专利名称：液体循环供给装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及向负荷循环地供给冷却用的液体冷却该负荷的液体循环供给装置，进ー步详细地说，涉及使用液体温度不同的ニ种液体冷却负荷的液体循环供给装置。
背景技术：
例如在半导体制造装置、液晶制造装置等的各种制造装置中，为了冷却发热的该装置(负荷)使温度保持为恒定，从液体循环供给装置循环地供给冷却用的液体，冷却该负荷。在此情况下，如在下述的专利文献1-3中公开的那样，为了与负荷的热量相应地进行高精度的温度控制，有时也进行如下的情况，即，准备液体温度不同的ニ种液体，在通过由多个三通阀等组成的混合组件将适合于负荷的冷却的液体温度的液体选择性地供给，或通过混合上述ニ种液体使之成为适合于负荷的冷却的液体温度的液体的状态下向该负荷进行供给。 在上述专利文献I及2中公开的例子中，设置了收容高温的液体的热源容器(高温容器)、收容低温的液体的冷源容器(低温容器)和由多个三通阀等组成的混合组件，由该混合组件将上述热源容器或冷源容器内的液体向负荷适量供给。在专利文献3中公开的以往例子中也进行大致同样的操作。但是，上述以往例子，因为将高温容器和低温容器分开地设置在分离的位置，所以不仅两个容器专用宽阔的设置空间，装置大型化，而且必须分别实施为了在各个容器上防止结露、防止放热的绝热加工，构造复杂化，价格也变高。另外，从上述ニ个容器将液体向负荷供给时，伴随着上述混合组件的切換操作，液体在该ニ个容器间移动，该ニ个容器内的液体的液位变动得大而成为不平衡的状态，容易对在各个容器中的液体的温度调整造成障碍。因此在专利文献3中，设置储水箱吸收在冷却侧(低温)容器和加热侧(高温)容器中的液体的增减，但不仅该储水箱的设置空间更増加，而且如果没被进行温度管理的液体从该储水箱流入上述冷却侧容器及加热侧容器，则在两容器中的液体的温度调整也变得更困难。专利文献I :日本特开2009-293867号公报专利文献2 日本特开2009-287865号公报专利文献3 日本特开2008-292026号公报
发明内容
发明所要解决的课题本发明的目的在于，在使用液体温度不同的ニ种液体冷却负荷的液体循环供给装置中，在对伴随着在收容了上述液体的ニ个容器间的液体的移动的液位变化进行吸收而使在各容器中的液体的温度调整变得容易的同时，能够紧凑而且廉价地设置装置。为了解决课题的手段为了达成上述目的，本发明的液体循环供给装置，其特征在干，具有外部容器，其收容被调整到所要的温度的第一液体；内部容器，其以与上述第一液体相比位于上方的方式设置在上述外部容器的内部，收容被调整到与上述第一液体不同的温度的第二液体；阀装置，其将上述第一液体及第ニ液体単独地或混合地向负荷供给；外部容器用液体循环路，其具有将上述外部容器内的第一液体向上述阀装置送的外部容器用送出路，和使来自该阀装置的液体返回到上述外部容器内的外部容器用返回路；内部容器用液体循环路，其具有将上述内部容器内的第二液体向上述阀装置送的内部容器用送出路，和使来自该阀装置的液体返回到上述内部容器内的内部容器用返回路；第一开闭阀，其对连结上述外部容器用送出路和内部容器用返回路的第一旁通流路进行开闭；第二开闭阀，其对连结上述内部容器用送出路和外部容器用返回路的第二旁通流路进行开闭；液位传感器组件，其是分别附设在上述外部容器及上述内部容器上的液位传感器组件，在上述第一液体和上述第二液体的液位在两个容器间不平衡的情况下使上述第一开闭阀及第ニ开闭阀选择性地开放而调整上述液位。