技术编号:8198723
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及降低由粒状多晶硅装料带入硅熔体中的不溶性气体的量的方法。背景技术在由Czochralski法生长的单晶硅锭的生产中,首先将粒状多晶硅、块状多晶硅 或块状多晶硅与粒状多晶硅混合物形式的多晶硅熔化在石英坩锅中,并平衡至温度为约 1500°C。由于块状多晶硅是通过将多晶硅棒分成较小块来制备,因此其是通常在形状上不 规则、具有锐利锯齿边缘的多晶硅块。通常地,块状多晶硅的长度为约2厘米-约10厘米, 并且宽度为约4厘米-约6厘米。多晶硅颗粒是不如块状多晶硅致密且通常特征为不规则 表面、裂纹和空隙的粒子。通常...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。