b)是图8 (a)的B部放大图。
[0110]该图8 (a)的真空泵P5的基本的结构与图1 (a)的真空泵Pl是同样的，所以在图
8(a)中，对于与图1 (a)所示的部件相同的部件赋予相同的附图标记，其详细说明省略。
[0111]图8 (a)的真空泵P5与图1 (a)的真空泵Pl不同的结构是:通过连结部60的底面60IN与位于其底面60 IN侧的内侧螺纹槽排气部定子18A (固定部)经由规定间隙V对置，在连结部60与内侧螺纹槽排气部定子18A之间形成固定密封部20，构成为，在该连结部60的底面60IN与内侧螺纹槽排气部定子18A对置的范围中，作为防止气体向第I筒体61的内周面或连结部60的内周面侧倒流的非接触型密封发挥功能。上述规定间隙V考虑真空泵P5工作时的转子的振摆量及热膨胀中的尺寸变化、以及组装时的组装誤差等来设定。另外，在本发明中，将上述规定间隙V作为微小密封间隙设定为约0.5mm到3.0mm左右，但该设定值根据需要可以适当变更。
[0112]此外，在该图8 (a)的真空泵P5中，作为上述固定密封部20的具体的结构例，该固定密封部20 —体形成在内侧螺纹槽排气部定子18A的前端部，但并不限定于此。例如，也可以采用与内侧螺纹槽排气部定子18A分体地形成固定密封部20并将其安装固定到内侧螺纹槽排气部定子18A上的结构。此外，也可以采用在与内侧螺纹槽排气部定子18A不同的真空泵内的固定部、例如定子柱4 (固定部)等上一体地设置或安装固定固定密封部20的结构。
[0113]可是，例如在图1 (a)的真空泵Pl中，被从连结部60的连通开口部H向内侧螺纹槽排气流路Rl侧导引的气体的一部分要穿过内侧螺纹槽排气部定子18A与连结部60之间，朝向定子柱4的外周向第I筒体61的内周面或连结部60的内周面侧倒流。该气体的倒流从定子柱4的哪个外周方向都会发生，所以在图8 Ca)的真空泵P5中，通过包围定子柱4的外周而以环状形成上述固定密封部20，将上述非接触型密封设置为环状。
[0114]因而，根据图8 Ca)的真空泵P5，即使被从连结部60的连通开口部H向内侧螺纹槽排气流路Rl侧引导的气体是腐蚀性气体，也通过非接触型密封防止这样的腐蚀性气体向第I筒体61的内周面或连结部60的内周面侧倒流的现象，所以第I筒体61的内周面或连结部60的内周面侧暴露在腐蚀性气体中的可能性较小。
[0115]可是，在图8 Ca)的真空泵P5中，也与图1 (a)的真空泵Pl同样，在第I筒体61或连结部60的内周面上设置转子6的取平衡部K1，并在该取平衡部Kl上设置质量附加机构M，但在该图8 Ca)的真空泵P5的情况下，由于设置这样的质量附加机构M的区域、即第I筒体61的内周面或连结部60的内周面侧如上述那样防止了腐蚀性气体的倒流，所以质量附加机构M暴露在腐蚀性气体中的可能性也较少，能够更加有效地防止因质量附加机构M的腐蚀带来的碎片的产生。
[0116]以上说明的图8 (a)的真空泵P5的非接触型密封不仅是图1 (a)的真空泵P1，也能够应用到例如图4 (a)、图5 (a)或图6 (a)的真空泵P2、P3、P4中。
[0117]上述实施方式及各变形例可以各种各样组合。例如，也可以通过第I实施方式和第5实施方式的两者进行取平衡。
[0118]附图标记说明 I外装壳体
IA泵壳体 IB栗基座 IC凸缘 2气体吸气口 3气体排气口 4定子柱 5转子轴 6转子 60连结部 60in连结部的内表面 60A环状的板体 60B环状的凸部 61第I筒体 62第2筒体 63端部件 7凸台孔 9肩部
10径向磁轴承
1A径向电磁铁靶
1B径向电磁铁
1C径向方向变位传感器
11轴向磁轴承
IlA电枢盘
IlB轴向电磁铁
IlC轴向方向变位传感器
12驱动马达
12A固定件
12B旋转件
13旋转叶片
13E最下段的旋转叶片
14固定叶片
18A内侧螺纹槽排气部定子(与第2筒体的内周面对置的固定部件)
18B外侧螺纹槽排气部定子(与第2筒体的外周面对置的固定部件)19AU9B螺纹槽20固定密封部BC以往的取平衡部D取平衡用的槽
G最终间隙(最下段的旋转叶片与连通开口部的上游端之间的间隙)
H连通开口部
K1、K2、K3、K4取平衡部
M质量附加机构
Ρ1、Ρ2、Ρ3、Ρ4、Ρ5、Ρ6 排气泵
Pt叶片排气部
Ps螺纹槽排气部
Rl内侧螺纹槽排气通路
R2外侧螺纹槽排气通路
S台阶部
T工具
V规定间隙(微小密封间隙)。
【主权项】