在本发明的一个构成方式中，上述液位传感器组件具有外部容器用下限液位传感器和内部容器用下限液位传感器，上述外部容器用下限液位传感器对上述外部容器内的第一液体的液位到达了作为为了稳定运转的下方界限的下限液位的情况进行检测，上述内部容器用下限液位传感器对上述内部容器内的第二液体的液位到达了作为为了稳定运转的 阀，上述内部容器用下限液位传感器开放上述第一开闭阀。另外，在本发明的其它的构成方式中，上述液位传感器组件具有外部容器用上限液位传感器和内部容器用上限液位传感器，上述外部容器用上限液位传感器对上述外部容器内的第一液体的液位到达了作为为了稳定运转的上方界限的上限液位的情况进行检测，上述内部容器用上限液位传感器对上述内部容器内的第二液体的液位到达了作为为了稳定运转的上方界限的上限液位的情况进行检测，上述外部容器用上限液位传感器开放上述第一开闭阀，上述内部容器用上限液位传感器开放上述第二开闭阀。另外，在本发明中，也可以以如下的方式构成上述内部容器在与作为稳定运转时的第二液体的液位的常用液位对应的位置具有液位调整孔，使该第二液体的来自上述常用液位的液位上升量从该液位调整孔流入外部容器内而维持上述常用液位，或者，上述内部容器具有在第二液体的液位超过了上限液位的情况下使该第二液体溢流的溢流ロ在本发明中最好是，上述外部容器具有能够回收地收容当装置的运转结束时处于上述外部容器用液体循环路、内部容器用液体循环路、阀装置及负荷中的液体的容量，另夕卜，上述内部容器配置在如下的位置，该位置是即使在装置运转中上述外部容器内的第一液体的液位上升到上述上限液位也与该第一液体不接触的位置。本发明，具有对连结上述外部容器用送出路和内部容器用返回路的第三旁通流路进行开闭的第三开闭阀，该第三开闭阀的流路截面积比上述第一开闭阀的流路截面积形成得大。根据本发明，通过在收容了第一液体的外部容器的内部设置收容第二液体的内部容器，与将两个容器设置到分开的地方的以往例子相比，能够使装置紧凑而且廉价地构成。另外，由液体在两个容器间移动产生的液位变化用第一开闭阀及第ニ开闭阀吸收，能够消除在各容器内的急剧而且大幅度的液位变化，容易地进行液体的温度调整。
图I是有关本发明的液体循环供给装置的第一实施方式的构成图。图2是有关本发明的液体循环供给装置的第二实施方式的主要部分构成图。
具体实施例方式
为了实施发明的优选方式图I表示有关本发明的液体循环供给装置的第一实施方式的构成图。此液体循环供给装置，具有大容量的外部容器I、小容量的内部容器2、阀装置3、外部容器用液体循环路5、内部容器用液体循环路6、第一温度调整装置7、第二温度调整装置8、控制装置9，上述大容量的外部容器I收容第一液体F1，上述小容量的内部容器2设置在该外部容器I的内部，收容与上述第一液体Fl不同的温度的第二液体F2，上述阀装置3将上述第一液体Fl及第ニ液体F2単独地或混合地向负荷4供给，上述外部容器用液体循环路5将上述外部容器I内的第一液体Fl向上述阀装置3循环地供给，上述内部容器用液体循环路6将上述内部容器2内的第二液体F2向上述阀装置3循环地供给，上述第一温度调整装置7将上述第一液体Fl调整到所要的温度，上述第二温度调整装置8将上述第二液体F2调整到所要的温度，上述控制装置9按照设定的程序控制装置整体。在本实施方式中，第一液体Fl的温度设定得比第二液体F2的温度高，例如，第一液体Fl的温度为50°C，第二液体F2的温度为-15°C。另外，上述第一液体Fl和第二液体F2，因为是仅温度不同的相同液体，所以在以下的说明中，在没有必要区别两者时仅称“液体”或“液体F”。上述外部容器1，由底壁la、侧壁Ib和上壁Ic包围了外面整体，在上述上壁Ic上形成给液ロ ld，在装置的使用之前向上述外部容器I内及内部容器2内收容上述液体F吋，能够从上述给液ロ Id向内部容器2从上方供给液体F。被供给的液体F，从内部容器2的后述的液体调整孔11及溢流ロ 12溢流而也流入到外部容器I内，由此，在两容器1、2中分别收容必要量的液体F。