的方向延伸，其前端插入到滚筒10的内部。
[0034]在基端臂部Ila处经由滚珠轴承等滚动轴承而连结有环状的第一齿轮构件14。因此，基端臂部Ila与第一齿轮构件14彼此以在基端臂部Ila的绕轴方向上旋转自如的方式连结。并且，以使旋转用驱动电动机12的驱动轴的轴线与基端臂部Ila的轴线平行配置的方式，将旋转用驱动电动机12的驱动轴与第一齿轮构件14直接或者间接啮合。
[0035]在前端臂部Ilb处经由滚珠轴承等滚动轴承而连结有环状的第二齿轮构件15。因此，前端臂部Ilb与第二齿轮构件15彼此以在前端臂部Ilb的绕轴方向上旋转自如的方式连结。并且，以使滚筒10的轴线与前端臂部Ilb的轴线一致的方式将第二齿轮构件15固定于滚筒10的另一侧端面10d。
[0036]在第一齿轮构件14以及第二齿轮构件15上分别形成有在正交的两轴之间传递旋转的锥齿轮，在该锥齿轮中，第一齿轮构件14与第二齿轮构件15啮合。
[0037]因此，当驱动旋转用驱动电动机12的驱动轴进行旋转时，该旋转驱动经由第一齿轮构件14以及第二齿轮构件15传递至滚筒10，滚筒10绕轴线旋转。
[0038]另外，当驱动摆动用驱动电动机13的驱动轴进行转动时，基端臂部Ila在基端臂部Ila的绕轴方向上转动，前端臂部Ilb以其与基端臂部Ila的连接点作为中心轴而倾斜。由此，滚筒10以基端臂部Ila与前端臂部Ilb的连接点作为中心轴在上下方向上倾斜。此时，通过使摆动用驱动电动机13的驱动轴的旋转方向反转，从而将滚筒10的倾斜方向上下反转。因此，通过驱动摆动用驱动电动机13的驱动轴进行转动并且每当滚筒10倾斜规定角度时，使摆动用驱动电动机13的驱动轴的旋转方向反转，由此，以使轴线方向上的一侧端部与另一侧端部在上下相对调换的方式使滚筒10摆动。
[0039]在此，还参照图3对滚筒10的摆动进行详细说明。图3是示出滚筒的姿态的简要主视图。在图3中，附图标记A表示滚筒10的轴线，附图标记H表示穿过滚筒10的轴线方向中心的水平轴线。
[0040]首先，考虑滚筒10形成为轴线A与水平轴线H重叠、且滚筒10的轴线方向上的一侧端部1e与滚筒10的轴线方向上的另一侧端部1f处于相同高度的水平姿态α (图3(a))的情况。
[0041]在这种情况下，当驱动摆动用驱动电动机13的驱动轴进行转动时，以使一侧端部1e朝向水平轴线H的上方移动并且另一侧端部1f朝向水平轴线H的下方移动的方式使滚筒10倾斜。由此，滚筒10形成轴线A相对于水平轴线H倾斜且一侧端部1e比另一侧端部1f高的第一倾斜姿态β (图3(b))。
[0042]之后，当使摆动用驱动电动机13的驱动轴的旋转方向反转，驱动摆动用驱动电动机13的驱动轴进行转动时，以使一侧端部1e以及另一侧端部1f靠近水平轴线H的方式使滚筒10倾斜。由此，滚筒10返回至水平姿态α (图3(a))。当驱动摆动用驱动电动机13的驱动轴进一步向相同的旋转方向转动时，以使一侧端部1e朝向水平轴线H的下方移动并且另一侧端部1f朝向水平轴线H的上方移动的方式使滚筒10倾斜。由此，滚筒10形成为轴线A相对于水平轴线H倾斜且一侧端部1e比另一侧端部1f低的第二倾斜姿态γ (图 3(c))。
[0043]之后，当使摆动用驱动电动机13的驱动轴的旋转方向反转，驱动摆动用驱动电动机13的驱动轴进行转动时，以使一侧端部1e以及另一侧端部1f靠近水平轴线H的方式使滚筒10倾斜。由此，滚筒10返回至水平姿态α (图3(a))。
[0044]如此，若驱动摆动用驱动电动机13的驱动轴进行转动并且每当滚筒10倾斜了规定角度时，使摆动用驱动电动机13的驱动轴的旋转方向反转，则滚筒10的姿态按照(I)水平姿态α、(2)第一倾斜姿态β、(3)水平姿态α、(4)第二倾斜姿态Y、(5)水平姿态α的顺序变化，重复该⑴?(5)的循环。由此，以使轴线方向上的一侧端部1e与另一侧端部1f在上下相对调换的方式使滚筒10摆动。
[0045]在如此构成的滚筒10的内部配置有溅射靶16。溅射靶16的配置通过以能够装卸的方式安装于插入到滚筒10的内部的前端臂部Ilb来进行。因此，溅射靶16仅追随滚筒10的摆动，不追随滚筒10的绕轴线的旋转。需要说明的是，溅射靶16虽可以配置在滚筒10内的任意位置，但从使靶原子高效地附着于粒状体的观点来看，优选将溅射靶16配置在滚筒10的轴线方向上的中央部。