1.一种转子，是将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于， 上述转子具备: 第I及第2筒体；和 连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结； 上述第I筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部； 上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部； 在上述第I筒体或上述连结部的内周面上设有上述转子的取平衡部，在该取平衡部上设有质量附加机构。
2.如权利要求1所述的转子，其特征在于， 上述取平衡部具有比上述第I筒体的内径大的内径，上述取平衡部的内径随着向下部行进而为同等或同等以上。
3.如权利要求2所述的转子，其特征在于， 上述取平衡部为在距上述连结部较近处较深且在距上述连结部较远处较浅的锥形状。
4.如权利要求2所述的转子，其特征在于， 上述取平衡部在其中途具有台阶部，并且为以该台阶部为边界距上述连结部较近的范围较深且距上述连结部较远的范围较浅的带有台阶的形状。
5.如权利要求1?4中任一项所述的转子，其特征在于， 通过上述连结部和固定部经由规定间隙对置，作为非接触型密封发挥功能，所述非接触型密封防止上述气体向上述第I筒体的内周面或上述连结部的内周面侧倒流。
6.一种转子，是将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于， 上述转子具备: 第I及第2筒体；和 连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结； 上述第I筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部； 上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部； 通过上述连结部和固定部经由规定间隙对置，作为非接触型密封发挥功能，所述非接触型密封防止上述气体向上述第I筒体的内周面或上述连结部的内周面侧倒流。
7.如权利要求5或6所述的转子，其特征在于， 上述规定间隙为0.5mm到3.0mm,更优选的为1.0mm到1.5mm。
8.一种转子，是将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于， 上述转子具备: 第I及第2筒体；和 连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结； 上述第I筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部； 上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部； 上述连结部由环状的板体和环状的凸部构成，所述板体一体地设在上述第I筒体的下端，所述凸部一体地设在该环状的板体的外周部，通过在该环状的凸部上嵌入安装上述第2筒体，将第I筒体与第2筒体连结； 将上述凸部的内周面作为上述转子的取平衡部，在该取平衡部上设有耐腐蚀性的质量附加机构。
9.如权利要求1?8中任一项所述的转子，其特征在于， 上述第2筒体由FRP形成。
10.一种真空泵，其特征在于， 具备权利要求1?9中任一项所述的转子。
【专利摘要】提供一种适合实现真空泵的排气性能的提高和防止从取平衡部的碎片的脱落的转子、以及具备该转子的真空泵。提供一种适合实现真空泵的排气性能和取平衡的作业性的提高、及防止从取平衡部的碎片的脱落、以及碎片万一脱落时的早期排出、早期发现的真空泵的转子等。真空泵（P1）的转子（6）具备第1及第2筒体（61、62）、和将两个筒体（61、62）的端部彼此连结的连结部（60）。第1筒体（61）在其外周面上具备多个旋转叶片（13），并且通过将这些多个旋转叶片（13）沿着真空泵轴心与多个固定叶片（14）交替地配置，构成叶片排气部（Pt）。第2筒体（62）通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路（R1），构成螺纹槽排气部（Ps）。并且，在上述转子（6）中，在第1筒体（61）或连结部（60）的内周面上设置转子（6）的取平衡部（K1），在该取平衡部（K1）上设置质量附加机构（M）。
【IPC分类】F04D19-04
【公开号】CN104541063
【申请号】CN201380044627
【发明人】大立好伸, 前岛靖, 高阿田勉, 坂口祐幸, 高井庆行
【申请人】埃地沃兹日本有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2013年9月18日
【公告号】EP2902636A1, US20150240829, WO2014050648A1