在上述外部容器I的外面上，实施了必要的绝热处理。图中13，是能够从外部监视上述外部容器I内的第一液体Fl的液位的液位计。另外，上述内部容器2，具有底壁2a和侧壁2b，其上面开放，呈与该上壁Ic之间保持间隔的状态地被安装在上述外部容器I的上壁Ic的下面上，以整体与上述第一液体Fl的液面相比位于上方的空间部内的方式设置。而且，在该内部容器的侧壁2b的上端和上述外部容器I的上壁Ic下面之间形成了上述溢流ロ 12。上述溢流ロ 12，用于在上述内部容器2内的第二液体F2的液位异常上升而超过了作为稳定运转时的上升界限的上限液位F2H的情况下，使其上升量的液体溢流而防止内部容器2的破损。因此，该溢流ロ 12与上限液位F2H相比形成在上方位置，其开ロ面积是使上述异常上升量的液体能够确实地溢流的尺寸。与此相対，上述液位调整孔11，作为ー个或多个孔，与侧壁2b的上述溢流ロ 12相比形成在低位置，其开ロ面积被做得比该溢流ロ 12小。即，此液位调整孔11，形成在与作为装置的稳定运转时的上述第二液体F2的液位的常用液位F20对应的位置，在运转中该第二液体F2的液位变动而从上述常用液位F20上升时，通过使其上升量的液体F溢流而流入到、上述外部容器I内，維持上述常用液位F20。因此，该液位调整孔11的开ロ面积，以对外部容器I内的第一液体Fl的温度调整不产生影响的流量能够使上述第二液体F2溢流这样的尺寸形成。另外，上述内部容器2内的第二液体F2的液位位于常用液位F20时，上述外部容器I内的第一液体Fl的液位也成为常用液位F10。这样通过将收容了低温的第二液体F2的内部容器2设置在外部容器I的内部，没有必要在该内部容器2的底壁2a的外面及侧壁2b的外面实施为了防止结露或绝热的加エ，即使实施也是非常简单的即可，能够减少成本。另外，与将两个容器1、2设置在各自的场所的情况相比，由于能够节约设置空间，所以能够紧凑地形成装置。上述外部容器用液体循环路5，具有外部容器用送出路5a和外部容器用返回路5b，上述外部容器用送出路5a与上述外部容器I连接，将上述第一液体Fl由第一泵16送往上述阀装置3，上述外部容器用返回路5b使来自该阀装置3的液体F返回到上述外部容器 I内。在该返回路5b的途中连接热交換器17，在该热交換器17中通过在该返回路5b内的液体与来自冷却回路18的制冷剂(冷却水)之间进行热交換，该返回路5b内的液体F被调整到所要的温度，流入到上述外部容器I内。这时，在此外部容器I内的第一液体Fl的温度变得比设定温度低得多的情况下，能够由设置在此外部容器I内或流路的适当位置的加热器19提高液体温度，由上述热交換器17及冷却回路18和加热器19形成了上述第一温度调整装置7。上述热交換器17也可以设置在外部容器I内，由此，该热交換器17的绝热处理不仅变得简单，而且即使从该热交換器17万一发生了液漏的情况下，因为也能够由外部容器I接收漏出的液体，所以安全性高。另外，根据上述第一液体Fl的设定温度，也可以仅设置上述热交換器17及加热器19的任一方，省略另一方，在该情况下，上述第一温度调整装置7仅由上述热交換器17或仅由加热器19形成。上述第一液体Fl的温度调整，是由设置在上述外部容器I、外部容器用送出路5a、外部容器用返回路5b及负荷4的I个部位或多个部位的温度传感器測定液体温度，基于其測定结果由上述控制装置9控制第一温度调整装置7来进行。图中PTl是连接到上述送出路5a的温度传感器，PSl是同样地连接到上述送出路5a的压カ传感器，PT2是连接到上述返回路5b的温度传感器，PT3是连接到上述外部容器I的温度传感器，它们分别连接到上述控制装置9。但是，其连接状态的图示被省略。