、1(2、1(3，在该取平衡部1(1、1(2、1(3上设有质量附加机构M0因此，由于在第I筒体61或连结部60的内周侧没有形成螺纹槽排气流路，所以能够没有取平衡部K1、K2、K3给螺纹槽排气部Ps带来的影响、具体而言螺纹槽排气部Ps的有效的螺纹长不会因取平衡部K1、K2、K3的存在而变短，实现真空泵P的排气性能的提高。此外，由于设在取平衡部Κ1、Κ2、Κ3上的质量附加机构M不会直接暴露在腐蚀性气体中，所以能够避免质量附加机构M因腐蚀破碎产生碎片等的不良状况。
[0084]此外，在第I实施方式的真空泵Pl中，作为取平衡部Κ1、Κ2、Κ3的具体的结构，该取平衡部Κ1、Κ2、Κ3采用具有比第I筒体61的内径大的内径、其内径随着向下部行进而成为同等或同等以上的结构，所以取平衡部Κ1、Κ2、Κ3的下部(连结部60侧)被朝向下方开放。由此，例如在万一因某种原因而发生了设在取平衡部Κ1、Κ2、Κ3上的质量附加机构M的一部分作为碎片脱落的状况的情况下，该脱落的碎片也从如上述那样被开放的取平衡部Κ1、Κ2、Κ3的下部直接且顺畅地向下方掉落，被与从真空泵P排气的气体一起向真空泵P外排出。由此，在真空泵耐腐蚀性试验的阶段中产生了这样的碎片的情况下，能够实现这样的碎片的早期排出和早期发现，能够将从交货的真空泵向其上游的装置流出上述碎片的不良状况防止于未然。
[0085]进而，在如上述那样取平衡部Κ1、Κ2、Κ3的下部被朝向下方开放的情况下，例如当作为质量附加机构M而使用合成树脂粘接剂时，在与转子6的内周面大致平行的姿势的工具的前端预先附着着合成树脂粘接剂，通过一边使该工具平行移动一边从开放的取平衡部K1、K2、K3的下部侧向该取平衡部Κ1、Κ2、Κ3插入该工具的前端，能够对取平衡部Κ1、Κ2、Κ3的规定位置附加合成树脂粘接剂(质量附加机构)。在该附加时不需要将该工具斜向倾斜，所以能够避免工具与转子轴的接触、干涉，取平衡的作业性也提高。
[0086]图4 Ca)是作为本发明的第2实施方式的真空泵(螺纹槽泵折返流型)的剖视图，图4 (b)是图4 (a)的B部放大图。
[0087]图1 (a)的真空泵Pl是气体在转子6的大致下半部(第2筒体62)的内周侧和外周侧并行流动的结构(螺纹槽泵并行流型)，但图4 Ca)的真空泵P2其类型不同。
[0088]S卩，该图4 (a)的真空泵P2如图4 (a)箭头Rl — R2所示，是通过在转子6的下端部(具体而言，第2筒体62的下端部)气体的流动在上下方向上反转、在转子6的大致下半部的内周侧和外周侧气体向反向流动的结构(螺纹槽泵折返流型)。另外，关于该结构以外的真空泵P2的基本的结构，与图1 (a)的真空泵Pl是同样的，所以在图4 (a)中，对于与图1 (a)所示的部件相同的部件赋予相同的附图标记，其详细说明省略。
[0089]在本发明的第I实施方式中前面说明的图1 (a)、图1 (b)或图3 (a)、图3 (b)所示的取平衡部K1、K2、K3也能够应用到图4 (a)那样的螺纹槽泵折返流型的真空泵Ρ2中。
[0090]图5 Ca)是作为本发明的第3实施方式的真空泵(螺纹槽泵并行流及部分树脂转子型)的剖视图，图5 (b)是图5 (a)的B部放大图。
[0091]图5 (a)的真空泵P3是将图1 (a)的真空泵Pl的第2筒体62用纤维强化树脂形成的结构，其以外的基本的真空泵P3的结构与图1 (a)的真空泵Pl是同样的，所以在图
5(a)中，对于与图1 (a)所示的部件相同的部件赋予相同的附图标记，其详细说明省略。
[0092]该图5 (a)的真空泵P3的转子6也与图1 (a)的真空泵Pl的转子6同样，为经由连结部60将第I筒体61和第2筒体62的端部彼此连结的构造，但该连结部60的具体的结构及第2筒体62的材质等转子6的具体的结构与图1 (a)的真空泵Pl的转子6不同。
[0093]S卩，图5 (a)的真空泵P3的转子6的连结部60由一体地设在第I筒体61的下端处的环状的板体60A、和一体地设在环状的板体60A的外周部的环状的凸部60B构成，通过在该环状的凸部60B的外周部嵌入安装第2筒体62，将第I筒体61和第2筒体62 —体地连结。
[0094]此外，在该图5 (a)的真空泵P3的转子6中，第I筒体61、环状的板体60A及环状的凸部60B都由铝合金等金属材料构成，但第2筒体62由比该金属材料轻量的纤维强化树脂构成。
[0095]在本发明的第I实施方式中前面说明的图1 (a)、图1 (b)或图3 (a)、图3 (b)所示的取平衡部K1、K2、K3如该图5 Ca)的真空泵P3那样，也能够应用到将转子6整体中的第2筒体62用纤维强化树脂形成的形式中。
