技术编号：8227370
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等使用的真空泵的转子和具备该转子的真空泵。背景技术作为通过转子的旋转将腔室的气体排气的真空泵，已知有例如在专利文献I中公开的真空泵。在这样的真空泵中，在该真空泵组装制造阶段中，需要进行包括转子(8)及一体地设在其外周面上的旋转叶片(10)的旋转体整体的取平衡。特别是，在如专利文献I那样将腐蚀性气体排气的真空泵的情况下，由于在转子(8)的表面上形成有例如...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。