个固定叶片14也还以真空泵轴心为中心以放射状排列配置。
[0058]并且，在图1 (a)的真空泵Pl中，通过如上述那样以放射状配置的旋转叶片13和固定叶片14沿着真空泵轴心交替地多级地配置，构成真空泵Pl的叶片排气部Pt。
[0059]总之，在图1(a)的真空泵Pl中，构成转子6的第I筒体61在其外周面上具备多个旋转叶片13，通过将这些多个旋转叶片13沿着真空泵轴心与多个固定叶片14交替地配置，构成真空泵Pl的叶片排气部Pt。
[0060]另外，上述哪个旋转叶片13都是与转子6的外径加工部一体地通过切削加工切割形成的桨叶状的切削加工品，以最适合于气体分子的排气的角度倾斜。上述哪个固定叶片14都以最适合于气体分子的排气的角度倾斜。
[0061]《由叶片排气部Pt进行的排气动作说明》
在由以上的结构构成的叶片排气部Pt中，通过驱动马达12的起动，转子轴5、转子6及多个旋转叶片13 —体地高速旋转，最上段的旋转叶片13对从气体吸气口 2入射的气体分子赋予朝下方向的动量。具有该朝下方向的动量的气体分子被固定叶片14向下段的旋转叶片13侧送入。通过反复多级地进行以上那样的向气体分子的动量的赋予和送入动作，气体吸气口 2侧的气体分子以朝向转子6的下游依次转移的方式被排气。
[0062]《螺纹槽排气部Ps的详细结构》
在图1 (a)的真空泵Pl中，转子6的比大致中间(具体而言，连结部60)靠下游(从转子6的大致中间到转子6的气体排气口 3侧端部的范围)作为螺纹槽排气部Ps发挥功能。以下，详细地说明该螺纹槽排气部Ps。
[0063]比转子6的大致中间靠下游侧的转子6、具体而言构成该转子6的第2筒体62是作为螺纹槽排气部Ps的旋转部件旋转的部分，为经由规定的间隙插入、收容在螺纹槽排气部Ps的内外2层圆筒形的螺纹槽排气部定子18A、18B间的结构。
[0064]内外2层圆筒形的螺纹槽排气部定子18A、18B中的内侧的螺纹槽排气部定子18A(以下称作“内侧螺纹槽排气部定子18A”)是以其外周面与第2筒体62的内周面对置的方式配置的圆筒形的固定部，以被第2筒体62的内周包围的方式配置。
[0065]另一方面，外侧的螺纹槽排气部定子18B(以下称作“外侧螺纹槽排气部定子18B”)是以其内周面与第2筒体62的外周面对置的方式配置的圆筒形的固定部，以将第2筒体62的外周包围的方式配置。
[0066]在内侧螺纹槽排气部定子18A的外周部，形成有螺纹槽19A，所述螺纹槽19A的深度以朝向下方小径化的圆锥形状变化。螺纹槽19A从内侧螺纹槽排气部定子18A的上端朝向下端以螺旋状刻设，通过这样的螺纹槽19A，在第2筒体62的内周侧设有螺纹槽排气流路(以下称作“内侧螺纹槽排气流路R1”)。另外，该内侧螺纹槽排气部定子18A其下端部被泵基座IB支承。
[0067]在外侧螺纹槽排气部定子18B的内周部上，形成有与上述螺纹槽19A同样的螺纹槽19B。通过这样的螺纹槽19B，在第2筒体62的外周侧设有螺纹槽排气流路(以下称作“外侧螺纹槽排气流路R2”)。另外，该外侧螺纹槽排气部定子18B也是其下端部被泵基座IB支承。
[0068]总之，在图1 (a)的真空泵Pl中，构成转子6的第2筒体62通过至少在其内周面与对置于它的固定部(内侧螺纹槽排气部定子18A)的外周面之间形成螺旋状的螺纹槽排气流路(内侧螺纹槽排气流路Rl)，构成真空泵Pl的螺纹槽排气部Ps。
[0069]虽然图示省略了，但也可以构成为，通过将前面说明的螺纹槽19A、19B形成在第2筒体62的内周面或外周面或其两面上，设置上述那样的内侧螺纹槽排气流路Rl或外侧螺纹槽排气流路R2。
[0070]在螺纹槽排气部Ps中，为了通过螺纹槽19A和第2筒体62的内周面处的拖拉效应及螺纹槽19B和第2筒体62的外周面处的拖拉效应，一边将气体压缩一边移送，螺纹槽19A的深度设定为，在内侧螺纹槽排气流路Rl的上游入口侧(距气体吸气口 2较近的流路开口端)处最深，在其下游出口侧(距气体排气口 3较近的流路开口端)处最浅。这关于螺纹槽19B也是同样的。
[0071]构成为，外侧螺纹槽排气流路R2的上游入口连通到多级配置的旋转叶片13中的最下段的旋转叶片13E与后述的连通开口部H的上游端之间的间隙(以下称作“最终间隙G”)，此外，该流路R2的下游出口连通到气体排气口 3侦U。
[0072]构成为，内侧螺纹槽排气流路Rl的上游入口在转子6的大致中间朝向转子6的内周面(具体而言，连结部60的内表面)开口，此外，该流路Rl的下游出口与外侧螺纹槽排气流路R2的下游出口合流而连通到气体排气口 3。
