专利名称：多晶硅铸锭炉快慢抽气系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能光伏行业的多晶铸锭炉，特别是指多晶铸锭炉的抽气系统。
背景技术：
多晶铸锭炉是一种高效节能型铸 锭炉，采用石墨电阻加热方式，运用先进计算机控制技术，实现稳步定向凝固，生广出闻质量、大规格的多晶娃淀。多晶娃铸淀炉生广铸淀工艺主要有装料，抽真空，加热，溶化、长晶、退火、冷却7个过程。在实际生产过程中，硅料形状大小不一，抽真空时如果抽气速度过快，就会把一些小块料从装料的容器中带出来，散落在炉膛内。加热过程中硅料熔化，散落在炉膛内的硅料与石墨发生反应，会对石墨部件产生损坏，缩短石墨部件的使用寿命。为了避免上述情况发生，在抽真空时，尽量减小初始阶段的抽气速度，使炉膛内的压力缓慢下降，待炉膛内的压力下降到一定程度时在加大抽气速度，达到生产要求的真空度。
发明内容本实用新型针对上述提到的问题，根据多晶铸锭炉的工艺及技术要求提供一种多晶硅铸锭快慢抽气系统，用于多晶硅锭的生产，不仅能够满足多晶铸锭炉真空环境的要求，还可避免小硅料散落在石墨件上，对石墨部件产生损伤，该系统结构简单，操作方便，效率高，节约成本。本实用新型的技术方案是本实用新型主要结构由快抽管道和慢抽管道两部分构成，两部分都和真空机组连接。真空机组有机械泵和罗茨泵组成。快抽管道能实现对炉室快速抽气，节省时间，慢抽管道主要能避免小块硅料的抽走，即避免浪费又保护了真空机组。快抽管道口径大，抽气速度快，快抽管道一端连接真空机组，然后经由主路高真空隔离阀另一端连接到炉室。慢抽管道口径小，抽气速度慢，慢抽管道一端连接真空机组，然后经由过滤器、旁路控制蝶阀和旁路高真空隔离阀另一端连接到炉室，旁路控制蝶阀实现了对炉室内的压力的控制，过滤器便于对真空泵的保护及减少换油次数。通过控制系统控制，初始阶段采用慢速抽气，防止抽走小块硅料，当炉膛压力达到一定程度后，采用快速抽气，即增强抽气能力又节省抽气时间。
附图为多晶硅铸锭炉快慢抽气系统原理图图中I.快抽管道，2.慢抽管道，3.真空机组，4.主路高真空隔离阀，5.过滤器，
6.旁路控制蝶阀，7.旁路高真空隔离阀，8.炉室
具体实施方式
参照附图，本实用新型主要结构由快抽管道(I)和慢抽管道(2)两部分构成，快抽管道(I) 一端连接真空机组(3)，然后经由主路高真空隔离阀(4)另一端连接到炉室(8)，慢抽管道(2) —端连接真空机组(3)，然后经由过滤器(5)、旁路控制蝶阀(6)和旁路高真空隔离阀(7)另一端连接到炉室(8)，旁路控制蝶阀(6)实现了对炉室(8)内的压力的控制，过滤器(5)便于对真空机组(3)的保护及减少换油次数。本实用新型实施过程是，初始抽气时，主路高真空隔离阀(4)关闭，旁路控制蝶阀
(6)和旁路高真空隔离阀(7)开启，实现慢速 抽气，以防抽气速度太快把小块硅料带出散落在炉室(8)内，当压力下降到200mbar时，主路高真空隔离阀(4)自动打开，同时关闭旁路高真空隔离阀(7)进行快速抽气，能够快速把炉室内压力抽到工艺要求的程度。
权利要求1.一种多晶硅铸锭炉快慢抽气系统，其特征是包括快抽管道，慢抽管道，真空机组，主路高真空隔离阀，过滤器，旁路控制蝶阀，旁路高真空隔离阀和炉室，快抽管道一端连接真空机组，然后经由主路高真空隔离阀另一端连接到炉室，慢抽管道一端连接真空机组，然后经由过滤器、旁路控制蝶阀和旁路高真空隔离阀另一端连接到炉室。
2.根据权利要求I所述的一种多晶硅铸锭炉快慢抽气系统，其特征是真空机组有机械泵和罗茨泵组成。
3.根据权利要求I所述的一种多晶铸锭炉快慢抽气系统，其特征是快抽管道口径大，慢抽管道口径小。
专利摘要一种多晶铸锭炉快慢抽气系统，采用两路管道分别控制炉室抽气的速度，多晶铸锭炉快慢抽气系统不仅能够实现对炉室抽真空，而且利用两路抽速的快慢不同，可以在不同的阶段采用不同的管路，快抽能实现对炉腔快速抽气，节省时间，慢抽主要能避免硅料粉尘的抽走，即避免浪费又保护了石墨部件和真空机组，快抽管道口径大，管道上有主路高真空隔离阀，慢抽管道口径小，管道上有过滤器，旁路控制蝶阀和旁路高真空隔离阀，两路管道都接到真空机组上，真空机组主要由机械泵和罗茨泵组成。
文档编号C30B28/06GK202440563SQ20112044497
公开日2012年9月19日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者文武, 李晓平, 杨朝旭, 梁仁和 申请人:北京京仪世纪电子股份有限公司