粒状体回收容器部32。接下来，关闭下侧连通口用开闭门31，从泄漏阀35向粒状体回收室4内供给空气，使真空状态的粒状体回收室4向大气开放。然后，当粒状体回收室4返回大气压状态时，打开回收用开闭门33，从粒状体回收室4取出收容有粒状体的粒状体回收容器部32。由此，能够在保持真空容器2的真空状态的情况下从滚筒10内回收粒状体。
[0078]像以上所述的那样，根据本实施方式的滚筒溅射装置1，通过使供给粒状体后的滚筒10旋转，能够一边搅拌粒状体一边进行溅射，因此能够使靶原子附着于粒状体的整面。并且，通过以使一侧端部1e与另一侧端部1f在上下相对调换的方式使滚筒10摆动，能够使供给至滚筒10内的粒状体在滚筒10的轴线方向上往复移动，因此能够使靶原子均匀地附着于粒状体整体。
[0079]另外，由于只要使滚筒10倾斜就能从滚筒10排出粒状体，因此能够从滚筒10内容易地回收粒状体。并且，由于滚筒10的倾斜能够通过滚筒10的摆动来进行，因此即使不额外追加从滚筒10排出粒状体的功能，也能够回收粒状体。由此，能够实现滚筒溅射装置I的简化。
[0080]另外，由于滚筒10的轴线方向两端部1a收缩，因此在使滚筒10摆动进行溅射的过程中，能够抑制粒状体从滚筒10内脱落。
[0081]另外，由于即便没有使真空容器2返回大气压状态，也能够进行粒状体的供给与回收，从而即便没有使真空容器2返回大气压状态，也能够反复进行溅射。因此，生产率提尚O
[0082]另外，通过向真空容器2内供氧来进行溅射，从而靶原子氧化，相对于粒状体的接合强度增高。因此，即便使滚筒10绕轴线旋转，也能够抑制靶原子从粒状体剥离。
[0083]以上，说明了本发明的优选实施方式，但本发明不限定于所述实施方式。
[0084]例如，在所述实施方式中，具体说明了使滚筒绕轴线旋转的旋转机构与使滚筒摆动的摆动机构，但旋转机构以及摆动机构的具体结构并不特别限定，能够采用公知的各种手段。
[0085]另外，在所述实施方式中，说明了以基端臂部与前端臂部的连接点作为中心轴使滚筒向上下方向倾斜的情况，但滚筒的倾斜的中心轴并不限定于此。例如，也可以将滚筒的轴线方向中心作为滚筒的倾斜中心。在这种情况下，滚筒以滚筒的轴线方向中心作为轴，以跷跷板的方式摆动。
[0086]实施例
[0087]接下来，对本发明的实施例进行说明。其中，本发明并不限定于以下实施例。
[0088](比较例I)
[0089]准备所述的实施方式所说明的滚筒溅射装置1，不使用粒状体供给室3以及粒状体回收室4且不使滚筒10摆动地进行30分钟溅射。然后，测量从粒状体的供给到粒状体的回收所需的时间。
[0090](实施例1)
[0091]准备所述的实施方式所说明的滚筒溅射装置1，使用粒状体供给室3以及粒状体回收室4且使滚筒10摆动来进行30分钟溅射。然后，测量从粒状体的供给到粒状体的回收所需的时间。
[0092](计测结果)
[0093]在比较例I中，真空容器2的真空抽吸耗时150分钟，真空容器2内的溅射耗时30分钟，粒状体的取出作业耗时30分钟，合计时间为210分钟。
[0094]在实施例1中，同时进行粒状体供给室3的真空抽吸与真空容器2内的溅射，这些作业耗时30分钟，朝向滚筒10内供给粒状体以及从滚筒10内回收粒状体耗时15分钟，合计时间为45分钟。
[0095]换句话说，在实施例1中，由于能够在将真空容器2保持真空状态的情况下进行粒状体的供给以及排出，因此能够削减将真空容器2抽吸至真空的作业。其结果是，在实施例1中，与比较例I相比，能够大幅缩短时间。
[0096](实施例2)
[0097]使用所述的实施方式所说明的滚筒溅射装置1，在作为粒状体的细颗粒上形成有Al的催化剂承载层。此时，使滚筒10以Irpm的旋转速度旋转30分钟来进行溅射。之后，在细颗粒的催化剂承载层上附着有Fe的碳纳米管合成用催化剂。此时，使滚筒10以5rpm的旋转速度旋转9分钟来进行溅射。作为细颗粒，使用200g的Φ0.5mm的氧化铝细颗粒。Al的平均膜厚是15nm。Fe的平均膜厚是1.0nm0
[0098](比较例2)
[0099]除了不使滚筒10旋转地在细颗粒静止的状态下进行溅射之外，采用与实施例2相同的条件。
[0100](观察)
