技术编号:8186799
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域直拉法单晶炉石墨热场导流罩技术领域[0001]本实用新型涉及一种直拉法单晶炉石墨热场导流罩。技术背景[0002]单晶炉拉制单晶硅棒时,盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的石墨坩埚托内,在保护性气氛中加热融化,调控到工艺温度后,籽晶经导流罩插入溶融多晶硅液中,与坩埚作逆向旋转并向上提升,使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。[0003]目前的导流罩内外层都为逐渐减小直径的锥形管状结构(如图1所示),内导流罩向底部延长线的夹角为27°,单晶炉内温度不稳定,无法保证单晶持续正常有效生长,也...
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