转子及具备该转子的真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等使用的真空泵的转子和具备该转子的真空泵。
【背景技术】
[0002]作为通过转子的旋转将腔室的气体排气的真空泵，已知有例如在专利文献I中公开的真空泵。在这样的真空泵中，在该真空泵组装制造阶段中，需要进行包括转子(8)及一体地设在其外周面上的旋转叶片(10)的旋转体整体的取平衡。
[0003]特别是，在如专利文献I那样将腐蚀性气体排气的真空泵的情况下，由于在转子
(8)的表面上形成有例如镍磷镀层那样的防腐蚀皮膜，所以通过对形成有该防腐蚀皮膜的区域作为质量附加机构而涂敷合成树脂粘接剂，在防止转子(8)的腐蚀的同时，进行旋转体整体的取平衡(参照专利文献I的段落0008的记载及该文献I的图1至图3)。
[0004]可是，在这种真空泵中，近年来，为了实现其排气性能的进一步的提高，已知有将到目前为止由铝合金等金属材料形成的转子的一部分用如纤维强化树脂材料那样比金属材料轻量且有强度的材料形成的结构(该结构例如参照专利文献2)、或如本申请的图9所示的以往的真空泵(螺纹槽泵并行流型)那样使用来通过转子6的旋转将气体排气的螺纹槽排气流路Rl、R2并行化的结构(该结构例如参照专利文献3)。
[0005]但是，根据本申请的图9所示的以往的真空泵(并行流型)，转子6的比大致中间(具体而言，连结部60)靠下游(从转子6的大致中间到转子6的气体排气口 3侧端部的范围)作为螺纹槽排气部Ps发挥功能。并且，在该螺纹槽排气部Ps的区域中，通过在转子6的内外周侧设置螺纹槽排气流路Rl、R2，实现了螺纹槽排气流路的并行化和由其带来的排气性能的进一步的提高。因此，在对本申请的图9所示的以往的真空泵(并行流型)应用专利文献I所公开的以往的取平衡的情况下，发生下述《问题A》到《问题D》。
[0006]《问题A》
参照本申请的图9，由于在与内侧的螺纹槽19A对置的转子6的内周面上设有通过合成树脂粘接剂Ml的涂敷形成的取平衡部BC，所以螺纹槽排气部Ps整体的有效的螺纹长度变短，真空泵P6的排气性能下降。
[0007]《问题B》
参照本申请的图9，通过合成树脂粘接剂Ml的涂敷形成的取平衡部BC在转子6内周侧的螺纹槽排气流路Rl中露出，露出的合成树脂粘接剂Ml暴露在螺纹槽排气流路Rl内的腐蚀性气体中。因此，取平衡用的合成树脂粘接剂Ml因腐蚀而破碎，成为碎片，有可能向上述制造装置的处理腔室、其他密闭腔室流出。例如，可以考虑在通过转子的旋转运动给碎片施加了动能的情况、或发生了从真空泵向腔室侧的排出气体的倒流的情况下等的流出。这样的碎片的流出在采用合成树脂粘接剂Ml以外的别的质量附加机构作为取平衡用的重物的情况下也同样会发生。
[0008]《问题C》 特别是，在如本申请的图9所示那样、作为转子6的取平衡部BC的具体的结构而在转子6的内周面上形成取平衡用的槽D、在该槽D内涂敷取平衡用的合成树脂粘接剂Ml的情况下，有通过上述腐蚀产生的合成树脂粘接剂Ml的碎片没有从取平衡用的槽D直接向下方掉落而留在槽D内的情况。因此，例如在真空泵的耐腐蚀性试验中，可以设想通过试验性的腐蚀产生的合成树脂粘接剂Ml的碎片留在上述槽D内、在耐腐蚀性试验的阶段中不能确认该碎片、上述碎片从交货的真空泵向其上游的装置流出的不良状况。
[0009]《问题D》
此外，当向上述那样的取平衡用的槽D内涂敷合成树脂粘接剂Ml时，例如如本申请的图10所示，预先使合成树脂粘接剂Ml附着到棒状的工具T的前端，将该工具T的前端向转子轴5与转子6之间L插入(参照图10的用双点划线表示的工具T)。此时，由于取平衡用的槽D距转子6的内周面有规定的深度，所以如果不将如上述那样插入的工具T相对于转子6的内周面倾斜规定角度(参照图10的用实线表示的工具T)，则不能向该槽D内涂敷合成树脂粘接剂M1，在涂敷时倾斜的工具T与转子轴5接触、干涉等，取平衡的作业性较差。特别是，在小型的真空泵中，由于转子轴5与转子6的间隔变窄，所以倾斜的工具T容易与转子轴5接触、干涉，取平衡的作业性进一步恶化。
[0010]专利文献1:特许第3974772号公报专利文献2:特开2004 — 278512号公报专利文献3:特许第3971821号公报。
【发明内容】
[0011]本发明是为了解决上述问题而做出的，本发明的一目的是提供一种适合实现真空泵的排气性能的提高和防止从取平衡部的碎片的脱落的转子、以及具备该转子的真空泵。此外，本发明的另一目的在于提供一种适合实现上述那样的碎片万一从取平衡部脱落时的早期排出、早期发现、以及实现取平衡的作业性的提高的转子及具备该转子的真空泵。
