带水冷观察窗的结构门的制作方法

文档序号:8189561阅读:171来源:国知局
专利名称:带水冷观察窗的结构门的制作方法
技术领域
本实用新型是有关于一种带水冷观察窗的结构门,特别是关于一种用于需要安装门及观察窗的高温真空设备的结构门。
背景技术
单晶硅炉是一种生长单晶硅棒的真空高温设备,为了能够在热场维持工艺温度的情况下,可以取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶,需要装配一种翻板阀,该翻板阀设有结构门。目前,结构门是方形的,虽然有观察窗,但是却不是水冷结构。因此具有如下缺
点[0004]I、由于结构门是方形的,需要用铣床加工,使得加工复杂,费工时。2、观察窗不能水冷,在高温设备上玻璃容易损坏。3、需要专门焊一把手,工艺复杂。

实用新型内容本实用新型的目的是,提供一种带水冷观察窗的结构门,其能将水引流到水冷观察窗内,使得观察窗上的玻璃不易损坏。本实用新型的上述目的可采用下列技术方案来实现一种带水冷观察窗的结构门,所述结构门包括门阀和门芯,所述门芯焊接在门阀上,其中,所述门阀的中心设有中心孔,所述中心孔上安装有观察窗,所述门阀上设有流道,所述流道的一端具有进水孔,另一端具有出水孔,所述门阀的侧面设有工艺孔,所述工艺孔与所述流道相连通,且工艺孔的内端设置在所述中心孔内,工艺孔的外端封闭;所述门芯对
应着流道。在优选的实施方式中,所述流道包括进水流道和出水流道,所述出水流道和进水流道分别设置在所述门阀的上下侧,所述工艺孔包括第一工艺孔和第二工艺孔,所述第一工艺孔与所述进水流道连通,第二工艺孔与所述出水流道连通,所述第一、二工艺孔的内端分别设置在所述中心孔内。在优选的实施方式中,所述进水流道的外端设有所述进水孔,进水流道的内端邻近所述中心孔,所述第一工艺孔穿过所述进水流道的内端部位;所述出水流道的外端设有所述出水孔,出水流道的内端邻近所述中心孔,所述第二工艺孔穿过所述出水流道的内端部位。在优选的实施方式中,所述进水流道包括分别呈环形的第一进水流道和第二进水流道,所述第一进水流道同心地位于第二进水流道的内侧,所述第一进水流道的一端设置所述进水孔,另一端与第二进水流道的一端连通,所述第二进水流道的另一端与所述第一工艺孔相连通;所述出水流道包括分别呈环形的第一出水流道和第二出水流道,所述第一出水流道同心地位于第二出水流道的内侧,所述第二出水流道的一端设置所述出水孔,另一端与第一出水流道的一端连通,所述第一出水流道的另一端与所述第二工艺孔相连通。在优选的实施方式中,所述门阀上还均匀地设有螺纹孔,所述螺纹孔上安装有捏手螺钉。在优选的实施方式中,所述螺纹孔具有四个,分别位于所述流道的外侧。在优选的实施方式中,所述结构门呈圆形。在优选的实施方式中,所述门阀呈圆形,所述门芯呈圆环形。本实用新型实施例的带水冷观察窗的结构门的特点和优点是冷却水从进水孔进入流道,由于工艺孔与流道连通,且工艺孔的内端位于中心孔内,使得流道中的冷却水可通 过工艺孔流入中心孔内,从而对安装在中心孔上的观察窗进行水冷,如此可降低观察窗的温度,使玻璃和密封圈等部件的寿命加长,接着流道中的水经过出水孔流出。

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图I是本实用新型的带水冷观察窗的结构门的主视示意图;图2是本实用新型的带水冷观察窗的结构门的侧视剖面示意图;图3是本实用新型的带水冷观察窗的结构门的门阀的主视示意图;图4是本实用新型的带水冷观察窗的结构门的门阀的侧视剖面示意图;图5是本实用新型的带水冷观察窗的结构门的门阀的主视剖面示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。本文中的“内侧”指的是靠近中心(具体指圆心)的一侧,“外侧”指的是远离中心(具体指圆心)的一侧。