带水冷观察窗的结构门的制作方法技术资料下载

技术编号:8189561

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技术领域本实用新型是有关于一种带水冷观察窗的结构门,特别是关于一种用于需要安装门及观察窗的高温真空设备的结构门。背景技术单晶硅炉是一种生长单晶硅棒的真空高温设备,为了能够在热场维持工艺温度的情况下,可以取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶,需要装配一种翻板阀,该翻板阀设有结构门。目前,结构门是方形的,虽然有观察窗,但是却不是水冷结构。因此具有如下缺点[0004]I、由于结构门是方形的,需要用铣床加工,使得加工复杂,费工时。2、观察窗不能水冷,在高温设备上玻璃容易损坏。3、需要专门焊一把手,工艺复杂。实用新型内容...
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