[0012]为了达到上述目的，第I本发明是一种将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于，上述转子具备:第I及第2筒体；和连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结；上述第I筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部；上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部；在上述第I筒体或上述连结部的内周面上设有上述转子的取平衡部，在该取平衡部上设有质量附加机构。
[0013]在上述第I本发明中，其特征也可以是，上述取平衡部具有比上述第I筒体的内径大的内径，上述取平衡部的内径随着向下部行进而为同等或同等以上。
[0014]在上述第I本发明中，其特征也可以是，上述取平衡部为在距上述连结部较近处较深且在距上述连结部较远处较浅的锥形状。
[0015]在上述第I本发明中，其特征也可以是，上述取平衡部在其中途具有台阶部，并且为以该台阶部为边界距上述连结部较近的范围较深且距上述连结部较远的范围较浅的带有台阶的形状。
[0016]在上述第I本发明中，其特征也可以是，通过上述连结部和固定部经由规定间隙对置，作为非接触型密封发挥功能，所述非接触型密封防止上述气体向上述第I筒体的内周面或上述连结部的内周面侧倒流。
[0017]此外，第2本发明是一种将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于，上述转子具备:第I及第2筒体；和连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结；上述第I筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部；上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部；通过上述连结部和固定部经由规定间隙对置，作为非接触型密封发挥功能，所述非接触型密封防止上述气体向上述第I筒体的内周面或上述连结部的内周面侧倒流。
[0018]在上述第1、第2发明中，其特征也可以是，上述规定间隙为0.5mm到3.0mm，更优选的为1.0mm到1.5_。
[0019]进而，第3本发明是一种将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于，上述转子具备:第I及第2筒体；和连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结；上述第I筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部；上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部；上述连结部由环状的板体和环状的凸部构成，所述板体一体地设在上述第I筒体的下端，所述凸部一体地设在该环状的板体的外周部，通过在该环状的凸部上嵌入安装上述第2筒体，将第I筒体与第2筒体连结；将上述凸部的内周面作为上述转子的取平衡部，在该取平衡部上设有耐腐蚀性的质量附加机构。
[0020]在上述第1、第2或第3本发明中，上述第2筒体可以由FRP形成。
[0021]有关本发明的真空泵具备有关上述第1、第2或第3本发明的真空泵的转子。
[0022]在第I本发明中，如上述那样，在第I筒体或连结部的内周面上设有转子的取平衡部，在该取平衡部上设有质量附加机构。因此，在第I筒体或连结部的内周侧没有形成螺纹槽排气流路，所以能够没有取平衡部给螺纹槽排气部带来的影响、具体而言螺纹槽排气部的有效的螺纹长不会因取平衡部的存在而变短，实现真空泵的排气性能的提高。此外，由于设在取平衡部上的质量附加机构不会直接暴露在腐蚀性气体中，所以能够避免质量附加机构因腐蚀而破碎产生碎片等的不良状况。
[0023]特别是，在上述第I本发明中，当取平衡部采用具有比第I筒体的内径大的内径、取平衡部的内径随着向下部行进而为同等或同等以上的结构时，该取平衡部的下部被朝向下方开放。因此，即使在万一因某种原因发生了设在取平衡部上的质量附加机构的一部分作为碎片脱落的状况的情况下，该脱落的碎片也从如上述那样开放的取平衡部的下部直接且顺畅地向下方掉落，与从真空泵排气的气体一起被向真空泵外排出。由此，在真空泵耐腐蚀性试验的阶段中产生了这样的碎片的情况下，能够实现该碎片的早期排出和早期发现，能够将从交货的真空泵向其上游的装置流出上述碎片的不良状况防止于未然。
[0024]此外，在如上述那样取平衡部的下部被朝向下方开放的情况下，例如在作为质量附加机构而使用合成树脂粘接剂时，预先使合成树脂粘接剂附着在与转子的内周面大致平行的姿势的工具的前端，通过一边使该工具平行移动一边从开放的取平衡部的下部侧向该取平衡部插入该工具的前端，能够对取平衡部的规定位置附加合成树脂粘接剂(质量附加机构