用于盘形基片的传送和移交机构、真空处理设备以及用于制造被处理基片的方法技术资料下载

技术编号:8269984

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本发明涉及用于盘形基片的传送和移交机构。背景技术从EP O 931 175中得知一种传送和移交机构,其中可磁化材料的锚定部件可释放地固定到基片。带有锚定部件的基片借助于附装到锚定部件的永磁体而靠磁力保持在设备的第一部件上,该第一部件能够被命名为承载器。带有所附装的锚定部件的基片将被移交给设备的第二部件,该第二部件能够被命名为接管机构,该接管机构和承载器被移动到接管位置。在那里,安装在接管机构内的永磁体朝向承载器机构从收起位置移动出来。从而,接管机构内的永...
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