技术编号:8262519
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)是现代微电子技术中的一种关键性电 子元件,目前已经被广泛的应用于平板显示器等领域。非非晶硅薄膜晶体管作为薄膜晶体 管液晶显示(TFT-IXD)和有源矩阵有机发光二极体面板(AM0LED)的核心器件,其场效应迀 移率是非常关键的。 目前,现有的薄膜晶体管主要包括栅极、绝缘层、源极和漏极。为了降低源漏金属 层与半导体层a-SiH(非晶硅)的接触势皇,通常在源漏金属层与半导体层之间会增加一 层磷掺杂的n...
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