[0046]另外，在真空容器2的内部安装有将从滚筒10排出的粒状体引导至下侧连通口6的大致漏斗状的引导构件19。
[0047]另外，在真空容器2上连接有将用于对溅射靶16进行溅射的溅射气体供给至真空容器2内的溅射气体供给装置17、以及向真空容器2内供氧的供氧装置18。需要说明的是，溅射气体供给装置17与供氧装置18也可以一体构成。在这种情况下，将溅射气体与氧以混合状态供给至真空容器2内。
[0048]溅射气体只要是能够对溅射靶16进行溅射的非活性气体即可，可以是任意气体，从溅射效率的观点来看，优选氩气。
[0049]粒状体供给室3用于向滚筒10内供给粒状体，配置在真空容器2的上侧。
[0050]在粒状体供给室3的内部设置有预先积存粒状体的粒状体供给容器部21，在粒状体供给室3的上部安装有为了向粒状体供给容器部21供给粒状体而开闭的供给用开闭门22。
[0051]在粒状体供给容器部21上安装有用于将供给至粒状体供给容器部21的粒状体供给到滚筒10内的供给喷嘴23。供给喷嘴23从粒状体供给容器部21通过上侧连通口 5延伸至滚筒10的开口 10b。并且，供给喷嘴23与上侧连通口 5气密地连接，仅在供给喷嘴23处，真空容器2与粒状体供给容器部21连通。
[0052]另外，在粒状体供给室3设置有通过粒状体供给容器部21向供给喷嘴23插拔的供给机构24。供给机构24形成为上下延伸的棒状，其上部贯通粒状体供给室3而向粒状体供给室3的外部暴露出。另外，供给机构24能够相对于粒状体供给室3气密地滑动，能够相对于供给喷嘴23气密地插拔。因此，当拉起供给机构24时，供给喷嘴23打开，积存于粒状体供给容器部21的粒状体通过供给喷嘴23向滚筒10内供给。另一方面，当按下供给机构24时，供给喷嘴23关闭，粒状体向滚筒10内的供给停止，并且粒状体供给室3与真空容器2之间保持为气密。
[0053]另外，在粒状体供给室3上连接有将粒状体供给室3内的空气抽吸至真空的真空泵25、以及用于向真空状态的粒状体供给室3内供给空气的泄漏阀26。因此，通过关闭供给用开闭门22，将供给机构24插入至供给喷嘴23，利用真空泵25将粒状体供给室3内的空气抽吸至真空，由此能够将粒状体供给室3内设为真空状态。另外，通过从泄漏阀26向真空状态的粒状体供给室3内供给空气，能够使粒状体供给室3返回大气压状态，从而能够将供给用开闭门22开闭。
[0054]粒状体回收室4用于回收从滚筒10内排出的粒状体，配置在真空容器2的下侧，且是滚筒10的开口 1b的正下方。在将真空容器2与粒状体回收室4连通起来的下侧连通口 6处安装有将下侧连通口 6气密地开闭的下侧连通口用开闭门31。
[0055]在粒状体回收室4的内部设置有回收粒状体的粒状体回收容器部32，在粒状体回收室4的侧面安装有为了进出粒状体回收容器部32而开闭的回收用开闭门33。
[0056]另外，在粒状体回收室4上连接有将粒状体回收室4内的空气抽吸至真空的真空泵34、以及用于向真空状态的粒状体回收室4内供给空气的泄漏阀35。因此，通过关闭下侧连通口用开闭门31以及回收用开闭门33，利用真空泵34将粒状体回收室4内的空气抽吸至真空，能够使粒状体回收室4内形成为真空状态。另外，通过从泄漏阀35向真空状态的粒状体回收室4内供给空气，能够使粒状体回收室4返回大气压状态，能够将回收用开闭门33开闭。
[0057]接下来，对使用了本实施方式的滚筒溅射装置I的溅射方法进行说明。
[0058]图4是示出使用了本实施方式的滚筒溅射装置的溅射方法的流程图。
[0059]如图4所示，在使用本实施方式的滚筒溅射装置I向粒状体进行溅射的情况下，首先进行将溅射靶16设置在滚筒10内的溅射靶安装工序(SI)。
[0060]在溅射靶安装工序(SI)中，首先打开主闸门7，将溅射靶16安装于前端臂部lib。然后，当溅射靶16的安装结束时，关闭主闸门7。由此，将溅射靶16设置在滚筒10内。
[0061]接下来，进行向滚筒10内供给粒状体的供给工序(S2)。
[0062]在供给工序(S2)中，首先按下供给机构24，关闭