技术编号:8193988
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及向负荷循环地供给冷却用的液体冷却该负荷的液体循环供给装置,进ー步详细地说,涉及使用液体温度不同的ニ种液体冷却负荷的液体循环供给装置。背景技术例如在半导体制造装置、液晶制造装置等的各种制造装置中,为了冷却发热的该装置(负荷)使温度保持为恒定,从液体循环供给装置循环地供给冷却用的液体,冷却该负荷。在此情况下,如在下述的专利文献1-3中公开的那样,为了与负荷的热量相应地进行高精度的温度控制,有时也进行如下的情况,即,准备液体温度不同的ニ种液体,在通过由多个三通阀等组成的混合组件将适合于负荷的冷却的液体温...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。