滚筒溅射装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种对粒状体进行溅射的溅射装置。
【背景技术】
[0002]通常的溅射装置是在平面基板上形成金属薄膜而成的。在使用这样的通常的溅射装置对粒状体进行溅射的情况下，需要在薄的平面容器上铺满粒状体，在该状态下对粒状体进行溅射。因此，在通常的溅射装置中，存在仅能够使从溅射靶溅射的靶原子附着在粒状体的上表面的问题。
[0003]针对这一点，专利文献I记载有使用筒状的桶(滚筒)在微粒子上形成被膜的桶型溅射装置。专利文献2所记载的桶型溅射装置具备圆筒状的真空容器，该真空容器的内部形成为多边形剖面且收容微粒子，一边使该真空容器旋转一边进行溅射。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2009 - 079251号公报
[0007]专利文献2:专利第3620842号公报
[0008]发明要解决的问题
[0009]然而，由于越是远离溅射靶，靶原子的飞散量越少，因此在专利文献I所记载的桶型溅射装置中，存在靶原子的附着量在真空容器的轴线方向上变得不均匀的问题。
[0010]此外，在专利文献2中记载有使容器摆动而对粉末状载体进行金属蒸镀的金属蒸镀装置。然而，由于专利文献2所记载的金属蒸镀装置不进行溅射，因此无法简单地在专利文献I所记载的桶型溅射装置的基础上组合专利文献2所记载的内容。并且，专利文献2所记载的金属蒸镀装置仅是为了在粉体上形成被膜而使容器摆动，并非为了解决上述这样的问题而使容器摆动。因此，即便能够在专利文献I所记载的桶型溅射装置的基础上组合专利文献2所记载的内容，也无法解决所述问题。
【发明内容】
[0011]因此，本发明鉴于所述问题，其目的在于提供一种能够使靶原子均匀地附着在粒状体整体上的滚筒溅射装置。
[0012]用于解决课题的手段
[0013]本发明的滚筒溅射装置具有:真空容器，其收容粒状体；筒状的滚筒，其配置在真空容器内，至少一侧端面开口 ；溅射靶，其配置在滚筒内；旋转机构，其使滚筒绕滚筒的轴线旋转；以及摆动机构，其使滚筒摆动，使得滚筒的轴线方向上的一侧端部与另一侧端部在上下相对调换。
[0014]根据本发明的滚筒溅射装置，通过使供给粒状体后的滚筒旋转，能够一边搅拌粒状体一边进行溅射，因此能够使从溅射靶溅射的靶原子附着于粒状体的整面。并且，通过使滚筒摆动，使得滚筒的轴线方向上的一侧端部与另一侧端部在上下相对调换，由此能够使供给至滚筒内的粒状体在滚筒的轴线方向上进行往复移动。因此，能够使靶原子均匀地附着在粒状体整体上。在这种情况下，若使滚筒倾斜，则粒状体从滚筒内排出，因此能够从滚筒内容易地回收粒状体。并且，由于滚筒的倾斜能够利用滚筒的摆动来进行，因此即使不额外追加从滚筒内排出粒状体的功能，也能够回收粒状体。由此，能够实现滚筒溅射装置的简化。
[0015]在这种情况下，能够使滚筒的轴线方向两端部收缩。由此，在使滚筒摆动而进行溅射的过程中，能够抑制粒状体从滚筒内脱落的情况。
[0016]另外，滚筒溅射装置还具有:粒状体供给室，其与真空容器连接；第一开闭装置，其对真空容器与粒状体供给室之间进行开闭；第一吸引装置，其吸引粒状体供给室内的空气；以及第一大气开放装置，其向粒状体供给室内供给空气。若如此构成，则在利用第一吸引装置将粒状体供给室形成为真空状态之后，打开第一开闭装置，从粒状体供给室将粒状体供给到滚筒内，之后关闭第一开闭装置，由此能够在保持真空容器的真空状态的情况下将粒状体供给到滚筒内。另外，通过利用第一大气开放装置向粒状体供给室内供给空气，能够使真空状态的粒状体供给室向大气开放，从而能够对第一开闭装置进行开闭。因此，在真空容器中进行溅射时，能够向粒状体供给室供给粒状体。这样，即便不使真空容器恢复至大气压状态，也能够反复进行溅射，因此生产率提高。