此外，在上述送出路5a及返回路5b上，在必要的位置也连接了流量计等的计量仪器，但它们的图示也省略了。上述内部容器用液体循环路6，具有第二泵20、内部容器用送出路6a、内部容器用返回路6b，上述第二泵20安装在上述外部容器I的上壁Ic上，浸溃在内部容器2内；上述内部容器用送出路6a连接到该泵20，将内部容器2内的第二液体F2送往上述阀装置3 ;上述内部容器用返回路6b使来自该阀装置3的液体返回到上述内部容器2内。在该返回路6b的途中，连接热交換器21，在该热交換器21中通过在该返回路6b内的液体与来自冷却回路22的制冷剂之间进行热交換，该返回路6b内的液体被调整到所要的温度，流入到上述内部容器2内。由上述热交換器21和冷却回路22形成了上述第二温度调整装置8。
上述第二泵20，不限于浸溃式，也可以与第一泵16同样地设置到内部容器用送出路6a的途中。另外，在上述内部容器2内的第二液体F2的温度变得比设定温度低过多的情况下，也可以由设置在该内部容器2内或流路的适当位置的加热器提高液体温度。另外，上述热交換器21也可以设置到外部容器I的内部，由此，不仅该热交換器21的绝热处理变得简单，而且即使在从该热交換器21万一发生了液漏的情况下，因为能够由外部容器I接收漏出的液体，所以安全性也高。上述第二液体F2的温度调整，是由设置在上述内部容器2、内部容器用送出路6a、内部容器用返回路6b及负荷4的I个部位或多个部位的温度传感器測定液体温度，基于其
測定结果由上述控制装置9控制第二温度调整装置8来进行。图中PT4是连接到上述送出路6a的温度传感器，PS2是同样地连接到上述送出路6a的压カ传感器，PT5是连接到上述返回路6b的温度传感器，PT6是连接到上述内部容器2的温度传感器，它们分别连接到上述控制装置9。但是，其连接状态的图示被省略了。此夕卜，在上述送出路6a及返回路6b上，在必要的位置连接了流量计等的计量仪器，但它们的图示也省略了。上述外部容器用液体循环路5的外部容器用送出路5a和内部容器用液体循环路6的内部容器用返回路6b，由第一旁通流路23相互连接，在该第一旁通流路23上连接由ニ通换向阀组成的第一开闭阀24，由上述控制装置9进行开闭控制。此第一开闭阀24，当设置在内部容器2的内部的下限液位传感器25检测出第二液体F2的液位降低吋，由其检测信号进行开放，将外部容器用送出路5a内的液体F的一部分向内部容器用返回路6b进行补给。另外，上述内部容器用液体循环路6的内部容器用送出路6a和外部容器用液体循环路5的外部容器用送出路5b，由第二旁通流路26相互连接，在该第二旁通流路26上连接由二通换向阀组成的第二开闭阀27，由上述控制装置9进行开闭控制。此第二开闭阀27，当设置在外部容器I的内部的下限液位传感器28检测出第一液体Fl的液位降低时，由其检测信号进行开放，将内部容器用送出路6a内的液体F的一部分向外部容器用返回路5b进行补给。进而，上述外部容器用送出路5a和内部容器用返回路6b，由第三旁通流路29相互连接，在该第三旁通流路29上连接由二通换向阀组成的第三开闭阀30，由上述控制装置9进行开闭控制。此第三开闭阀30，在装置的维护时等由开关操作或来自外部的电气、空气等的操作信号进行开闭，为了使内部容器2内的第二液体F2的温度上升到常温程度，将外部容器用送出路5a内的液体F的一部分向内部容器用返回路6b进行补给。因此，上述第一开闭阀24及第ニ开闭阀27的流路截面积，与上述外部容器用及内部容器用的送出路5a、6a及返回路5b、6b的流路截面积相比形成得十分小，从上述外部容器用送出路5a向内部容器用返回路6b，或从上述内部容器用送出路6a向外部容器用返回路5b，补给小流量的液体。由此，对上述外部容器I内及内部容器2内的液体的温度调整不会产生大的影响。