切片装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8291861

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作为从铸锭切片成具有规定的厚度的晶片的装置,存在切片装置(钢丝锯)。在现有的切片装置(例如专利文献I)中,被加工物通过垫板(用于粘接的工艺夹具)固定在工作板上。图9表示现有的切片装置中的被加工物的安装部。安装夹具150被安装在工作板152上。在工作板152上设置有贯通孔154。贯通孔154具有支承台阶部155,在该支承台阶部155的下部具有小径孔156,在上部具有大径孔157。在贯通孔154上配置有紧固螺栓158。侧面L字状的夹紧爪160由在垂直方向上设置...
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