[0017]另外，滚筒溅射装置还具有:粒状体回收室，其与真空容器连接，配置在滚筒的下方；第二开闭装置，其对真空容器与粒状体回收室之间进行开闭；第二吸引装置，其吸引粒状体回收室内的空气；以及第二大气开放装置，其向粒状体回收室内供给空气。若如此构成，在通过第二吸引装置将粒状体回收室形成为真空状态之后，打开第二开闭装置，使滚筒倾斜，使粒状体落下到粒状体回收室，之后关闭第二开闭装置，由此能够在保持真空容器的真空状态的情况下从滚筒内向粒状体回收室回收粒状体。另外，通过利用第二大气开放装置向粒状体回收室内供给空气，能够使真空状态的粒状体回收室向大气开放，从而能够对第二开闭装置进行开闭。因此，在真空容器中进行溅射时，能够从粒状体回收室回收粒状体。这样，即便不使真空容器恢复至大气压状态，也能够反复进行溅射，因此生产率提高。
[0018]另外，滚筒溅射装置还具有向真空容器内供氧的供氧装置。当使滚筒绕轴线高速旋转时，有可能使粒状体与滚筒的内壁碰撞，将靶原子从粒状体剥离。因此，通过将微量的氧气与氩气等溅射气体一起供给至真空容器内来进行溅射，从而靶原子的一部分氧化，相对于粒状体的接合强度提高。因此，即便使滚筒绕轴线旋转，也能够抑制靶原子从粒状体剥离的情况。
[0019]发明效果
[0020]根据本发明，能够使靶原子均匀地附着于粒状体整体。
【附图说明】
[0021]图1是实施方式的滚筒溅射装置的简要纵剖视图。
[0022]图2是实施方式的滚筒溅射装置的简要横剖视图。
[0023]图3是示出滚筒的姿态的简要主视图。
[0024]图4是示出使用了本实施方式的滚筒溅射装置的溅射方法的流程图。
[0025]图5示出细颗粒的照片。
【具体实施方式】
[0026]以下，参照附图对本发明的滚筒溅射装置的理想实施方式进行详细说明。需要说明的是，在全部附图中，对相同或者相当的部分标注相同的附图标记。
[0027]图1是滚筒溅射装置的简要纵剖视图。图2是滚筒溅射装置的简要横剖视图。如图1以及图2所示，本实施方式的滚筒溅射装置I具备进行溅射的真空容器2、与真空容器2连接且用于向真空容器2内供给粒状体的粒状体供给室3、以及与真空容器2连接且用于从真空容器2回收粒状体的粒状体回收室4。在真空容器2与粒状体供给室3之间形成有将真空容器2与粒状体供给室3连通起来的上侧连通口 5，在真空容器2与粒状体回收室4之间形成有将真空容器2与粒状体回收室4连通起来的下侧连通口 6。
[0028]在真空容器2上设置有对真空容器2进行开闭的主闸门7。另外，在真空容器2上连接有将真空容器2内的空气抽吸至真空的真空泵8、以及用于向真空状态的真空容器2内供给空气的泄漏阀9。因此，通过关闭主闸门7，利用真空泵8将真空容器2内的空气抽吸至真空，能够将真空容器2内形成为真空状态。另外，通过从泄漏阀9向真空状态的真空容器2内供给空气，能够使真空容器2返回至大气压状态，能够对主闸门7进行开闭。
[0029]在真空容器2的内部配置有收容粒状体的滚筒10。
[0030]滚筒10的内部形成为能够收容粒状体的筒状，滚筒10的中心轴线(以下简称为“轴线”。)配置为朝向水平方向。滚筒10的筒形状不特别限定，例如，能够采用圆筒状、多边筒状等。另外，滚筒10的内表面形状也不特别限定，能够采用圆形剖面、多边形剖面等。需要说明的是，也可以在滚筒10的内表面安装搅拌粒状体的搅拌板等构件。滚筒10的轴线方向两端部1a收缩成漏斗状(直径减小)，使得收容的粒状体不会脱落。在滚筒10的轴线方向上的一侧端面1c形成有用于将粒状体供给至滚筒10内的开口 10b。需要说明的是，与开口 1b对置的滚筒10的轴线方向上的另一侧端面1d既可以开口，也可以不开口。
[0031]另外，滚筒10被从真空容器2的侧壁延伸的大致L字状的支承臂11枢轴支承为能够绕轴线旋转，并且被枢轴支承为能够在上下方向上倾斜。并且，在滚筒溅射装置I的真空容器2的外部，设置有驱动滚筒10使其绕轴线旋转的旋转用驱动电动机12、以及驱动滚筒10使其在上下方向上倾斜的摆动用驱动电动机13。
[0032]具体来说，支承臂11具备从真空容器2的侧壁垂直延伸的基端臂部11a、以及从基端臂部Ila的前端呈直角弯曲的前端臂部lib。并且，基端臂部Ila被枢轴支承为相对于真空容器2能够绕基端臂部Ila的轴线转动。
[0033]基端臂部Ila以使摆动用驱动电动机13的驱动轴的轴线与基端臂部Ila的轴线平行配置的方式，与摆动用驱动电动机13的驱动轴直接或者间接地啮合。前端臂部Ilb沿着与滚筒10的轴线一致