参见图I至图4所示,本实用新型实施例提出了一种带水冷观察窗的结构门,所述结构门包括门阀I和门芯2,所述门芯2焊接在门阀I上。所述门阀I的中心设有中心孔3,所述中心孔3上安装有观察窗4。所述门阀I上设有流道5,所述流道5的一端具有进水孔5a,另一端具有出水孔5b。所述门阀I的侧面设有工艺孔6,所述工艺孔6与所述流道5相连通,且工艺孔5的内端设置在所述中心孔3内,工艺孔5的外端封闭。所述门芯2对应着流道5。本实用新型实施例在加工时,在门阀I的侧面加工工艺孔6,工艺孔6直接穿透到中心孔3内,工艺孔6的外端封闭,例如工艺孔6的外端加工有螺纹,在装配过程中装有丝堵,防止水外流。在使用时,冷却水从进水孔5a进入流道5,由于工艺孔6与流道5连通,且工艺孔5的内端位于中心孔3内,工艺孔5的外端封闭,使得流道5中的冷却水可通过工艺孔6流入中心孔3内,从而对观察窗4进行水冷,如此可降低观察窗4的温度,使玻璃和密封圈等部件的寿命加长,接着流道5中的水经过出水孔5b流出。根据本实用新型的一个实施方式,所述流道5包括进水流道51和出水流道52,所述出水流道52和进水流道51分别设置在所述门阀I的上下侧,所述工艺孔6包括第一工艺孔61和第二工艺孔62,所述第一工艺孔61与所述进水流道51连通,第二工艺孔62与所述出水流道52连通,所述第一、二工艺孔61、62的内端分别设置在所述中心孔3内。进一步而言,所述进水流道51的外端设有所述进水孔5a,进水流道51的内端邻近所述中心孔3 (或者说进水流道51的内端紧挨着中心孔3,但并未与中心孔3连接),所述第一工艺孔61穿过所述进水流道51的内端部位。所述出水流道52的外端设有所述出水孔5b,出水流道52的内端邻近所述中心孔3 (或者说出水流道52的内端紧挨着中心孔3, 但并未与中心孔3连接),所述第二工艺孔62穿过所述出水流道52的内端部位。本实施例中,冷却水从进水孔5a进入进水流道51,由于第一工艺孔61的外端封闭,进水流道51中的冷却水只能往第一工艺孔61的内端走,并通过第一工艺孔61进入中心孔3内,从而对观察窗4进行水冷,待中心孔3内的水满后,通过第二工艺孔62进入出水流道52,接着从出水孔5b流出。也就是说,本实施例中的进水流道51和出水流道52相互间并不连接,而是通过第一、二工艺孔61、62才相互连通的,冷却水无法从进水流道51直接流入出水流道52,进水流道51的冷却水必须经过第一、二工艺孔61、62和中心孔3才能流入出水流道52。根据本实用新型的一个实施方式,配合图5所示,所述进水流道51包括分别呈环形的第一进水流道511和第二进水流道512,所述第一进水流道511同心地位于第二进水流道512的内侧,所述第一进水流道511的一端设置所述进水孔5a,另一端与第二进水流道512的一端连通,所述第二进水流道512的另一端与所述第一工艺孔51相连通。所述出水流道52包括分别呈环形的第一出水流道521和第二出水流道522,所述第一出水流道521同心地位于第二出水流道522的内侧,所述第二出水流道522的一端设置所述出水孔5b,另一端与第一出水流道521的一端连通,所述第一出水流道521的另一端与所述第二工艺孔62相连通。进一步而言,所述第一、二进水流道511、512和第一、二出水流道521、522均可为同心设置,本实施例中的冷却水的流向可参见图5的箭头所示。本实施例中的进水流道51具有第一、二进水流道511、512这两条水道,出水流道52具有第一、二出水流道521、522这两条水道,使得流道5的路程和面积加大,从而可以对门阀I进行比较彻底的冷却,当然在其它适当的情况下,进水流道51和出水流道52也可以具有更多条水道,一般情况下,进水孔5a位于进水流道51的最外侧一条水道,第一工艺孔61贯穿进水流道51的最内侧一条水道,同样,出水孔5b位于出水流道52的最外侧一条水道,第二工艺孔62贯穿出水流道52的最内侧一条水道。