与此相对，上述第三开闭阀30，以使内部容器2内的第二液体F2的温度能够快速地上升的方式，流路截面积与上述第一开闭阀24及第ニ开闭阀27相比形成得大，以便大流量的液体能够流动。另外，此第三开闭阀30，也可以在上述第一旁通流路23上与上述第一开闭阀24并列地连接。在此情况下，上述第一旁通流路23将兼作上述第三旁通流路29。作为上述第一 第三开闭阀24、27、29，能够使用电磁操作式或液控换向式或电动式等由任意的方法进行开闭操作的开闭阀。在上述外部容器I的内部，设置上述下限液位传感器28和非常液位传感器32，上述下限液位传感器28对第一液体Fl的液位降低而到达了作为运转时的下方界限的下限液位FlL的情况进行检测，输出检测信号；上述非常液位传感器32对该第一液体Fl的液位超过上述下限液位FlL而异常下降的情况进行检测，输出检测信号，它们分别连接到上述控制装置9。然后，根据来自上述下限液位传感器28的检测信号，由上述控制装置9开放第二开闭阀27，通过将内部容器用送出路6a的液体补给到外部容器用返回路5b，外部容器I内 的液位上升。另外，如果从上述非常液位传感器32输出检测信号，则发出警报，上述第一泵16停止或第一及第ニ泵16、20停止。另ー方面，在上述内部容器2的内部，设置上述下限液位传感器25和非常液位传感器33，它们分别连接到上述控制装置9，上述下限液位传感器25对第二液体F2的液位降低而到达了下限液位F2L的情况进行检测，输出检测信号；上述非常液位传感器33对该第ニ液体F2的液位超过上述下限液位F2L而异常下降的情况进行检测，输出检测信号。然后，通过由来自上述下限液位传感器25的检测信号将上述第一开闭阀24开放，将外部容器用送出路5a的液体供给到内部容器用返回路6b，该内部容器2内的液位上升。另外，如果从上述非常液位传感器33输出检测信号，则发出警报，上述第二泵20停止或第一及第ニ泵16、20停止。下面，关于具有上述构成的液体循环供给装置的动作进行说明。在装置的运转中第一泵16及第ニ泵20都被驱动，外部容器I内的第一液体Fl及内部容器2内的第二液体F2，ー边在上述外部容器用液体循环路5及内部容器用液体循环路6中循环ー边向阀装置3供给，通过由控制装置9进行的该阀装置3的切換操作，适合于负荷4的冷却的温度的液体通过外部配管4a选择性地被供给到负荷4，通过将第一液体Fl和第二液体F2毎次相同适量地进行混合，调整到适合于负荷4的冷却的温度的液体通过上述外部配管4a被供给到负荷4。上述阀装置3也可以由进行负荷4的控制的别的控制装置38进行切换操作。然后，伴随着上述阀装置3的切換操作，通过该阀装置3，液体在上述外部容器I和内部容器2之间移动，在两容器1、2内液位进行变动。现在，在图I中，如果外部容器I内的第一液体Fl的液位从用实线表示的常用液位FlO下降，则内部容器2内的第二液体F2的液位仅与其量相应地上升。然后，在上述外部容器I内的液位不下降至下限液位FlL的状况下，在上述内部容器2内，通过第二液体F2的液位上升量从液位调整孔11流入到外部容器I内吸收液位变动，两容器1、2内的液位恢复到常用液位FlO及F20。这时，在上述外部容器I中，通过低温的第二液体F2的流入，第一液体Fl的温度显示若干降低倾向，但因为其流入量少，所以对由第一温度调整装置7进行的温度调整没有大的影响，能够立刻恢复到设定温度。另ー方面，在上述外部容器I内的液位下降到了下限液位FlL的情况下，该外部容器I内的下限液位传感器28动作，通过输出检测信号，第二开闭阀27开放，内部容器用送出路6a的液体的一部分通过第二旁通流路26流入到外部容器用返回路5b内，补给到外部容器I内。这时，在内部容器2内的液位从常用液位F20进行上升的情况下，也进行从上述液位调整孔11的溢流。 上述第二开闭阀27，在外部容器I内的液位恢复而上述下限液位传感器28断开或该第二开闭阀27开放后经过了一定的时间后闭锁，停止来自第二旁通流路26的液体的补给。但是，因为从上述液位调整孔11向外部容器I内的第二液体F2的流入继续进行，所以两容器1、2内的液体的液位恢复到常用液位FlO及F20。在此情况下，因为流入到外部容器I内的低温的第二液体F2的流量少，所以对在该外部容器I内的第一液体Fl进行的温度调整也没有大的影响。