[0073]在转子6的大致中间开设有连通开口部H，连通开口部H通过以将转子6的表背面间贯通的方式形成，发挥功能以将存在于转子6的外周侧的气体的一部分向内侧螺纹槽排气流路Rl引导。具备这样的功能的连通开口部H例如也可以如图1 (a)那样将连结部60的内外面贯通而形成。此外，在图1 (a)的真空泵Pl中，构成为，设有多个上述连通开口部H，通过配置为，这些多个连通开口部H相对于真空泵轴心为点对称，转子6的重心位置相对于半径方向不易偏移，转子6的平衡的修正也变容易。
[0074]《螺纹槽排气部Ps的排气动作说明》
通过由前面说明的叶片排气部Pt的排气动作进行的移送而到达了外侧螺纹槽排气流路R2的上游入口或最终间隙G的气体分子从外侧螺纹槽排气流路R2或连通开口部H向内侧螺纹槽排气流路Rl转移。转移后的气体分子通过由转子6的旋转产生的效应，即第2筒体62的外周面和螺纹槽19B处的拖拉效应及第2筒体62的内周面和螺纹槽19A处的拖拉效应，一边被从过渡流压缩为粘性流一边朝向气体排气口 3转移，最终经过未图示的辅助泵被向外部排气。
[0075]《转子6的取平衡部Kl的说明》
在图1 (a)的真空泵Pl中，在第I筒体61或连结部60的内周面上设有转子6的取平衡部K1，在该取平衡部Kl上，作为用来取转子6的平衡的重物的一种而设有图1 (b)所示的质量附加机构M。
[0076]此外，该取平衡部Kl如图1 (a)、图1 (b)那样形成为，通过从连结部60侧将第I筒体61的内周面以规定的深度切掉，具有比第I筒体61的内径大的内径，其内径随着向下部行进而成为同等。另外，该取平衡部Kl只要是具有比第I筒体61的内径大的内径的结构，也可以形成为，其内径随着向下部行进而成为同等以上。
[0077]取平衡部Kl优选的是如图1 (a)那样遍及第I筒体61内周面的周向整体形成为环状。这是因为，如果这样形成，则在哪个周向位置都能够通过质量附加机构M取转子6的平衡，取平衡的自由度变高，并且不易因由被切掉的取平衡部Kl带来的第I筒体61的缺损而转子6的重心位置相对于半径方向偏移，转子6的平衡的修正变容易。
[0078]在图1 (a)的真空泵Pl中，上述取平衡部Kl的长度以第I筒体61的轴向长度为基准，为该基准的一半以下，但并不限定于此。虽然图示省略，但取平衡部Kl的长度也可以为上述基准的一半以上。
[0079]图2是用图1所示的取平衡部Kl取转子6的平衡的方法的说明图。图1所示的取平衡部Kl如上述那样，以从连结部60侧切掉的形态设置，所以取平衡部Kl的下部侧(连结部60侧)被朝向下方开放。因而，例如在作为质量附加机构M使用后述的合成树脂粘接剂的情况下，能够通过图2所示的取平衡方法进行转子6的取平衡。
[0080]图2的取平衡方法预先使合成树脂粘接剂(质量附加机构M)附着在棒状的工具T的前端，使该工具T成为与转子6的内周面大致平行的姿势，以该姿势将该工具T的前端向转子轴5与转子6之间插入(参照图2的用双点划线表示的工具T)。并且，通过一边如上述那样使插入的工具T平行移动，一边从如上述那样开放的取平衡部Kl的下部侧向该取平衡部Kl插入该工具T的前端(参照图2的用实线表示的工具T)，对取平衡部Kl的规定位置附加合成树脂粘接剂(质量附加机构M)。
[0081]图3 (a)及图3 (b)是图1 (a)所示的取平衡部Kl的形状的变形例的说明图。图3 Ca)的取平衡部K2为在其整体中特别距连结部60较近处较深且在距连结部60较远处较浅的锥形状。此外，图3 (b)的取平衡部K3在其中途具有台阶部S，并且为以该台阶部S为边界、距连结部60较近的范围较深且距连结部60较远的范围较浅的带有台阶的形状。可以采用这样的锥形状的取平衡部K2或具有台阶部S的取平衡部K3作为图1 (a)的取平衡部K1。此外，虽然图示省略，但根据需要，也可以采用将上述那样的锥形状与台阶部组合的形状的取平衡部作为图1 (a)的取平衡部K1。
[0082]作为质量附加机构M，例如可以采用将环氧树脂、硅树脂、聚酰胺树脂等各种合成树脂粘接剂以Imm左右的厚度涂敷到取平衡部K1、K2、K3上、并且通过常温或加热使该合成树脂粘接剂硬化的方式。此时，作为使涂敷的合成树脂粘接剂为少量的方法，例如也可以采用使合成树脂粘接剂中含有比该合成树脂粘接剂密度高的金属粉末的方法。作为这种金属粉末，可以采用例如由SUS粉末、氧化铝(Α1203)、氧化硅(Si02)、氧化铬(Cr2O3)等金属氧化物构成的陶瓷微粒子或陶瓷短纤维。
[0083]根据以上说明的第I实施方式的真空泵Pl，如上述那样，在第I筒体61或连结部60的内周面上设有转子6的取平衡部1(1