技术编号：8198474
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于腔室抽气的偏置衬垫背景技术本发明的实施例一般涉及在腔室衬垫及腔室壁之间具有一抽气气体空间 (evacuation plenum)白勺工月空胃。相关技术说明当在真空中处理基板时，使用真空泵以将工艺腔室抽气至适当的工艺压力。在部 分情形中，真空泵会持续地将导入工艺腔室的工艺气体抽出，以维持期望的工艺压力。真空 泵将工艺气体抽吸经过工艺腔室而至导向真空泵的真空泵口。工艺气体(例如沉积气体)被导入工艺腔室中，并在处理期间会导致沉积在暴露 出的腔室部件上。在不期望的腔室部件上沉积可能会导致部件失效或是在处理期间的基板 污...
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