在上述第一液体Fl的液位超过上述下限液位FlL而异常下降的情况下，异常液位传感器32对其进行检测，输出检测信号，发出警报，上述第一泵16停止或第一及第ニ泵16、20停止。这时，在上述内部容器2中，在第二液体F2的液位超过上限液位F2H而到达了溢流ロ 12的位置的情况下，从该溢流ロ 12溢流，防止该内部容器2的破损。接着，在上述外部容器I内的第一液体Fl的液位从用实线表示的常用液位FlO的位置上升了的情况下，内部容器2内的第二液体F2的液位仅与其量相应地下降。然后，在上述内部容器2内的第二液体F2的液位下降到了下限液位F2L的情况下，上述外部容器I内的第一液体Fl的液位上升到上限液位FlH的位置，但通过设置在该内部容器2内的下限液位传感器25动作输出检测信号，第一开闭阀24开放，流过外部容器用送出路5a的液体的一部分通过第一旁通流路23流入到内部容器用返回路6b内，补给到内部容器2内。上述第一开闭阀24，在内部容器2内的液位恢复而上述下限液位传感器25断开或该第一开闭阀24开放后经过了一定的时间后闭锁，来自第一旁通流路23的液体的补给停止。这时，在上述内部容器2中，通过高温的第一液体Fl的流入，第二液体F2的温度显示若干上升倾向，但因为其流入量少，所以对由第二温度调整装置8进行的温度调整没有大的影响，能够立刻恢复到设定温度。另外，在上述第二液体F2的液位超过上述下限液位F2L而异常下降的情况下，异常液位传感器33对其进行检测，输出检测信号，发出警报，上述第二泵20停止或第一及第ニ泵16、20停止。在此情况下，即使上述泵16、20停止，也有液体因上述阀装置3的切换状态而向内部容器2内返回来的可能性，由此,在该内部容器2内的液位上升的情况下，通过从上述液位调整孔11、溢流ロ 12溢流，能够防止该内部容器2的破损。在上述第一开闭阀24闭锁而来自第一旁通流路23的液体的补给停止的阶段，也存在两容器1、2内的液体的液位没到达常用液位F10、F20的情況，但那是在能够稳定运转的范围内，对装置的运转没有影响。但是也可以由别的液位传感器检测至少一方的容器内的液体是否处于常用液位，在恢复到了常用液位时闭锁上述第一开闭阀24。这对于上述第ニ开闭阀27也同样。如果装置的运转停止，则循环中的液体F全部被回收。这时，通过内部容器用液体循环路6在阀装置3及负荷4中循环中的液体，回流到内部容器2内，从上述液位调整孔11及溢流ロ 12溢流而流入到外部容器I内。另ー方面，通过外部容器用液体循环路5在阀装置3及负荷4中循环中的液体，直接回流到外部容器I内。因此，上述外部容器I的容量，以将来自上述外部容器用液体循环路5、内部容器用液体循环路6、阀装置3及负荷4的液体F能够收容到此外部容器I内的尺寸形成。在此情况下，该外部容器I内的液体和上述内部容器2在液体回收后不必要一定保持非接触状态，即使成为该内部容器2的一部分或全部(直至溢流ロ 12的位置为止)浸溃到液体中的状态也没关系。总之，外部容器I的容量，只要是在液体回收后该液体不溢出到外部的尺寸、即可。但是，上述内部容器2，配置到如下位置是理想的，该位置是，即使在装置运转中上述外部容器I内的第一液体Fl的液位上升到了上述上限液位FlH的位置，也与该第一液体Fl不接触的位置。