利用物理气相沉积方法制备多层膜热电材料的工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:8224984

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热电材料是一种实现热能和电能直接转换的一种材料,它可以用于温差发电以及通电制冷。热电性能可以通过一个无量纲热电优值ZT表征其性能,其表达τ=α ~2σ / κ Τ,其中α为Seebeck系数,σ为电导率,κ为热导,T为温度。因此降低热导率是提高ZT优值的一个比较直接的方法。经研宄发现当器件的尺寸缩小到微纳米尺度时,由于量子尺寸效应和表界面效应,与宏观物理现象相比其许多微观物理现象,会有很大的差异,并且由于器件尺度的微型化,使原来各种影响因素的相对重要性也发...
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