技术编号:8287436
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。通常的溅射装置是在平面基板上形成金属薄膜而成的。在使用这样的通常的溅射装置对粒状体进行溅射的情况下,需要在薄的平面容器上铺满粒状体,在该状态下对粒状体进行溅射。因此,在通常的溅射装置中,存在仅能够使从溅射靶溅射的靶原子附着在粒状体的上表面的问题。针对这一点,专利文献I记载有使用筒状的桶(滚筒)在微粒子上形成被膜的桶型溅射装置。专利文献2所记载的桶型溅射装置具备圆筒状的真空容器,该真空容器的内部形成为多边形剖面且收容微粒子,一边使该真空容器旋转一边进行溅射。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。