多晶硅铸锭炉快慢抽气系统的制作方法技术资料下载

技术编号:8186868

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技术领域本实用新型涉及太阳能光伏行业的多晶铸锭炉,特别是指多晶铸锭炉的抽气系统。背景技术多晶铸锭炉是一种高效节能型铸 锭炉,采用石墨电阻加热方式,运用先进计算机控制技术,实现稳步定向凝固,生广出闻质量、大规格的多晶娃淀。多晶娃铸淀炉生广铸淀工艺主要有装料,抽真空,加热,溶化、长晶、退火、冷却7个过程。在实际生产过程中,硅料形状大小不一,抽真空时如果抽气速度过快,就会把一些小块料从装料的容器中带出来,散落在炉膛内。加热过程中硅料熔化,散落在炉膛内的硅料与石墨发生反应,会对石墨部件产生损坏,缩短石墨部件的使用寿命。为了...
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