其中,所述结构门可呈圆形,具体来说,门阀I可呈圆形,门芯2可呈环形,如此结构门可直接采用车床加工,省时。根据本实用新型的一个实施方式,所述门阀I上还均匀地设有螺纹孔7,所述螺纹孔7上安装有捏手螺钉8。其中,螺纹孔7可以为非全通的螺纹孔。捏手螺钉8既可以作为紧固螺钉,又可以作为把手,使得结构简单,加工容易,易实现。以上所述仅为本实用新型的几个实施例,本领域的技术人员依据申请文件公开的可以对本实用新 型实施例进行各种改动或变型而不脱离本实用新型的精神和范围。
权利要求1.ー种带水冷观察窗的结构门,所述结构门包括门阀和门芯,所述门芯焊接在门阀上,其特征在于,所述门阀的中心设有中心孔,所述中心孔上安装有观察窗,所述门阀上设有流道,所述流道的一端具有进水孔,另一端具有出水孔,所述门阀的侧面设有エ艺孔,所述エ艺孔与所述流道相连通,且エ艺孔的内端设置在所述中心孔内,エ艺孔的外端封闭;所述门芯对应着流道。
2.根据权利要求I所述的带水冷观察窗的结构门,其特征在于,所述流道包括进水流道和出水流道,所述出水流道和进水流道分别设置在所述门阀的上下侧,所述エ艺孔包括第一エ艺孔和第二エ艺孔,所述第一エ艺孔与所述进水流道连通,第二エ艺孔与所述出水流道连通,所述第一、ニエ艺孔的内端分别设置在所述中心孔内。
3.根据权利要求2所述的带水冷观察窗的结构门,其特征在于,所述进水流道的外端设有所述进水孔,进水流道的内端邻近所述中心孔,所述第一エ艺孔穿过所述进水流道的内端部位; 所述出水流道的外端设有所述出水孔,出水流道的内端邻近所述中心孔,所述第二エ 艺孔穿过所述出水流道的内端部位。
4.根据权利要求3所述的带水冷观察窗的结构门,其特征在于,所述进水流道包括分别呈环形的第一进水流道和第二进水流道,所述第一进水流道同心地位于第二进水流道的内侧,所述第一进水流道的一端设置所述进水孔,另一端与第二进水流道的一端连通,所述第二进水流道的另一端与所述第一エ艺孔相连通; 所述出水流道包括分别呈环形的第一出水流道和第二出水流道,所述第一出水流道同心地位于第二出水流道的内侧,所述第二出水流道的一端设置所述出水孔,另一端与第一出水流道的一端连通,所述第一出水流道的另一端与所述第二エ艺孔相连通。
5.根据权利要求I至4任意ー项所述的带水冷观察窗的结构门,其特征在于,所述门阀上还均匀地设有螺纹孔,所述螺纹孔上安装有捏手螺钉。
6.根据权利要求5所述的带水冷观察窗的结构门,其特征在于,所述螺纹孔具有四个,分别位于所述流道的外側。
7.根据权利要求I至4任意ー项所述的带水冷观察窗的结构门,其特征在于,所述结构门呈圆形。
8.根据权利要求7所述的带水冷观察窗的结构门,其特征在于,所述门阀呈圆形,所述门芯呈圆环形。
9.根据权利要求5所述的带水冷观察窗的结构门,其特征在于,所述结构门呈圆形。
专利摘要本实用新型实施例公开了一种带水冷观察窗的结构门,所述结构门包括门阀和门芯,所述门芯焊接在门阀上,其中,所述门阀的中心设有中心孔,所述中心孔上安装有观察窗,所述门阀上设有流道,所述流道的一端具有进水孔,另一端具有出水孔,所述门阀的侧面设有工艺孔,所述工艺孔与所述流道相连通,且工艺孔的内端设置在所述中心孔内,工艺孔的外端封闭;所述门芯对应着流道。本实用新型能将水引流到水冷观察窗内,使得观察窗上的玻璃不易损坏。
文档编号C30B15/20GK202380128SQ20112053442
公开日2012年8月15日 申请日期2011年12月20日 优先权日2011年12月20日
发明者梁仁和, 胡志燕 申请人:北京京仪世纪电子股份有限公司
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