一种设于真空腔与真空泵之间的调频振动隔离装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空栗隔振领域，尤其涉及一种设于真空腔与真空栗之间的调频振动隔离装置。
【背景技术】
[0002]真空栗是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空栗是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。随着真空应用的发展，真空栗的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽。其中真空栗在应用于灵敏仪器时，如扫描电子显微镜，栗转动产生的振动会影响仪器的正常运行，于是，在真空栗与真空腔之间多设置阻振机构，常规的阻尼机构的示意图如图2，其中真空栗(IA)通过密封机构连接到真空室(图中未示出)，密封机构包括连接真空栗和真空腔的金属波纹管(2A)及围绕金属波纹管设置的橡胶环(3A)，而该阻尼机构能够吸收较大部分的振动，但是金属波纹管传输的振动，仍足以影响灵敏的仪器的正常运作。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种有效提高隔振效果的设于真空腔与真空栗之间的调频振动隔离装置。
[0004]本实用新型是通过以下技术方案予以实现:
[0005]—种设于真空腔与真空栗之间的调频振动隔离装置，包括设于真空栗顶端的基座，一端设于基座的双层弹性隔膜，固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，设于稳定凸缘下部真空栗上的支撑托杆，设于支撑托杆与稳定凸缘之间的阻尼器及连接于支撑托杆下调谐阻尼器，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空栗的出口，所述阻尼器包括两个分别与阻尼支撑托和稳定凸缘贴合的弹性阻尼块及设于两个弹性阻尼块之间的阻尼块配重，所述调谐阻尼器包括穿过支撑托杆底部和弹性阻尼块与阻尼块配重连接的弹簧，与弹簧连接的配重及与配重连接的加速计，所述加速剂连接外部的弹簧谐振频率调节器。
[0006]本实用新型的有益效果是:
[0007]阻尼器与双层膜弹性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，同时精确调节阻尼器的共振平率，提升隔振效果，便于为敏感仪器提供真空环境，保证仪器测量数据的准确性。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型的剖面结构示意图。
[0009]图2是现有技术的真空栗阻尼机构的剖面结构示意图。
[0010]图中:IA.真空栗，2A.金属波纹管，3A.橡胶环，2.基座，3.双层弹性隔膜4.稳定凸缘，5.真空腔，6.弹性阻尼块，7.阻尼块配重，8.支撑托杆，9.导管，10.真空栗出口，12.弹簧，13.配重，15.加速计，20.气动隔振器，21.增压口。
【具体实施方式】
[0011]为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
[0012]如图所示，本实用新型包括设于真空栗顶端的基座2，一端设于基座的双层弹性隔膜3，固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘4，设于稳定凸缘下部真空栗上的支撑托杆8，设于支撑托杆与稳定凸缘之间的阻尼器及连接于支撑托杆下调谐阻尼器，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管9连接真空栗的出口 10，所述阻尼器包括两个分别与阻尼支撑托和稳定凸缘贴合的弹性阻尼块6及设于两个弹性阻尼块之间的阻尼块配重7，所述调谐阻尼器包括穿过支撑托杆底部和弹性阻尼块与阻尼块配重连接的弹簧12，与弹簧连接的配重13及与配重连接的加速计15，所述加速剂连接外部的弹簧谐振频率调节器。
[0013]由于大气压作用，趋向于将真空栗压向真空室，在基座与稳定凸缘之间设置阻尼器，阻尼器抵抗大气压作用造成的真空力，支撑托杆支撑阻尼器并与两个弹性阻尼块及阻尼块配重配合起到分级阻振的作用。
[0014]阻尼器的共振频率在与真空栗转速频率相当时，阻振效果最好，一般系统中常对阻尼器的共振频率粗略调节，本实施例中通过加速计及调谐阻尼器实现精确调谐，调节过程为:调节真空栗加速度至最大，加速计测量此时加速度，通过外部的弹簧谐振频率调节器调节调谐阻尼器的质量，实现调节阻尼器的共振频率与真空栗转速频率相当。
[0015]双层弹性隔膜设于基座与稳定凸缘之间，基座可以再六个维度自由振动，从而防止带动真空腔振动，双层弹性隔膜中间形成的腔提供双重密封，双层膜弹性隔膜之间通过导管连接正空栗，有效降低膜片之间的压力。
[0016]阻尼器与双层膜弹性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，同时精确调节阻尼器的共振平率，提升隔振效果，便于为敏感仪器提供真空环境，保证仪器测量数据的准确性。
[0017]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种设于真空腔与真空栗之间的调频振动隔离装置，其特征在于，包括设于真空栗顶端的基座，一端设于基座的双层弹性隔膜，固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，设于稳定凸缘下部真空栗上的支撑托杆，设于支撑托杆与稳定凸缘之间的阻尼器及连接于支撑托杆下调谐阻尼器，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空栗的出口，所述阻尼器包括两个分别与阻尼支撑托和稳定凸缘贴合的弹性阻尼块及设于两个弹性阻尼块之间的阻尼块配重，所述调谐阻尼器包括穿过支撑托杆底部和弹性阻尼块与阻尼块配重连接的弹簧，与弹簧连接的配重及与配重连接的加速计，所述加速剂连接外部的弹簧谐振频率调节器。
【专利摘要】一种设于真空腔与真空泵之间的调频振动隔离装置，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座的双层弹性隔膜，固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，设于稳定凸缘下部真空泵上的支撑托杆，设于支撑托杆与稳定凸缘之间的阻尼器及连接于支撑托杆下调谐阻尼器，阻尼器与双层膜弹性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，同时精确调节阻尼器的共振平率，提升隔振效果，便于为敏感仪器提供真空环境，保证仪器测量数据的准确性。
【IPC分类】F16F15/00, F04B39/00
【公开号】CN205207079
【申请号】CN201520953732
【发明人】于少鹏, 邸士强, 汤萍, 赵东君, 王新鹏, 赵沙沙
【申请人】绿菱电子材料（天津）有限公司
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年11月25日