在进行装置的维护时，有必要使外部容器I内的液体Fl和内部容器2内的液体F2的温度平均化。因此，如果由开关操作或来自外部的电气、空气等的操作信号开放大流量的上述第三开闭阀30，则外部容器用送出路5a的液体补给到内部容器用返回路6b而流入到上述内部容器2内，该内部容器2内的液体F2的温度上升。与此同吋，因为该内部容器2内的液体F2从上述液位调整孔11及溢流ロ 12溢流而流入到外部容器I内，所以该外部客器I内的液体Fl的温度下降，两容器1、2内的液体的温度被平均化。这时，也可以代替上述第三开闭阀30，或在该第三开闭阀30的基础上设置将上述内部容器2和外部容器I直接连结的溢流管，由大流量的开闭阀开闭此溢流管。在上述第一实施方式中，由下限液位传感器25及28对外部容器I内及内部容器2内的液体的液位下降的情况进行检测，由此，使上述第一及第ニ开闭阀24、27开放，但也可以代替上述下限液位传感器25、28，如图2的第二实施方式的那样，在外部容器I的内部及内部容器2的内部分别设置上限液位传感器35、36，由该传感器35、36对各容器1、2内的液体的液位上升到了上限液位F10、F20的情况进行检测，使上述第一及第ニ开闭阀24、27开放。在此情况下，第一开闭阀24由外部容器I内的上限液位传感器35的动作开放，流过外部容器用送出路5a的液体的一部分通过第一旁通流路23流入到内部容器用返回路6b内，补给到内部容器2。另外，第二开闭阀27由内部容器2内的上限液位传感器36的动作开放，内部容器用送出路6a的液体的一部分通过第二旁通流路26流入到外部容器用返回路5b内，补给到外部容器I。由于此第二实施方式的上述以外的构成及作用与第一实施方式相同，所以对主要的相同构成部分附加与第一实施方式相同符号，省略其说明。另外，在上述各实施方式中，在将液位调整孔11设置在内部容器2上，第二液体F2的液位从常用液位F20进行上升的情况下，通过使该第二液体F2的一部分从上述液位调整孔11流入到外部容器I内，使得两容器内的液位維持常用液位F10、F20，但因为两容器I、2内的液体的液位如果处于上限液位F1H、F2H和下限液位F1L、F2L之间，则能够使装置稳定运转，所以此液位调整孔11未必是必要的，省略也没关系。另外，在上述各实施方式中，外部容器I内的第一液体Fl的温度设置得比内部容器2内的第二液体F2的温度高，与其相反，也可以将外部容器I内的第一液体Fl的温度设置得比内部容器2内的第二液体F2的温度低。进而，如在图I中用点划线所示的那样，在外部容器I为第一液体Fl而成为满水的情况下，也可以与需要相应地设置使警报动作的别的液位传感器3 7。另外，在上述实施方式中，是以如下的方式构成，S卩，上述液位传感器是浮子式，通常是处于关的状态，在检测液位的变化时成为开，输出检测信号，但与此相反，也可以以如下的方式构成，即，通常是处于开的状态，在检测液位的变化时成为关，使得其成为检测信号。或者，也可以代替上述浮子式的液位传感器，使用由光学的方法模拟性地或数字性地检测液面即液位的光学式的液位传感器、通过测定在容器内存在的液体的重量模拟性地或数字性地无阶段或多阶段地检测该液体的增减即液位的上升及下降的液位传感器。在此情况下，来自各传感器的检测信号被输出到控制装置，在成为规定的液位之处由该控制装置对第一及第ニ开闭阀进行开闭控制。
权利要求