[0096]图6 Ca)是作为本发明的第4实施方式的真空泵(螺纹槽泵并行流型)的剖视图，图6 (b)是图6 (a)的B部放大图。
[0097]该图6 Ca)的真空泵P4的基本的结构与图1 (a)的真空泵是同样的，所以在图6Ca)中，对于与图1 (a)所示的部件相同的部件赋予相同的附图标记，其详细说明省略。
[0098]图1 (a)的真空泵Pl的取平衡部Kl是具有比第I筒体61的内径大的内径的结构，但图6 (a)的真空泵P4的取平衡部K4构成为与第I筒体61相同的内径，在图6 (a)的真空泵P4中，在这样构成的取平衡部K4上设有质量附加机构M。
[0099]该图6 Ca)的取平衡部K4例如也可以应用到图4 Ca)的真空泵P2或图5 Ca)的真空泵P3中。
[0100]在该第4实施方式的真空泵P4中，也与第I实施方式的真空泵Pl同样，由于在第I筒体61或连结部60的内周面上设有转子6的取平衡部K4、并在第I筒体61或连结部60的内周侧没有形成螺纹槽排气流路R1、R2，所以能够得到与第I实施方式的真空泵Pl同样的作用效果，即能够实现真空泵P4的排气性能的提高、质量附加机构M因腐蚀而破碎产生碎片等的不良状况的避免。
[0101]进而，在该第4实施方式的真空泵P4中，也与第I实施方式的真空泵Pl同样，取平衡部K4的下部被朝向下方开放，所以能够得到与第I实施方式的真空泵Pl同样的作用效果，即能够实现上述碎片的早期排出和早期发现，此外，取平衡的作业性也提高。
[0102]图7 Ca)是作为本发明的第5实施方式的真空泵的转子的剖视图，图7 (b)是图
7Ca)的B部放大图。
[0103]该图7 Ca)的真空泵的转子6的基本的结构与图5 Ca)的真空泵P3的转子6是同样的，所以在图7 (a)中对于与图5 (a)所示的部件相同的部件赋予相同的附图标记，其详细说明省略。
[0104]在图7 (a)的真空泵的转子6中，将连结部60的凸部60B的内周面作为取平衡部K5，在该取平衡部K5上设有耐腐蚀性的质量附加机构M。虽然图示省略，但在该取平衡部K5中，也能够采用具有例如图1 (b)或图3 (a)、图3 (b)中分别表示的锥形状或台阶部的形状。
[0105]在该第5实施方式的真空泵的转子6中，如上述那样，将凸部60B的内周面作为转子6的取平衡部K5，采用在该取平衡部K5上设置耐腐蚀性的质量附加机构M的结构。由于在该凸部60B的内周面上没有形成构成螺纹槽排气流路Rl、R2的螺纹槽19A、19B，所以能够没有由设在该凸部60B的内周面上的质量附加机构M形成的转子6的取平衡部给螺纹槽排气部Ps带来的影响，具体而言螺纹槽排气部Ps的有效的螺纹长不会因取平衡部的存在而变短，实现真空泵的排气性能的提高。
[0106]此外，在该第5实施方式的真空泵的转子6中，由于采用了耐腐蚀性的质量附加机构M，所以设有质量附加机构M的凸部60B的内周侧虽然为连通到螺纹槽排气流路Rl的流路，但能够避免通过该流路内的腐蚀性气体而质量附加机构M腐蚀破碎而成为碎片的状况，能够实现防止从取平衡部K5的碎片的脱落。此外，还能够大幅地降低这样的碎片与从真空泵排气的气体一起向真空泵下游的装置流出的可能性。
[0107]进而，在该第5实施方式的真空泵的转子6中，凸部60B的内周面的下部被朝向下方开放。因此，即使在万一因某种原因而产生设在该凸部60B的内周面上的质量附加机构M的一部分作为碎片脱落的状况的情况下，脱落的碎片也哪里都不会停留，从凸部60B的内周面的开放部(凸部60B的内周面的下部侧)直接且顺畅地向下方掉落，与从真空泵排气的气体一起被向真空泵外排出。因而，在真空泵的耐腐蚀性试验的阶段中产生了这样的碎片的情况下，能够实现该碎片的早期排出和早期发现，能够将从交货的真空泵向其上游的装置流出上述碎片的不良状况防止于未然。
[0108]此外，在该第5实施方式的真空泵的转子6中，如上述那样，凸部60B的内周面的下部被朝向下方开放。因而，在作为质量附加机构M而使用例如合成树脂粘接剂的情况下，预先使合成树脂粘接剂附着在与转子6的内周面大致平行的姿势的工具的前端，通过一边使该工具平行移动，一边从上述凸部60B的内周面的开放部(凸部60B的内周面的下部侧)向该凸部60B的内周面插入该工具的前端，能够对凸部60B的内周面的规定位置附加合成树脂材粘接剂(质量附加机构M)。由于在该附加时不需要将该工具斜向倾斜，所以能够避免工具与转子轴5的接触、干涉，还能够实现取平衡的作业性的提高。
[0109]图8 Ca)是作为本发明的第6实施方式的真空泵(螺纹槽泵并行流型)的剖视图，图8 (