[0101]图5中示出细颗粒的照片。图5(a)是在实施例2中形成Al的催化剂承载层之前的照片。图5(b)是在实施例2中形成Al的催化剂承载层后的照片。图5(c)是在实施例2中使Fe的碳纳米管合成用催化剂附着后的照片。图5(d)是在比较例2中使Fe的碳纳米管合成用催化剂附着后的照片。比较图5(a)?(c)与图5(d)明确可知，实施例2的细颗粒与比较例2的细颗粒相比，溅射的不均变小。
[0102]附图标记说明
[0103]L...滚筒溅射装置；2…真空容器；3…粒状体供给室；4…粒状体回收室；5..?上侧连通口 ；6…下侧连通口 ；7…主闸门；8…真空泵；9…泄漏阀；10...滚筒；10a…轴线方向两端部;10b…开口 ；10c…一侧端面;10d…另一侧端面；10e----侧端部;10f…另一侧端部；
11…支承臂(旋转机构；摆动机构)；lla…基端臂部；llb…前端臂部；12…旋转用驱动电动机(旋转机构)；13…摆动用驱动电动机(摆动机构)；14…第一齿轮构件(旋转机构；摆动机构)；15…第二齿轮构件(旋转机构、摆动机构)；16…派射革E ;17...派射气体供给装置；18…供氧装置；19...引导构件；21…粒状体供给容器部；22...供给用开闭门；23...供给喷嘴；24…供给机构(第一开闭装置)；25…真空泵(第一吸引装置)；26...泄漏阀(第一大气开放装置)；31…下侧连通口用开闭门(第二开闭装置)；32…粒状体回收容器部；33...回收用开闭门；34...真空泵(第二吸引装置)；35…泄漏阀(第二大气开放装置)；A…轴线；H…水平轴线；L…略；α…水平姿态；β…第一倾斜姿态；γ…第二倾斜姿态。
【主权项】
1.一种滚筒溅射装置，其中， 该滚筒溅射装置具有: 真空容器，其收容粒状体； 筒状的滚筒，其配置在所述真空容器内，至少一侧端面开口 ； 溅射靶，其配置在所述滚筒内； 旋转机构，其使所述滚筒绕所述滚筒的轴线旋转；以及 摆动机构，其使所述滚筒摆动，使得所述滚筒的轴线方向上的一侧端部与另一侧端部在上下相对调换。
2.根据权利要求1所述的滚筒溅射装置，其中， 所述滚筒的轴线方向两端部收缩。
3.根据权利要求1或2所述的滚筒溅射装置，其中， 所述滚筒溅射装置还具有: 粒状体供给室，其与所述真空容器连接； 第一开闭装置，其对所述真空容器与所述粒状体供给室之间进行开闭； 第一吸引装置，其吸引所述粒状体供给室内的空气；以及 第一大气开放装置，其向所述粒状体供给室内供给空气。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的滚筒溅射装置，其中， 所述滚筒溅射装置还具有: 粒状体回收室，其与所述真空容器连接，配置在所述滚筒的下方； 第二开闭装置，其对所述真空容器与所述粒状体回收室之间进行开闭； 第二吸引装置，其吸引所述粒状体回收室内的空气；以及 第二大气开放装置，其向所述粒状体回收室内供给空气。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的滚筒溅射装置，其中， 所述滚筒溅射装置还具有向所述真空容器内供氧的供氧装置。
【专利摘要】本发明提供一种滚筒溅射装置，其能够在粒状体整体上均匀地附着靶原子。滚筒溅射装置具备收容粒状体的真空容器(2)、配置在真空容器(2)内且至少一侧端面(10c)开口的筒状的滚筒(10)、以及配置在滚筒(10)内的溅射靶(16)，通过支承臂(11)、旋转用驱动电动机(12)、摆动用驱动电动机(13)、第一齿轮构件(14)以及第二齿轮构件(15)使滚筒绕滚筒(10)的轴线旋转，并且以使滚筒(10)的轴线方向上的一侧端部(10e)与另一侧端部(10f)在上下相对调换的方式使滚筒(10)摆动。
【IPC分类】C23C14-34
【公开号】CN104603322
【申请号】CN201380044728
【发明人】上田俊辅, 羽场英介
【申请人】日立化成株式会社
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2013年8月21日
【公告号】CA2883512A1, EP2891729A1, WO2014034497A1