技术编号:8186486
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及改进的石墨坩埚。背景技术生长硅单晶的装置一般是采用保持原料硅熔体的石英坩埚,其中该坩埚被石墨坩 埚包围,该石墨坩埚用来支撑石英坩埚并实现对石英坩埚进行均匀加热,但是现有的石墨坩埚由于结构简单,存在着传热效率低,加热缓慢,加热时间长,能耗消耗大,浪费资源等缺点,不能满足使用者的使用需求。因此,应该提供一种新的技术方案解决上述问题。实用新型内容本实用新型的目的是针对上述不足,提供一种结构合理、传热效率高、加热迅速的改进的石墨坩埚。为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是改进的石墨坩埚,包括坩埚本...
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