装置，其特征在于装置的一侧接有可调直流高压电源(1)，外壳(7)内有两排针状正极⑷和负极(5)，正极(4)和负极(5)的机组间隔为30-50mm，极组内各针状极柱等距排布，间距2-10mm;每隔2-5个针状电极极柱设置一个分隔塔板(6)； 装置接可调直流高压电源(1) 一侧的中部有进气口 O)，另一侧的中部有出气口(3)。
专利摘要本实用新型公开了一种等离子气体发生装置。装置的一侧接有可调直流高压电源(1)，外壳(7)内有两排针状正极(4)和负极(5)，正极(4)和负极(5)的机组间隔为30-50mm，极组内各针状极柱等距排布，间距2-10mm；每隔2-5个针状电极极柱设置一个分隔塔板(6)；装置接可调直流高压电源(1)一侧的中部有进气口(2)，另一侧的中部有出气口(3)。本实用新型制作简单，成本低，能产生密度高且均匀的等离子气体。
文档编号H05H1/24GK202269086SQ20112043291
公开日2012年6月6日 申请日期2011年11月2日 优先权日2011年11月2日
发明者李小刚, 罗鲲, 黄涛 申请人:桂林理工大学