1.一种液体循环供给装置，其特征在于，具有 外部容器，其收容被调整到所要的温度的第一液体； 内部容器，其以与上述第一液体相比位于上方的方式设置在上述外部容器的内部，收容被调整到与上述第一液体不同的温度的第二液体； 阀装置，其将上述第一液体及第二液体单独地或混合地向负荷供给； 外部容器用液体循环路，其具有将上述外部容器内的第一液体向上述阀装置送的外部容器用送出路，和使来自该阀装置的液体返回到上述外部容器内的外部容器用返回路； 内部容器用液体循环路，其具有将上述内部容器内的第二液体向上述阀装置送的内部容器用送出路，和使来自该阀装置的液体返回到上述内部容器内的内部容器用返回路； 第一开闭阀，其对连结上述外部容器用送出路和内部容器用返回路的第一旁通流路进行开闭； 第二开闭阀，其对连结上述内部容器用送出路和外部容器用返回路的第二旁通流路进行开闭； 液位传感器组件，其是分别附设在上述外部容器及上述内部容器上的液位传感器组件，在上述第一液体和上述第二液体的液位在两个容器间不平衡的情况下使上述第一开闭阀及第二开闭阀选择性地开放而调整上述液位。
2.根据权利要求I所述的液体循环供给装置，其特征在于，上述液位传感器组件具有外部容器用下限液位传感器和内部容器用下限液位传感器，上述外部容器用下限液位传感器对上述外部容器内的第一液体的液位到达了作为为了稳定运转的下方界限的下限液位的情况进行检测，上述内部容器用下限液位传感器对上述内部容器内的第二液体的液位到达了作为为了稳定运转的下方界限的下限液位的情况进行检测，上述外部容器用下限液位传感器开放上述第二开闭阀，上述内部容器用下限液位传感器开放上述第一开闭阀。
3.根据权利要求I所述的液体循环供给装置，其特征在于，上述液位传感器组件具有外部容器用上限液位传感器和内部容器用上限液位传感器，上述外部容器用上限液位传感器对上述外部容器内的第一液体的液位到达了作为为了稳定运转的上方界限的上限液位的情况进行检测，上述内部容器用上限液位传感器对上述内部容器内的第二液体的液位到达了作为为了稳定运转的上方界限的上限液位的情况进行检测，上述外部容器用上限液位传感器开放上述第一开闭阀，上述内部容器用上限液位传感器开放上述第二开闭阀。
4.根据权利要求I至权利要求3中的任一项所述的液体循环供给装置，其特征在于，以如下的方式构成上述内部容器在与作为稳定运转时的第二液体的液位的常用液位对应的位置具有液位调整孔，使该第二液体的来自上述常用液位的液位上升量从该液位调整孔流入外部容器内而维持上述常用液位。
5.根据权利要求I至权利要求3中的任一项所述的液体循环供给装置，其特征在于，上述内部容器具有在第二液体的液位超过了上限液位的情况下使该第二液体溢流的溢流口。
6.根据权利要求I至权利要求3中的任一项所述的液体循环供给装置，其特征在于，上述外部容器具有能够回收地收容当装置的运转结束时处于上述外部容器用液体循环路、内部容器用液体循环路、阀装置及负荷中的液体的容量，另外，上述内部容器配置在如下的位置，该位置是即使在装置运转中上述外部容器内的第一液体的液位上升到上述上限液位也与该第一液体不接触的位置。
7.根据权利要求I至权利要求3中的任一项所述的液体循环供给装置，其特征在于，具有对连结上述外部容器用送出路和内部容器用返回路的第三旁通流路进行开闭的第三开闭阀，该第三开闭阀的流路截面积比上述第一开闭阀的流路截面积大。
全文摘要
一种液体循环供给装置，将收容不同的温度的液体的外部容器及内部容器和负荷，经外部容器用液体循环路及内部容器用液体循环路和阀装置相互连接，将第一开闭阀连接到连结外部容器用送出路和内部容器用返回路的第一旁通流路，将第二开闭阀连接到连结内部容器用送出路和外部容器用返回路的第二旁通流路，由液位传感器检测上述外部容器内的液体的液位和上述内部容器内的液体的液位，在从两容器向负荷循环地供给液体的过程中两容器内的液位不平衡的情况下，使上述第一开闭阀及第二开闭阀选择性地开放而调整液位。
文档编号G12B15/02GK102737732SQ20121009894
公开日2012年10月17日 申请日期2012年4月6日 优先权日2011年4月6日
发明者坂口哲郎 申请人:Smc株式会社